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高精度MEMS硅陀螺仪接口ASIC设计
1
作者 张欢 陈伟平 +3 位作者 张文博 王一行 付强 尹亮 《遥测遥控》 2025年第3期42-50,共9页
为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并... 为满足惯性导航、自动驾驶等领域的应用需求,实现微电子机械系统(MEMS)硅陀螺仪向高精度、数字化和微小型化的方向发展,本文基于0.35μm BCD工艺(双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体工艺),采用单芯片集成方式,设计并实现了一款具有数字化输出的MEMS硅陀螺仪接口电路。采用基于噪声自激的闭环驱动方案,使陀螺仪在驱动方向上实现简谐振动。检测电路使用低噪声电容-电压(C/V)转换电路,将检测模态位移信号转换为电压信号。信号处理通过开关相敏解调技术进行精确解调,并结合低通滤波处理,有效抑制系统噪声,从而获得低噪声的模拟角速度输出信号。为了实现硅陀螺角速度的数字化输出,设计了集成的四阶全前馈Sigma-Delta(ΣΔ)模数转换器(ADC),将模拟角速度信号转换为数字信号。芯片测试结果表明:ΣΔ调制器的动态范围达到110 dB,低频噪底约为-120 dB。陀螺整机的量程为±200(°)/s,标度因数为21310 LSB/((°)/s)(最低有效位每度每秒),非线性误差为178×10^(-6),零偏不稳定性为0.259(°)/h,角度随机游走为0.0287(°)/√h(度每平方根小时)。该芯片面积为4.3 mm×4.3 mm。通过采用单片集成的接口ASIC(专用集成电路)替代传统的PCB(印制电路板)板级系统,显著提高了系统集成度,成功满足了MEMS硅陀螺微小型化的需求,推动了其在高精度数字化应用中的发展。 展开更多
关键词 mems 硅陀螺仪 接口ASIC ΣΔADC 数字输出
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一种低频高灵敏度压电MEMS声接收器设计
2
作者 王登攀 黄晶 +7 位作者 赵德锋 王飞 王露 刘文怡 苗晋威 张立宇 袁宇鹏 胡义东 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期28-31,58,共5页
为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高... 为了提高低频段的灵敏度,基于ScAlN薄膜设计了一种开缝式低频高灵敏度MEMS声传感器结构,并分析了开缝数量对谐振频率和电压输出的影响规律。制作微机电系统(MEMS)声接收器样品,当谐振频率为29.3 kHz时,在20~30 kHz内测得其最高灵敏度高于-60 dB,说明所提出的开缝式结构能在低频段实现高灵敏度。 展开更多
关键词 压电薄膜 微机电系统(mems) 声接收器
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基于MEMS和无线通信的余震流动监测预警系统
3
作者 周浩 朱景宝 +1 位作者 宋晋东 李山有 《世界地震工程》 北大核心 2025年第1期133-144,共12页
余震作为地震后的主要次生灾害,对救援人员和受灾区域的安全构成严重威胁。为了有效监测余震活动并为救援行动提供及时信息,针对缺乏公共网络支持、需要高度机动性和适应复杂环境的监测背景,构建了一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanica... 余震作为地震后的主要次生灾害,对救援人员和受灾区域的安全构成严重威胁。为了有效监测余震活动并为救援行动提供及时信息,针对缺乏公共网络支持、需要高度机动性和适应复杂环境的监测背景,构建了一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器和无线通信技术的余震流动监测预警系统。该系统通过临时部署可移动的余震流动监测单元,实时采集和分析地震数据,增强对地震活动的监测、分析和预警能力。硬件设计方面,系统采用了高精度MEMS三轴加速度传感器作为地震数据采集端,通过24位模数转换芯片将模拟信号转换为数字信号,并利用单片机进行数据处理,使用本地存储和终端存储确保数据的安全性,使用无线通信技术将地震波形数据传输到余震监测中心。软件设计方面,系统嵌入支持向量机现地地震动峰值预测模型,以实现对现地地震动峰值的预测。系统测试结果表明:余震流动监测预警系统能够有效采集地震加速度数据,并准确预测地震动峰值,发出可靠警报。通过测试,系统显示出在余震监测预警中的准确性、时效性与可靠性,对于指导救援行动和保证救援安全具有重要的实际意义。 展开更多
