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基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟
1
作者
吴峻苗
邹德恕
+1 位作者
徐晨
沈光地
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期416-417,419,共3页
提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工...
提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变。
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关键词
微机械
气动式红外探测器
流体-热-结构耦合
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职称材料
微机械Golay腔型红外探测器的研究
被引量：
1
2
作者
高翔
徐静
+2 位作者
赵本刚
万助军
吴亚明
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第3期20-23,共4页
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/...
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/2和响应时间为0.5m s。利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响。
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关键词
微电子机械系统
红外探测器
气动
Golay腔
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职称材料
题名
基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟
1
作者
吴峻苗
邹德恕
徐晨
沈光地
机构
北京工业大学电子信息与控制工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期416-417,419,共3页
基金
国家自然科学基金(69976004)
北京市教委(KM200310005009)资助项目。
文摘
提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变。
关键词
微机械
气动式红外探测器
流体-热-结构耦合
Keywords
mems pneumatic infrared detector fluid-thermal-structural coupling
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
微机械Golay腔型红外探测器的研究
被引量：
1
2
作者
高翔
徐静
赵本刚
万助军
吴亚明
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第3期20-23,共4页
文摘
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/2和响应时间为0.5m s。利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响。
关键词
微电子机械系统
红外探测器
气动
Golay腔
Keywords
mems
infrared
detector
pneumatic
Golay cell
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟
吴峻苗
邹德恕
徐晨
沈光地
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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职称材料
2
微机械Golay腔型红外探测器的研究
高翔
徐静
赵本刚
万助军
吴亚明
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007
1
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职称材料
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参考文献
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