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MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现被引量：3: 1; 作者金翠云李一博 +1 位作者靳世久王立坤《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期380-382,共3页; 在 MEMS动态测试过程中 ,由于 MEMS器件的运动频率都比较高 ,如何获得高速运动的 MEMS器件的清晰图像 ,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的 MEMS动态测试系统 ,设计了一套频闪驱动电路 ,用于采集高速运动的 MEMS器... 展开更多; 关键词 mems 动态测试频闪清晰图像; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于频闪法的MEMS动静态测试系统被引量：3: 2; 作者王青玲向东 +2 位作者何开华吴娟万淼《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期27-31,36,共6页; 为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌... 展开更多; 关键词微机电系统特性测试频闪成像相对延时; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术(英文) 被引量：3: 3; 作者金翠云栗大超 +2 位作者靳世久冯亚林郝一龙《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期771-774,796,共5页; 随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要... 展开更多; 关键词 mems 动态测试机器微视觉模糊图像微谐振器谐振频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量被引量：2: 4; 作者金翠云靳世久王建林《电子测量与仪器学报》 CSCD 2007年第1期90-95,共6页; 为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析仪。其实现机理是基于频闪成像原理获得MEMS谐振器一个周期内所需相位的清晰运动图像,结合光流技术对MEM... 展开更多; 关键词 mems 动态分析仪 mems谐振器动态特性频闪成像光流; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS周期运动测试中频闪成像与运动激励的同步控制: 5; 作者胡晓东孙彬 +1 位作者刘一胡小唐《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1174-1177,共4页; 微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用。本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研制了一种基于FPGA的频闪成像和运动激励同步控制系统,用于MEM... 展开更多; 关键词 mems测试频闪成像运动激励同步控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现被引量：3: 1; 作者金翠云李一博靳世久王立坤; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期380-382,共3页; 基金 "8 63"高技术研究发展计划资助 ( 2 0 0 2 AA40 40 90 )项目; 文摘在 MEMS动态测试过程中 ,由于 MEMS器件的运动频率都比较高 ,如何获得高速运动的 MEMS器件的清晰图像 ,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的 MEMS动态测试系统 ,设计了一套频闪驱动电路 ,用于采集高速运动的 MEMS器件的清晰图像。从而为后续 MEMS器件动态特征的提取和分析做充分的准备。; 关键词 mems 动态测试频闪清晰图像; Keywords mems dynamic testing stroboscopic clear image; 分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于频闪法的MEMS动静态测试系统被引量：3: 2; 作者王青玲向东何开华吴娟万淼; 机构中国地质大学地球物理与空间信息学院中国地质大学数学与物理学院华中科技大学光电工程系; 出处《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期27-31,36,共6页; 基金总装备部预研项目; 文摘为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌图。使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对“冻结”不变的3D形貌。改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相位延时,可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数。本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件。该系统对于离面运动的测量精度可达1nm,最高测试频率可达500kHz。通过对可变形反射镜的测试验证了该系统的可靠性与通用性。; 关键词微机电系统特性测试频闪成像相对延时; Keywords mems Characteristic testing stroboscopic imaging Relative time delay; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术(英文) 被引量：3: 3; 作者金翠云栗大超靳世久冯亚林郝一龙; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京大学微电子学研究院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期771-774,796,共5页; 基金 "863"hightechniqueresearchdevelopmentplan(2002AA404090); 文摘随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要参数进行了测试,给出了测量结果,并对测试结果进行了分析和讨论。; 关键词 mems 动态测试机器微视觉模糊图像微谐振器谐振频率; Keywords mems dynamic testing Machine micro-vision Blur image Micro-resonators Resonant frequency; 分类号 TP75 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量被引量：2: 4; 作者金翠云靳世久王建林; 机构北京化工大学信息科学与技术学院天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《电子测量与仪器学报》 CSCD 2007年第1期90-95,共6页; 文摘为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析仪。其实现机理是基于频闪成像原理获得MEMS谐振器一个周期内所需相位的清晰运动图像,结合光流技术对MEMS谐振器的运动序列图像做二维运动估计,从而得到其动态特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。具有非接触性、测量精度高的特点。实验结果表明,该系统的测量重复性达7.1nm,能够很好地描述微谐振器的动态特性。; 关键词 mems 动态分析仪 mems谐振器动态特性频闪成像光流; Keywords mems motion analyzer （MMA）, mems resonator, dynamic characteristic, stroboscopic imaging, optical flow.; 分类号 TP752.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS周期运动测试中频闪成像与运动激励的同步控制: 5; 作者胡晓东孙彬刘一胡小唐; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1174-1177,共4页; 基金国家863计划资助项目(2006AA04Z327) 新世纪优秀人才支持计划资助; 文摘微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用。本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研制了一种基于FPGA的频闪成像和运动激励同步控制系统,用于MEMS器件的周期运动激励和微结构高速周期运动过程中清晰图像的获取。实验表明,频闪照明的最小脉冲宽度为10 ns,运动相位的调整间隔小于3.75°,能够满足周期运动频率为1 MHz微结构运动测试的要求。; 关键词 mems测试频闪成像运动激励同步控制; Keywords mems testing stroboscopic imaging motion excitation synchronous control; 分类号 TH133.21 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现	金翠云李一博靳世久王立坤	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于频闪法的MEMS动静态测试系统	王青玲向东何开华吴娟万淼	《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术(英文)	金翠云栗大超靳世久冯亚林郝一龙	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量	金翠云靳世久王建林	《电子测量与仪器学报》 CSCD	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	MEMS周期运动测试中频闪成像与运动激励的同步控制	胡晓东孙彬刘一胡小唐	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料