关键词 余震监测 流动监测 mems传感器 无线通信技术 机器学习
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MEMS电热驱动器多场耦合模型及温度特性
4
作者 谢海鹏 曹云 +3 位作者 孔啸宇 朱恒伯 陈旺生 席占稳 《哈尔滨工业大学学报》 北大核心 2025年第4期142-150,共9页
为研究微小尺度下MEMS电热驱动器的温度特性,考虑空气对驱动器动态热平衡的影响,提出了一种基于空气对流传热的电-热-流-固多场耦合模型。根据能量守恒方程以及气体对流换热和热传导等理论,建立MEMS电热驱动器的电-热-流-固多场耦合模型... 为研究微小尺度下MEMS电热驱动器的温度特性,考虑空气对驱动器动态热平衡的影响,提出了一种基于空气对流传热的电-热-流-固多场耦合模型。根据能量守恒方程以及气体对流换热和热传导等理论,建立MEMS电热驱动器的电-热-流-固多场耦合模型,并进行了有限元仿真。搭建MEMS电热驱动器温度特性试验平台,将恒定电压激励下的驱动器温度响应试验结果与电-热-流-固多场耦合模型以及传统传热模型仿真结果进行对比分析,结果表明:相较于基于恒定对流换热系数及经验公式的模型,采用电-热-流-固多场耦合模型得到的结果准确性更高,稳态温度分布误差在0.8%~7.6%之间;驱动器各表面的对流换热系数分布不均匀;对流换热系数在上表面、下表面及竖直壁面分别呈现先下降后上升、上升以及先上升后下降的趋势,但在3个特征面上对流换热系数几乎同时达到稳态,此时驱动器温度也达到稳态。基于空气对流换热不均匀特性,所获得的电热驱动器温度特性为MEMS电热驱动器在微机电系统中的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 电热驱动器 温度特性 对流换热 电-热-流-固 微机电系统(mems)
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温度对MEMS电容薄膜真空计测量性能的影响研究
5
作者 韩晓东 张虎忠 +5 位作者 习振华 陶文泽 任正宜 贾文杰 贺德衍 李刚 《真空与低温》 2025年第3期322-328,共7页
MEMS电容薄膜真空计实现了传统机械式电容薄膜真空计的小型化,在微电子、深空探测等领域有广泛的应用前景。作为一种准确度高、稳定性好、测量结果与气体成分无关的中低真空全压力测量仪器,MEMS电容薄膜真空计测量结果与环境温度密切相... MEMS电容薄膜真空计实现了传统机械式电容薄膜真空计的小型化,在微电子、深空探测等领域有广泛的应用前景。作为一种准确度高、稳定性好、测量结果与气体成分无关的中低真空全压力测量仪器,MEMS电容薄膜真空计测量结果与环境温度密切相关。为保证其测量的准确性,须考虑温度漂移特性并进行修正。论文分析了温度变化对MEMS电容薄膜真空计测量性能影响的机理。基于所研制的MEMS电容薄膜真空计,在0.1 Pa至101 kPa(大气压)的全量程测量范围内,开展-20~50℃温度范围内真空计压力-电容特性研究。结果表明,MEMS电容薄膜真空计的测量结果受环境温度的影响,其输出电容随着温度的升高而增大。在真空计测量零点,输出电容随温度的升高而增大,且与温度呈现线性关系。在-20℃至50℃的温度范围内,MEMS电容薄膜真空计在相同压力点下的输出电容也随温度的升高而增大,温度相差10℃时,真空计输出电容的相对偏差最大为3.1%。此外,测试结果也表明,温度造成的测量结果偏差大小与待测压力的大小相关。本研究将为MEMS电容薄膜真空计的温度补偿技术提供有力支撑。 展开更多
关键词 mems 电容薄膜真空计 温度影响 实验研究
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MEMS热阴极电离真空计电路系统的开发
6
作者 刘晨溪 郑润涵 +6 位作者 李志伟 赵彦晴 余玉强 李洋 郭等柱 王雨薇 魏贤龙 《真空与低温》 2025年第3期315-321,共7页
