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沉积在液体基底表面Al薄膜中具有准周期特征的带状结构
被引量：
2
1
作者
张永炬
余森江
+3 位作者
蔡萍根
叶全林
金进生
叶高翔
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期324-328,共5页
研究了沉积在硅油表面Al薄膜的特征表面形貌 (一类具有准周期特征的带状结构 )及其形成过程。实验发现 :沉积结束后 ,随着Al薄膜样品在真空室中放置时间Δt的增加 ,Al薄膜中首先出现带状且不均匀的物质自发凝聚现象 ,随后逐渐演变成由...
研究了沉积在硅油表面Al薄膜的特征表面形貌 (一类具有准周期特征的带状结构 )及其形成过程。实验发现 :沉积结束后 ,随着Al薄膜样品在真空室中放置时间Δt的增加 ,Al薄膜中首先出现带状且不均匀的物质自发凝聚现象 ,随后逐渐演变成由一系列畴块有序排列而成的准周期带状结构。带状结构中畴块 (一般为长方形 )的大小不均 ,其宽度分布的最可几值约在 5 μm～ 2 0 μm之间 ;在一定区域内 ,同一条带状结构的畴块长度基本一致 ,且随时间Δt的增加而增加。分析表明 :由于液体基底与薄膜之间的特征相互作用 ,使薄膜中的原子及其团簇可以较自由地自发凝聚和重组 ,释放薄膜中的内应力 ,从而引起此类具有准周期特征带状结构的形成。
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关键词
薄膜
液体
原子
基底
团簇
表面
凝聚
有序排列
沉积
宽度
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职称材料
题名
沉积在液体基底表面Al薄膜中具有准周期特征的带状结构
被引量：
2
1
作者
张永炬
余森江
蔡萍根
叶全林
金进生
叶高翔
机构
台州学院物理系
浙江大学物理系杭州
浙江大学物理系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期324-328,共5页
基金
国家自然科学基金 (No .10 1740 63 )
浙江省青年人才基金(No.1997-RC960 3 )资助课题
文摘
研究了沉积在硅油表面Al薄膜的特征表面形貌 (一类具有准周期特征的带状结构 )及其形成过程。实验发现 :沉积结束后 ,随着Al薄膜样品在真空室中放置时间Δt的增加 ,Al薄膜中首先出现带状且不均匀的物质自发凝聚现象 ,随后逐渐演变成由一系列畴块有序排列而成的准周期带状结构。带状结构中畴块 (一般为长方形 )的大小不均 ,其宽度分布的最可几值约在 5 μm～ 2 0 μm之间 ;在一定区域内 ,同一条带状结构的畴块长度基本一致 ,且随时间Δt的增加而增加。分析表明 :由于液体基底与薄膜之间的特征相互作用 ,使薄膜中的原子及其团簇可以较自由地自发凝聚和重组 ,释放薄膜中的内应力 ,从而引起此类具有准周期特征带状结构的形成。
关键词
薄膜
液体
原子
基底
团簇
表面
凝聚
有序排列
沉积
宽度
Keywords
liquid substrate
,
al film
,
band-shaped pattern
,
internal stress
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
沉积在液体基底表面Al薄膜中具有准周期特征的带状结构
张永炬
余森江
蔡萍根
叶全林
金进生
叶高翔
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
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