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一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)
被引量：
1
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作者
陈健
陈德勇
王军波
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期274-278,共5页
为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析...
为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响,优化后该结构的放大倍数高达200.基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器,分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点,并对这两种结构进行有限元模拟.模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于1000Hz/gn,进而验证这种新提出的微杠杆结构的有效性.
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关键词
微机械电子系统
微杠杆结构
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
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职称材料
谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)
2
作者
陈健
陈德勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期96-100,共5页
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点...
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.
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关键词
微机械电子系统
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
非完全匹配的双端固定音叉
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职称材料
题名
一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)
被引量：
1
1
作者
陈健
陈德勇
王军波
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期274-278,共5页
文摘
为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上,为了进一步提高微杆杠的放大倍数,对其参数进行优化,分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响,优化后该结构的放大倍数高达200.基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器,分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点,并对这两种结构进行有限元模拟.模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于1000Hz/gn,进而验证这种新提出的微杠杆结构的有效性.
关键词
微机械电子系统
微杠杆结构
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
Keywords
mems microleverage structure resonant microaccelerometer fea simulation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)
2
作者
陈健
陈德勇
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期96-100,共5页
文摘
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.
关键词
微机械电子系统
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
非完全匹配的双端固定音叉
Keywords
mems
resonant
microaccelerometer
fea
simulation
, not perfectly matched DETF
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)
陈健
陈德勇
王军波
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
在线阅读
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职称材料
2
谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)
陈健
陈德勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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职称材料
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参考文献
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