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基于MEMS传感阵列的海底地形形变原位监测装置 被引量:4
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作者 葛勇强 曹晨 +5 位作者 陈家旺 徐春莺 周朋 高峰 梁涛 方玉平 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1732-1739,共8页
为了满足南海天然气水合物资源试采环境评价的迫切需要,提出基于微机电系统(MEMS)传感阵列的海底地形形变监测技术及装置.开发基于MEMS传感阵列的多点同步采集系统,在实验室理想环境测试中,实现30 m×30 m区域的地形原位监测,地形... 为了满足南海天然气水合物资源试采环境评价的迫切需要,提出基于微机电系统(MEMS)传感阵列的海底地形形变监测技术及装置.开发基于MEMS传感阵列的多点同步采集系统,在实验室理想环境测试中,实现30 m×30 m区域的地形原位监测,地形形变监测分辨率优于5 cm且监测误差小于13 mm.构建三维海底地形变形矢量模型,利用MEMS传感器的扭转角和各节的长度确定传感阵列变形后的空间位置,采用细分算法拟合获得地形的表面形态.所提海底地形形变监测装置在水深为1203 m的天然气水合物试采区完成连续6个月的原位监测.海试结果表明,MEMS传感阵列观测到的地形最大沉降量为2 cm,最大抬升量为10 cm. 展开更多
关键词 微机电系统(mems)阵列 同步采集 地形变形重构 原位监测
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电气设备状态参量智能传感技术 被引量:51
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作者 陈伟根 张知先 +2 位作者 李剑 蔚超 陈庆 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第S01期323-342,共20页
电气设备状态参量的准确传感是对电气设备进行状态评估和制定运维策略的基础。随着智能电网中设备规模的不断扩大,以及对数据质量要求的不断提高,常规传感技术难以满足目前电气设备状态参量传感的需求,智能传感技术受到广泛关注。该文... 电气设备状态参量的准确传感是对电气设备进行状态评估和制定运维策略的基础。随着智能电网中设备规模的不断扩大,以及对数据质量要求的不断提高,常规传感技术难以满足目前电气设备状态参量传感的需求,智能传感技术受到广泛关注。该文首先分析电气设备状态参量智能传感技术的典型特征和发展逻辑。在此基础上,从嵌入式系统与传感器智能化、光学传感、MEMS传感、无线传感网络与边缘计算架构4个方面阐述目前国内外学者在电气设备状态参量智能传感领域的最新研究成果,指出研究中仍需解决的问题。最后,对电气设备状态参量智能传感技术未来的发展作出展望。 展开更多
关键词 电气设备 状态参量 智能 光学 mems传感 无线网络
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超快激光3D打印无机材料技术及应用(特邀)
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作者 廖常锐 方浩锐 +3 位作者 朱德志 何智明 陈文涛 王义平 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第4期64-85,共22页
无机材料因其卓越的机械性能、化学稳定性和耐高温特性,广泛应用于航空航天、电子设备、光学器件等领域。然而,传统无机材料制造方法因工艺复杂、精度不足等限制难以满足高性能器件需求,而飞秒激光三维(3D)打印技术凭借其适用多种材料... 无机材料因其卓越的机械性能、化学稳定性和耐高温特性,广泛应用于航空航天、电子设备、光学器件等领域。然而,传统无机材料制造方法因工艺复杂、精度不足等限制难以满足高性能器件需求,而飞秒激光三维(3D)打印技术凭借其适用多种材料的能力和出色的空间分辨率,为无机微纳结构制造开辟了新路径。近年来,基于无机材料的飞秒激光3 D打印技术取得了重要进展,涵盖有机-无机复合材料和纯无机材料两大工艺。复合材料打印通过将无机成分掺入有机树脂光刻胶,结合双光子聚合技术(TPP)制备高性能结构;纯无机材料打印则直接利用无机前驱体或纳米颗粒,通过激光诱导反应构建无机结构。相比传统工艺,该技术在光学微器件、微机电系统(MEMS)及生命科学等领域展现出显著优势。然而,其在材料选择、加工效率和结构稳定性方面仍面临挑战。本报告系统总结了飞秒激光3D打印无机材料的工艺与应用进展,并深入探讨了其技术瓶颈及解决方案。未来,随着新型光敏材料、共混技术和激光打印方法的发展,该技术有望实现更高效、更精确的微纳制造,并在复杂光纤系统、微纳光子学及生命科学等领域展现更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 飞秒激光3D打印 无机材料 光学器件 mems传感 生命科学
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