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MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析 被引量：2
1
作者 徐洋 《科技创新与应用》 2020年第16期90-91,共2页
分析MEMS光纤压力传感器特性,进行检测电路系统设计分析。在设计中主要通过STC89C52单片机作为检测电路系统。光电转换器件为OPT101,通过进行处理可以有效地提升测试的精准性。在测试中,通过单片机进行处理,在液晶屏上显示结果,与电脑连... 分析MEMS光纤压力传感器特性,进行检测电路系统设计分析。在设计中主要通过STC89C52单片机作为检测电路系统。光电转换器件为OPT101,通过进行处理可以有效地提升测试的精准性。在测试中,通过单片机进行处理,在液晶屏上显示结果,与电脑连接,输入到信息。 展开更多
关键词 mems光纤压力传感器 检测电路系统 设计分析
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应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证
2
作者 许鹏 聂靖宇 +1 位作者 王伟忠 李保岭 《微纳电子技术》 2025年第5期80-86,共7页
为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊... 为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊封装工艺,结合模块化装配的设计思路,开发了一款应用于汽车空调系统的压力温度传感器,并通过仿真手段证明了传感器的结构可靠性。通过对传感器进行测试,传感器的压力精度可以达到全温区±0.5%Vcc(Vcc为传感器供电电压),过载压力可达6 MPa,破裂压力达10 MPa。寿命测试后,传感器的误差范围依旧在±1%Vcc内。同时,传感器通过了功能测试和可靠性测试,应用前景广阔。 展开更多
关键词 热泵空调系统 压力温度传感器 模块化装配 压阻式微电子机械系统(mems) 无引线封装
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基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器 被引量：1
3
作者 陈果 刘正波 +1 位作者 王韬 张万里 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期21-28,共8页
设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,... 设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,热零点漂移为0.25%FS/℃。湿度传感单元采用的叉指电极和电容式结构,引入含氟PI作湿度敏感膜。设计Mo电阻加热结构加快传感器降湿过程,缩短降湿时间近32%。在10%~90%RH的湿度范围,含氟PI湿度传感器的灵敏度为0.121 pF/%RH,略低于无氟PI器件。含氟基团的引入,使得传感器的湿滞较无氟PI降低16%。“电容-湿度”曲线呈指数分布,相关系数R^(2)=0.996。测试结果发现,湿度传感单元和压力传感单元拥有良好的独立工作性能。 展开更多
关键词 电容式湿度传感器 惠斯通电桥 mems工艺 聚酰亚胺(PI) 压力传感器
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光纤FPI高温压力传感器的设计与仿真
4
作者 田野 曹咏弘 吕晶 《微纳电子技术》 2025年第2期105-115,共11页
航空发动机的内部环境严苛,为保证发动机正常运行需要实时监测压气室、燃烧室等关键部位的动态压力信号和温度信号。基于法布里珀罗干涉原理,以蓝宝石作为材料,建立了传感器整体结构模型并级联光栅结构作为温度补偿,通过理论和仿真分析... 航空发动机的内部环境严苛,为保证发动机正常运行需要实时监测压气室、燃烧室等关键部位的动态压力信号和温度信号。基于法布里珀罗干涉原理,以蓝宝石作为材料,建立了传感器整体结构模型并级联光栅结构作为温度补偿,通过理论和仿真分析确定了传感器具体结构尺寸参数。利用有限元分析软件ANSYS对蓝宝石法布里珀罗干涉仪(FPI)光纤高温压力传感器模型进行了静态分析及温度/压力耦合分析,以模拟传感器在复合环境下的性能。传感器的压力灵敏度为2.216 2 nm/MPa,温度灵敏度为9.198 4 pm/℃,交叉灵敏度为0.017 1 MPa/℃,满量程精度为0.735%,在26~1 500℃范围内具有良好的热-机械性能,为今后蓝宝石高温压力传感器结构的优化与改进提供了一定的参考。 展开更多
关键词 光纤高温压力传感器 法布里珀罗干涉仪(FPI) 光栅 蓝宝石薄膜 微电子机械系统(mems)
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粒子群优化算法在MEMS压力传感器电桥电阻计算与零偏补偿中的应用
5
作者 王帆 王津津 +1 位作者 王伟忠 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第8期142-149,共8页