热阴极电离真空计凭借其稳定可靠的性能以及优异的高真空探测能力,广泛应用于半导体、航空航天以及医药医疗等行业中。然而,传统的热阴极电离真空计至今仍存在体积大、难以并行加工与集成等瓶颈。针对上述问题,基于课题组之前加工的MEM... 热阴极电离真空计凭借其稳定可靠的性能以及优异的高真空探测能力,广泛应用于半导体、航空航天以及医药医疗等行业中。然而,传统的热阴极电离真空计至今仍存在体积大、难以并行加工与集成等瓶颈。针对上述问题,基于课题组之前加工的MEMS热阴极电离真空规,配套开发了一套以STM32单片机为控制核心的电路系统。该电路系统能通过反激电路为热阴极电离真空规的栅极施加210 V直流偏压,并调节恒流芯片的输出电流以调节阴极的加热功率从而获得稳定的发射电流,同时处理经过离子电流测量电路I-V转换的电压信号从而获得压力数值。该套电路系统搭配课题组开发的MEMS热阴极电离真空规,仪器整体尺寸仅为ϕ5.5 cm×7.6 cm,在小型化方面展现出优势,将来可被应用于体积受限的场景中进行真空测量。在真空测试环境中,该真空计的发射电流平均值为10.1μA,RSD为0.51%;能够测量2.1×10^(-3)Pa至1.8×10^(-1)Pa的压力,线性度为3.58%。研究成果为开发实用化的宽量程MEMS热阴极电离真空计奠定了基础。 展开更多
关键词 mems 热阴极电离真空计 稳流电路 离子流测量电路
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基于厚硅片的MEMS碱金属原子气室的制备研究
7
作者 呼振宇 吴森亮 +3 位作者 赵彦晴 丁祝顺 李志伟 魏贤龙 《真空与低温》 2025年第3期371-376,共6页
碱金属原子气室是原子钟、原子磁力计和原子陀螺仪等量子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现气室的片上化和微型化,是当前原子气室发展的重要方向。为实现原子气室微型化与光路长度扩展的协同优化,设计了玻璃/硅/玻璃三层... 碱金属原子气室是原子钟、原子磁力计和原子陀螺仪等量子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现气室的片上化和微型化,是当前原子气室发展的重要方向。为实现原子气室微型化与光路长度扩展的协同优化,设计了玻璃/硅/玻璃三层双腔结构,采用激光切割技术加工3 mm厚带通孔的硅片,并结合阳极键合工艺与高功率激光解吸释放剂技术,成功制备了填充7 kPa氮气缓冲气体的MEMS芯片级铷原子气室。单个原子气室尺寸为6 mm×6 mm×5 mm,光路长度为3 mm,经氦质谱检漏,键合界面漏率不高于5×10^(-10) Pa·m^(3)·s^(-1)。通过光学实验平台测试,能够测量到铷原子的吸收谱线,说明了该工艺方案的可行性。 展开更多
关键词 CPT mems原子气室 碱金属
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考虑边缘效应的静电驱动MEMS振子非线性振动定性研究
8
作者 李佰洲 韩建鑫 +1 位作者 黄仪 崔良玉 《振动与冲击》 北大核心 2025年第1期10-19,共10页
应用非线性动力学理论定性研究了考虑边缘效应的静电驱动微机电系统(micro-electromechanical system,MEMS)振子的非线性主共振问题。首先,应用微分求积法的空间离散处理得到了系统的单自由度动力学方程;其次,应用分岔理论研究了系统的... 应用非线性动力学理论定性研究了考虑边缘效应的静电驱动微机电系统(micro-electromechanical system,MEMS)振子的非线性主共振问题。首先,应用微分求积法的空间离散处理得到了系统的单自由度动力学方程;其次,应用分岔理论研究了系统的静态分岔特征,推导并定义了无量纲临界立方刚度、一次吸合电压和二次吸合电压;然后,应用多尺度方法得到了系统的频响函数,定义了小幅振动频响软硬特性转换的无量纲临界电压;最后,结合动态吸合条件与软硬转换临界控制方程,讨论了系统的主共振以及阱间跳跃的动态规律。该研究对于定性掌握静电驱动MEMS振子的静动态吸合及主共振响应规律具有理论及工程参考价值。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)振子非线性振动 分岔 吸合 边缘效应
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一种小体积MEMS传感器数据记录仪
9
作者 尚义航 赵凯明 +1 位作者 段俊萍 张斌珍 《微纳电子技术》 2025年第1期110-117,共8页
