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背景光对四象限探测器干扰的研究 被引量:23
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作者 匡萃方 冯其波 刘斌 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期493-495,共3页
给出了四象限探测器 (QD)光电探测原理 ,从理论上详细分析了背景光干扰下对位置探测精度的影响 ,得出位置误差与测量位置存在线性关系、与信噪比几乎存在反比关系 ,并用实验验证了分析结果。最后提出了减小背景光影响的几种措施。
关键词 四象限探测器 背景光 误差分析 位置测量 位置误差
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双刀口组合测量微光斑中心位置
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作者 周明宝 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期93-97,共5页
提出了一种测量光斑位置的新方法,介绍了按这种方法的原理设计的机电式四象限探测器。用这种探测器测量100μm光斑的位置,分辨率可达到0.1μm,测量精度达到±0.5μm。
关键词 光斑 象限探测器 位置测量 测量精度
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