采用粒子群优化(PSO)算法对微机电系统(MEMS)压力传感器电桥电阻进行了优化设计和验证。基于PSO算法的基本原理,建立电桥参数模型,充分利用冗余的测量数据配置优化条件,通过迭代运算得到了传感器惠斯通电桥电阻数值解,并将其作为零偏补... 采用粒子群优化(PSO)算法对微机电系统(MEMS)压力传感器电桥电阻进行了优化设计和验证。基于PSO算法的基本原理,建立电桥参数模型,充分利用冗余的测量数据配置优化条件,通过迭代运算得到了传感器惠斯通电桥电阻数值解,并将其作为零偏补偿的依据。然后根据计算和测试结果进行了零偏补偿,对补偿后结果进行了验证。结果表明,计算输出零偏值与实测输出零偏值之间的相对误差<1%;补偿后传感器的零偏值控制在0.5mV以内,实测零偏满量程误差≤0.1%。研究证明采用该算法模型可有效计算出MEMS压力传感器的电桥电阻参数,基于其计算结果的补偿方案可提升传感器电桥精度。 展开更多
关键词 压力传感器 惠斯通电桥 微机电系统(mems) 粒子群优化(PSO)算法 零偏补偿
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光纤MEMS法布里-珀罗压力传感器的准分布式测量 被引量：3
6
作者 倪小琦 王鸣 +1 位作者 陈绪兴 戴霞娟 《南京师范大学学报（工程技术版）》 CAS 2009年第4期82-86,共5页
提出了一种基于傅立叶解调法的空分复用系统,实现了光纤微机电系统(M icroE lectroM echan ical System,MEMS)法-珀(FP)压力传感器的准分布式测量.传感器基于FP腔干涉的原理,采用MEMS技术加工制作,用傅立叶方法解调干涉信号,用光开关实... 提出了一种基于傅立叶解调法的空分复用系统,实现了光纤微机电系统(M icroE lectroM echan ical System,MEMS)法-珀(FP)压力传感器的准分布式测量.传感器基于FP腔干涉的原理,采用MEMS技术加工制作,用傅立叶方法解调干涉信号,用光开关实现传感器复用.理论分析与实验验证了传感器解调和复用的基本原理.结果表明,该系统具有好的线性、灵敏度、精度和重复性,响应速度快,复用的传感器间无明显串扰,系统复用能力取决于光开关的通道数. 展开更多
关键词 导波与光纤光学 FP压力传感器 傅立叶解调法 准分布式测量
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MEMS压阻式压力传感器梁−膜−三岛膜结构设计与优化
7
作者 郭威 李辉 +5 位作者 罗登玲 刘细辉 邹力 李绍荣 郭小伟 唐普英 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期852-861,共10页
传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁−膜−三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁... 传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁−膜−三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁结构形成应力集中区,保证压力传感器的高灵敏度。对结构进行仿真分析,建立压力膜尺寸参数与力学性能之间的数学模型,对数学模型参数进行了分析、拟合和求解,最后求解非线性约束条件下的极值,完成尺寸优化,传感器性能得到提升。结果表明:在保证传感器低非线性度的条件下,提高了压力传感器的灵敏度,具有良好的力学性能。 展开更多
关键词 mems 压力传感器 有限元仿真 设计与优化
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基于MEMS压力传感器的土应力分布模型实验研究
8
作者 朱潇钰 邹浩南 +1 位作者 谢昕 姚蔚 《矿产勘查》 2024年第S2期140-148,共9页
对于地基中土体应力传递分布的研究,不仅有助于了解地基沉降变形时的作用过程与机理,而且对于分析其承载力稳定性问题也至关重要。此外,这些研究为城市建设活动中防灾减灾的控制提供有利的依据。鉴于传统土工测试中常用的土压力传感器... 对于地基中土体应力传递分布的研究,不仅有助于了解地基沉降变形时的作用过程与机理,而且对于分析其承载力稳定性问题也至关重要。此外,这些研究为城市建设活动中防灾减灾的控制提供有利的依据。鉴于传统土工测试中常用的土压力传感器因体积庞大、刚度过高而容易引发土拱效应,进而造成测量误差的局限的缺点,本文采用一种具备体积小、低功耗、精确度高等优点的MEMS气压力传感器进行改装,使其适用于土压力的测量,其受压面柔软的特点非常适用于土中自由应力场的测量。基于改装的MEMS土压力传感器建立了土应力分布室内实验模型,通过比较模型实验的实测结果和理论计算结果,验证了含水率的变化对土中应力分布传递存在着影响,同时也验证了经改装的MEMS土压力传感器用于土工试验的有效性。 展开更多
关键词 mems压力传感器 应力分布传递 室内模型实验 土压力传感器
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基于PSO-BP温度补偿算法的智能压力传感器设计
9
作者 张凌峰 丁晓宇 潘慕绚 《南京航空航天大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第1期160-168,共9页