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传... 对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传感器数据记录仪。它能够对三轴角速度、加速度以及磁场数据进行同步测量。数据计算和实验测试结果表明,记录仪总体积为22.4 cm^(3),工作状态下的功耗仅为0.68 W。通过抗过载工艺使系统抗过载能力达到了18000g,实现了对于小体积、低功耗和高抗过载能力的特性要求。通过Labview软件对磁场数据进行测量及误差分析,得到线性度误差最大值仅为-1.14%,满足HMC1053三轴磁传感器线性度误差优于±1.8%的指标要求,能够实现对于小型飞行器发射航行过程中的数据采集,具有很高的可行性。 展开更多
关键词 传感器数据记录仪 微电子机械系统(mems) 小体积 高抗过载 低功耗
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MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
10
作者 杨真 陈靖元 +4 位作者 张朕泽 祝梦娇 黄家宝 孙学成 雷冲 《微纳电子技术》 2025年第3期99-120,共22页
微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构... 微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 微型线圈 磁敏传感器 巨磁阻抗传感器 磁通门传感器
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压电式MEMS水听器振膜结构的幅频特性检测研究
11
作者 宋辰阳 李建友 +1 位作者 李冠华 李根梓 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期319-325,共7页
介绍了一种使用反射式数字全息显微镜检测压电式MEMS水听器中振膜结构幅频特性的方法。首先采用光学方法测量得到水听器上振膜结构的静态形貌,再利用压电材料的逆压电效应对压电薄膜施以一定区间频率的电激励,经数字全息显微镜表征动态... 介绍了一种使用反射式数字全息显微镜检测压电式MEMS水听器中振膜结构幅频特性的方法。首先采用光学方法测量得到水听器上振膜结构的静态形貌,再利用压电材料的逆压电效应对压电薄膜施以一定区间频率的电激励,经数字全息显微镜表征动态三维形貌,记录振膜在不同频率下的动态响应情况,以获得其特征频率、特征频率处的振型等关键信息。试验结果表明,该方法能较好地表征振膜结构的静态形貌、特征频率、振型等特性,有助于加速压电式微机电系统(MEMS)水听器的迭代开发。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 压电水听器 振膜结构 数字全息显微镜 幅频特性
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毫米波/太赫兹MEMS开关研究及技术进展
12
作者 张博 李依桐 +4 位作者 张乃柏 宋瑞良 邓琨 杨光耀 刘军 《固体电子学研究与进展》 2025年第1期41-46,共6页
毫米波/太赫兹MEMS开关是一种采用半导体技术制造的微小型可移动器件,具有体积小、功耗低、集成度高等优点。本文首先介绍了毫米波/太赫兹MEMS开关的结构及工作原理,回顾了近年来基于固定梁式和悬臂梁式的毫米波/太赫兹MEMS开关的研究进... 毫米波/太赫兹MEMS开关是一种采用半导体技术制造的微小型可移动器件,具有体积小、功耗低、集成度高等优点。本文首先介绍了毫米波/太赫兹MEMS开关的结构及工作原理,回顾了近年来基于固定梁式和悬臂梁式的毫米波/太赫兹MEMS开关的研究进展,指出对于低功耗的应用来说,悬臂梁式的开关要优于其他的开关设计。然后,分析了几种典型的毫米波/太赫兹MEMS开关的重要性能指标优化方案。最后,阐述了毫米波/太赫兹MEMS开关在6G移动通信的应用,并对其未来研究趋势和面临的挑战进行了总结和展望。 展开更多
关键词 微机电开关 电容比 微加工 半导体技术 6G移动通信
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MEMS传感器异质材料键合界面的可靠性分析
13
