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耦合式MEMS微波功率传感器的研究
被引量：
8
1
作者
靳雷生
辛泽辉
王德波
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期94-101,共8页
为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾,本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器,将微波功率的提取和检测两个过程相互独立。根据理论解析模型,得到了灵敏度特性与耦合度的关系,分析...
为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾,本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器,将微波功率的提取和检测两个过程相互独立。根据理论解析模型,得到了灵敏度特性与耦合度的关系,分析对比了耦合度分别为10%和20%时的微波特性及灵敏度特性差异。实验结果表明:两种耦合式MEMS微波功率传感器的反射损耗均小于-20 dB,说明具有良好的反射性能;两种耦合式MEMS微波功率传感器的插入损耗均大于-1.5 dB,说明具有良好的传输性能。耦合度10%的系统灵敏度为1.2 mV/W@9 GHz、1.4 mV/W@10 GHz和0.8 mV/W@11 GHz,耦合度20%的系统灵敏度为2.4 mV/W@9 GHz、2.4 mV/W@10 GHz和1.3 mV/W@11 GHz,并具有良好的线性度。本文对于MEMS微波功率传感器研究具有一定的参考价值。
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关键词
mems功率传感器
悬臂梁
灵敏度
动态范围
耦合度
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职称材料
一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计
被引量：
10
2
作者
黄从朝
黄庆安
廖小平
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期1938-1944,1950,共8页
提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比,新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上,对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型,进而导出了灵敏...
提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比,新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上,对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型,进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理,以给定的时间常数和噪声大小为约束条件,求得灵敏度达最大时热偶长度和串联数目的最佳值.
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关键词
新型
mems
微波
功率
传感器
热电堆
理论模型
优化
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职称材料
基于MEMS技术的差分式微波信号相位检测器
被引量：
2
3
作者
焦永昌
廖小平
张俊
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期141-145,共5页
提出了基于MEMS技术,由功分器、45°移相器和MEMS电容式微波功率传感器组成差分式微波信号相位检测器,实现了在被测信号幅度未知条件下全周期的相位测量.利用HFSS对各组件进行了模拟设计,包括功分器的模拟与设计和MEMS电容式微波功...
提出了基于MEMS技术,由功分器、45°移相器和MEMS电容式微波功率传感器组成差分式微波信号相位检测器,实现了在被测信号幅度未知条件下全周期的相位测量.利用HFSS对各组件进行了模拟设计,包括功分器的模拟与设计和MEMS电容式微波功率传感器的模拟与设计,特别采用GaAs MMIC工艺制作了其中的MEMS电容式微波功率传感器,在8-12GHz的频率范围内,回波损耗小于-20dB,插入损耗小于0.2dB.最后利用ADS对整个系统进行了模拟,模拟结果与理论计算结果的误差在3.5%以内,并进行了误差分析.
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关键词
相位检测
功分器
移相器
mems
电容式微波
功率
传感器
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职称材料
题名
耦合式MEMS微波功率传感器的研究
被引量：
8
1
作者
靳雷生
辛泽辉
王德波
机构
南京邮电大学集成电路科学与工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期94-101,共8页
基金
国家青年自然科学基金(61704086)项目资助。
文摘
为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾,本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器,将微波功率的提取和检测两个过程相互独立。根据理论解析模型,得到了灵敏度特性与耦合度的关系,分析对比了耦合度分别为10%和20%时的微波特性及灵敏度特性差异。实验结果表明:两种耦合式MEMS微波功率传感器的反射损耗均小于-20 dB,说明具有良好的反射性能;两种耦合式MEMS微波功率传感器的插入损耗均大于-1.5 dB,说明具有良好的传输性能。耦合度10%的系统灵敏度为1.2 mV/W@9 GHz、1.4 mV/W@10 GHz和0.8 mV/W@11 GHz,耦合度20%的系统灵敏度为2.4 mV/W@9 GHz、2.4 mV/W@10 GHz和1.3 mV/W@11 GHz,并具有良好的线性度。本文对于MEMS微波功率传感器研究具有一定的参考价值。
关键词
mems功率传感器
悬臂梁
灵敏度
动态范围
耦合度
Keywords
mems
power sensor
cantilever
sensitivity
dynamic range
coupling degree
分类号
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
TN62 [电子电信—电路与系统]
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计
被引量：
10
2
作者
黄从朝
黄庆安
廖小平
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期1938-1944,1950,共8页
文摘
提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比,新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上,对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型,进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理,以给定的时间常数和噪声大小为约束条件,求得灵敏度达最大时热偶长度和串联数目的最佳值.
关键词
新型
mems
微波
功率
传感器
热电堆
理论模型
优化
Keywords
novel
mems
microwave power sensor
thermopile
analytical model
optimization
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN377 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
基于MEMS技术的差分式微波信号相位检测器
被引量：
2
3
作者
焦永昌
廖小平
张俊
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期141-145,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60676043)
文摘
提出了基于MEMS技术,由功分器、45°移相器和MEMS电容式微波功率传感器组成差分式微波信号相位检测器,实现了在被测信号幅度未知条件下全周期的相位测量.利用HFSS对各组件进行了模拟设计,包括功分器的模拟与设计和MEMS电容式微波功率传感器的模拟与设计,特别采用GaAs MMIC工艺制作了其中的MEMS电容式微波功率传感器,在8-12GHz的频率范围内,回波损耗小于-20dB,插入损耗小于0.2dB.最后利用ADS对整个系统进行了模拟,模拟结果与理论计算结果的误差在3.5%以内,并进行了误差分析.
关键词
相位检测
功分器
移相器
mems
电容式微波
功率
传感器
Keywords
phase detector
power divider
phase shifter
mems
capacitive RF power sensor
分类号
TN06 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
耦合式MEMS微波功率传感器的研究
靳雷生
辛泽辉
王德波
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计
黄从朝
黄庆安
廖小平
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于MEMS技术的差分式微波信号相位检测器
焦永昌
廖小平
张俊
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
在线阅读
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职称材料
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