压力信号是表征航空发动机工作性能的重要物理量。本文针对压力信号的高精度测量需求,提出了一种基于PSO-BP温度补偿算法的智能压力传感器设计方案。选取微电子机械系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)压阻式传感器作为信号感知... 压力信号是表征航空发动机工作性能的重要物理量。本文针对压力信号的高精度测量需求,提出了一种基于PSO-BP温度补偿算法的智能压力传感器设计方案。选取微电子机械系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)压阻式传感器作为信号感知端,通过模块化思想设计智能压力传感器的硬件和软件构架。针对压力传感器敏感元件因温度漂移造成的精度偏差问题,提出了一种基于PSO-BP神经网络的嵌入式温度补偿算法以提升测量精度。集成智能传感器软硬件功能,为验证智能传感器在全工况范围内的精度,进行多种压力、温度下的压力测量实验。结果表明,本文设计的智能压力传感器经补偿后满量程误差最大值为0.44%(量程范围为0~4 MPa),相比于传统插值法、多项式拟合法等温度补偿算法,精度提升至少20%,且算法单次仅耗时2μs,具有工程应用价值。 展开更多
关键词 航空发动机 mems压阻式智能压力传感器 模数转换驱动 温度补偿 PSO-BP神经网络
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MEMS F-P干涉型压力传感器 被引量：15
10
作者 江小峰 林春 +2 位作者 谢海鹤 黄元庆 颜黄苹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第7期2257-2262,共6页
为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求，提出了基于微机电系统（MEMS，Micro electromechanical System）技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技... 为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求，提出了基于微机电系统（MEMS，Micro electromechanical System）技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技术制作全玻璃结构式压力传感器工艺，结合溅射、光刻、腐蚀等工艺在7740 wafer基底上制作出F-P腔体，利用低压化学气相沉积（LPCVD）的方法在基底上沉积一层40 nm的非晶硅作为中间层。通过阳极键合技术在温度400℃下完成玻璃与玻璃的键合，并搭建了该传感器的压力测量平台。实验结果表明：在压力线性范围0-400 kPa内传感器具有很高的重复性，达到0.3%。灵敏度达到1.764 nm/kPa；在传感器使用范围0-80℃内，热敏感系数为0.15 nm/℃。该传感器的研究对设计制作改善了该类传感器的热膨胀失配问题，对低温漂型压力传感器的研究有一定参考价值。 展开更多
关键词 光纤传感器 mems 全玻璃材料 F—P腔制作
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一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器 被引量：22
11
作者 何洪涛 王伟忠 +2 位作者 杜少博 胡立业 杨志 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第4期233-239,255,共8页
提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径,根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡,开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSY... 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径,根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡,开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSYS软件进行敏感结构的仿真和设计,解决了SiC压力传感器加工工艺中材料刻蚀、耐高温金属化、敏感电阻制备等关键技术难点,最终加工形成SiC高温压力传感器芯片。经过高温带电测试,加工的SiC压力传感器能够在550℃的环境温度下、700 kPa压力范围内输出压力敏感信号,传感器非线性指标达到1.054%,芯片灵敏度为0.005 03 mV/kPa/V,证明了整套技术的有效性。 展开更多
关键词 SIC 微电子机械系统(mems) 压力传感器 高温 ANSYS软件
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一种MEMS高温压力传感器 被引量：10
12
作者 王伟忠 何洪涛 +1 位作者 卞玉民 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第6期387-393,共7页