作者 袁婷 许高斌 +2 位作者 关存贺 马渊明 冯建国 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第4期469-474,共6页
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对... 微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对器件可靠性的影响,文章考虑材料的热膨胀系数和温度影响下的杨氏模量,利用COMSOL仿真获得的应力数据建立异质材料间的键合界面应力在不同温度、热膨胀系数和杨氏模量3种因素共同影响下的理论数学模型;并针对MEMS传感器中的硅-玻璃键合界面,基于相关键合强度数据,结合蒙特卡洛方法和应力强度干涉模型计算得到异质材料键合界面的可靠度。结果显示,异质材料键合界面的可靠度为0.992108,表明在服从韦布尔分布下的温度产生的应力不足以引起材料失效,此时器件的稳定性和可靠性较高,验证了所建模型的正确性和实用性,实现了对MEMS传感器退化行为的建模及预测。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)传感器 异质材料 键合界面 热应力 可靠性
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基于C++的多通道RF-MEMS测试系统上位机软件设计
14
作者 睢林 曹咏弘 王耀利 《舰船电子工程》 2025年第2期172-177,共6页
为了提高RF-MEMS的发展,需要对RF-MEMS性能进行检测,为此针对RF-MEMS开发了无损测试系统,而为了解决对测试系统的控制及数据处理问题,利用VS(Microsoft Visual Studio)开发平台基于C++MFC库设计RF-MEMS测试系统上位机软件。该软件利用US... 为了提高RF-MEMS的发展,需要对RF-MEMS性能进行检测,为此针对RF-MEMS开发了无损测试系统,而为了解决对测试系统的控制及数据处理问题,利用VS(Microsoft Visual Studio)开发平台基于C++MFC库设计RF-MEMS测试系统上位机软件。该软件利用USB接口与GPIB(NI VISA)接口分别与RF-MEMS测试系统控制电路模块和测量模块实现信息交互,然后通过信号分析模块对数据进行处理,将这些数据波形显示在测试系统液晶屏上。该控制软件实现了测试系统的一体化和智能化,且运行流畅操作简单,满足了当下对测试系统智能化便捷化的需求具有应用推广价值。 展开更多
关键词 VSC++ 上位机软件 RF-mems测试系统 通道控制 波形显示
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MEMS封装LGA2x2产品切割后点胶工艺方法研究
15
作者 薛岫琦 郑志荣 《电子与封装》 2025年第5期126-133,共8页
介绍了MEMS成型后点胶的通用工艺,提出了MEMS封装产品成型切割后点胶中遇到的问题。针对此次工艺进行了试验,采用数理统计方法进行了分析。对MEMS封装产品成型切割后点胶工艺方法进行研究,找出点胶实施过程的问题,实施优化切割后的点胶... 介绍了MEMS成型后点胶的通用工艺,提出了MEMS封装产品成型切割后点胶中遇到的问题。针对此次工艺进行了试验,采用数理统计方法进行了分析。对MEMS封装产品成型切割后点胶工艺方法进行研究,找出点胶实施过程的问题,实施优化切割后的点胶方法。最终采用数理统计方法验证了该点胶方法在工艺实施过程的可行性,胶水直径与胶水位置的CPK均大于1.33,数据集中过程能力优秀。与原方法对比,该方法的精度有明显提高,且满足了工艺中切割后对于点胶的要求。 展开更多
关键词 封装 mems 点胶
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MEMS汽车压力传感器的标定算法研究
16
作者 孙路 《汽车电器》 2025年第3期73-76,共4页
压力传感器广泛应用在工业自动化、汽车电子、医疗设备和消费电子等领域,在汽车中的发动机、空调和TPMS(汽车轮胎压力监测系统)等零部件大量应用。标定过程是压力传感器关键工艺,标定过程中的保压和温控是该工艺的关键控制特性,为了确... 压力传感器广泛应用在工业自动化、汽车电子、医疗设备和消费电子等领域,在汽车中的发动机、空调和TPMS(汽车轮胎压力监测系统)等零部件大量应用。标定过程是压力传感器关键工艺,标定过程中的保压和温控是该工艺的关键控制特性,为了确保传感器完全达到设定温度,标定过程需要很长的温度稳定时间,也需要高精度的温度和压力控制,为生产带来较大的困难,生产节拍难以提高,产量受到制约。新开发的压力传感器标定算法,将有效减少高精度压力和温度控制设备,避免昂贵设备投资,并且降低生产时间,提高生产率。文章以TPMS为例,介绍新标定设计方案,其他压力检测产品也可以借鉴。 展开更多