基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行了设计,完成了芯片的加工。设计了传感器耐高温封装结构,完成了传感器的初级封装。最后,对常规MEMS压力传感器及研制的高温压力传感器的基本性能、电阻温度特性、漏电流温度特性进行了测试和对比,实验结果表明研制的高温压力传感器能够耐受350℃的高温。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 压阻效应 高温
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小量程MEMS电容式压力传感器的研究与发展 被引量：4
13
作者 张瑞 梁庭 +3 位作者 熊继军 刘雨涛 王心心 王涛龙 《电子技术应用》 北大核心 2015年第7期11-14,18,共5页
介绍了电容式传感器在小量程压力测量领域的优势和目前研制小量程MEMS电容式压力传感器的技术难点。从实现MEMS电容式传感器小量程压力测量的不同方法出发,详细论述了国内外的研究成果、关键技术及应用情况。最后分析总结了小量程MEMS... 介绍了电容式传感器在小量程压力测量领域的优势和目前研制小量程MEMS电容式压力传感器的技术难点。从实现MEMS电容式传感器小量程压力测量的不同方法出发,详细论述了国内外的研究成果、关键技术及应用情况。最后分析总结了小量程MEMS电容式压力传感器的发展方向与挑战。 展开更多
关键词 小量程 电容式 微机电系统(mems) 压力传感器
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一种基于微熔技术的MEMS大量程压力传感器 被引量：5
14
作者 卞玉民 鲁磊 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第6期422-427,共6页
基于半导体硅的压阻效应，研制了一种MEMS大量程压力传感器。为了实现大量程压力测量，采用了不锈钢材质制作了压力敏感膜片。利用有限元分析软件对传感器敏感芯体进行了结构建模仿真分析和优化设计。采用玻璃微熔技术将敏感电阻粘结固... 基于半导体硅的压阻效应，研制了一种MEMS大量程压力传感器。为了实现大量程压力测量，采用了不锈钢材质制作了压力敏感膜片。利用有限元分析软件对传感器敏感芯体进行了结构建模仿真分析和优化设计。采用玻璃微熔技术将敏感电阻粘结固定在不锈钢敏感膜片上。利用成熟的微电子机械系统（MEMS）加工工艺，完成了可以在高温下工作的绝缘体上硅（SOI）敏感电阻的制作。采用激光焊接方法将敏感芯体焊接到传感器基座上，提高了结构的机械强度。信号调理采用了压力信号专用集成电路（ASIC），具有高精度的放大和温度补偿功能。完成了整体封装和调试后，对压力传感器的主要性能指标进行了测试，结果表明压力传感器的工作温度为-55～150℃，压力量程0～42MPa，精度〈0．5％。 展开更多
关键词 微熔 微电子机械系统(mems) 大量程 压力传感器 绝缘体上硅(SOI)
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基于稳态扫频的MEMS谐振压力传感器芯片测试 被引量：1
15
作者 李晓莹 张艳飞 +2 位作者 任森 邓进军 苑伟政 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第4期224-228,254,共6页
针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计。此设计将单片机技术与直接数字频率合成技术的优点相结合,实现了范围为1 ... 针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计。此设计将单片机技术与直接数字频率合成技术的优点相结合,实现了范围为1 kHz～1 MHz精确扫频,其最小扫频步距为1 Hz。通过算法补偿有效减小了扫频激励信号的频率误差,使其平均绝对误差低于0.08 Hz。在幅值检测电路设计中,采用峰值检测电路与差分PulSAR ADC电路相结合,实现了传感器输出信号电压幅值的高分辨率检测,实测得到传感器幅频曲线,并对谐振器的谐振频率稳定性进行了测试,计算出了谐振器的机械品质因数和谐振频率等参数,为谐振器结构优化设计提供了依据。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 谐振式压力传感器 芯片测试 直接数字合成 扫频
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一种基于SOI技术的MEMS电容式压力传感器 被引量：6
16
作者 卞玉民 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第5期345-350,共6页
利用绝缘体上硅（SOI）技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统（MEMS）电容式压力传感器。利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力和模态仿真分析。敏感结构为敏感电... 利用绝缘体上硅（SOI）技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统（MEMS）电容式压力传感器。利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力和模态仿真分析。敏感结构为敏感电容和参考电容差动输出形式,可以有效减小温度漂移和重力误差对压力测量准确度的影响。比较了无岛和有岛两种敏感膜的性能差异。为了提高传感器性能,利用成熟的MEMS加工工艺制作了SOI敏感电容极板,并利用硅-硅键合工艺实现了真空腔体。传感器采用标准塑封封装后,采用高低温压力测量系统进行了性能测试。测试结果表明,传感器量程达到30-120 kPa,非线性0.04%-0.09%,分辨率1 Pa。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 电容式压力传感器 高精度 绝缘体上硅(SOI) 硅-硅键合
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基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计 被引量：2
17
作者 鲍丙豪 陈亮 《电子科技》 2019年第3期57-60,共4页
基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率... 基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点。通过对10 pF以下的固定电容和MEMS电容式压力传感器测量验证新电路的性能。实验结果表明,电路在10 Hz刷新频率下有效精度位为16位,分辨率可达61 aF。 展开更多
关键词 mems 电容式压力传感器 Pcap01 TDC 微电容检测技术 微处理器
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用于海洋三维温度场监测的MEMS温压一体式传感器
18
作者 曹书野 张弛 +4 位作者 和欣 黄健 周继明 吴梦希 刘军山 《微纳电子技术》 CAS 2024年第10期91-99,共9页
海水温度和深度信息的采集在水文、气象、渔业、生态保护等领域具有重要意义。基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种用于海水温度及深度检测的温压一体式传感器。该传感器采用双面设计,利用薄膜式铂电阻传感单元和压阻式压力传感单元分... 海水温度和深度信息的采集在水文、气象、渔业、生态保护等领域具有重要意义。基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种用于海水温度及深度检测的温压一体式传感器。该传感器采用双面设计,利用薄膜式铂电阻传感单元和压阻式压力传感单元分别检测温度和深度信息。两种传感单元均可通过MEMS工艺进行制作,且制作工艺互相兼容,因此,该传感器具有尺寸小、易于大批量制造、可与CMOS集成等优点。经对该传感器性能进行测试,温度传感单元在0~40℃范围内的电阻温度系数为0.27%/℃,测量精度为±0.04℃,同一批次样品电阻温度系数标准偏差为±0.0049%/℃;压力传感单元的量程为0~10 MPa,在该量程范围内其有良好的线性度(R^(2)=0.9993)、灵敏度(14.14 mV/MPa)和批量一致性(灵敏度的标准偏差为±0.896 mV/MPa)。此外,利用温度传感单元信号对压力传感单元在不同温度下的输出电压进行温度-压力解耦,解耦后压力传感单元在5~35℃温度范围内的最大相对误差由8.42%降低至1.07%。开发的MEMS温压一体式传感器满足了海水温度和深度检测的性能需求,有望解决海洋三维温度场监测的难题,在海洋环境保护和水文信息采集等领域有着广泛的应用前景。 展开更多
关键词 温度传感器 压力传感器 微机电系统(mems)传感器 海洋环境检测 多传感信号解耦
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MEMS压力传感器及其应用 被引量：12
19
作者 颜重光 《电子产品世界》 2009年第6期58-60,共3页
简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。
关键词 mems压力传感器 惠斯顿电桥 硅薄膜应力杯 硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器
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基于光纤光栅压力传感器的桥梁斜拉索索力自校准监测技术
20
作者 张瑞友 黄海波 刘芳 《西部交通科技》 2024年第9期94-97,共4页
为实现桥梁斜拉索索力的长期、准确监测,文章提出了一种基于光纤光栅压力传感器的索力自校准监测技术。该技术在压力传感器实时监测斜拉索索力的同时,还对斜拉索的振动行为进行实时监测,根据后者的数据,按照频率法再次计算斜拉索的索力... 为实现桥梁斜拉索索力的长期、准确监测,文章提出了一种基于光纤光栅压力传感器的索力自校准监测技术。该技术在压力传感器实时监测斜拉索索力的同时,还对斜拉索的振动行为进行实时监测,根据后者的数据,按照频率法再次计算斜拉索的索力,对传感器监测值进行复核,以达到斜拉索索力自校准监测的目的。实例桥梁监测效果表明,这两种方法均可准确地获得斜拉索索力,两者的结果相对误差≤3.47%,且相对于桥梁第三期压重布置完成后各斜拉索理论索力值,压力传感器测试法和振动频率测试法计算出的平均索力值误差均≤0.83%。 展开更多
关键词 光纤光栅 压力传感器 频率法 索力自校准
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