关键词 mems TPMS 惠斯通电桥 多路复用
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基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器
17
作者 解涛 袁宇鹏 李小飞 《微纳电子技术》 2025年第3期74-81,共8页
随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的... 随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的制备。该传感器的性能测试结果表明其具有高分辨率、良好的重复性与一致性,对体积分数低于10%的二氧化碳气体具有优良响应。此外,基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器既具有较强的抗干扰特性,对环境的适应性较强,又具备MEMS传感器体积小、易批量生产的优势。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 集成式 红外型 二氧化碳气体传感器
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面向智能装备的MEMS惯性集成微系统关键技术分析
18
作者 蒋鹏 鞠莉娜 +3 位作者 王子 徐彤 李亚平 陈远金 《微纳电子技术》 2025年第3期92-98,共7页
装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出... 装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出发,重点介绍了MEMS惯性集成微系统跨尺度设计、三维异构集成工艺、集成检测与可靠性验证等关键技术,并对技术发展趋势进行了分析。 展开更多
关键词 智能装备 微机电系统(mems) 惯性集成微系统 多物理场 三维集成 缺陷检测
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基于lift-off工艺的RF MEMS开关触点平坦化方法
19
作者 杨彪 诸葛明华 +1 位作者 吴国才 容炎森 《微纳电子技术》 2025年第2期116-121,共6页
采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift... 采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift-off工艺解决触点与牺牲层平坦化的问题。再采用电镀工艺制备金悬臂梁,使用氢氧化钠溶液腐蚀铝释放获得RF MEMS开关。通过原子力显微镜(AFM)、聚焦离子束显微镜(FIB)等仪器对样品进行形貌测量,数据显示开关触点与铝牺牲层的高度差约为27.36 nm,悬臂梁与下方平面的左右空隙差约为22 nm,结果表明通过该方法能够实现开关触点与牺牲层的高度平坦化。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RF mems)开关 开关触点 牺牲层 平坦化 lift-off工艺
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北京遥测技术研究所MEMS工程中心
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《遥测遥控》 2025年第1期F0003-F0003,共1页
北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力... 北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。 展开更多
关键词 薄膜压力传感器 遥测技术 高温压力传感器 加速度传感器 mems传感器 mems器件 mems技术 洁净厂房
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