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背景光对四象限探测器干扰的研究
被引量:
23
1
作者
匡萃方
冯其波
刘斌
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期493-495,共3页
给出了四象限探测器 (QD)光电探测原理 ,从理论上详细分析了背景光干扰下对位置探测精度的影响 ,得出位置误差与测量位置存在线性关系、与信噪比几乎存在反比关系 ,并用实验验证了分析结果。最后提出了减小背景光影响的几种措施。
关键词
四象限探测器
背景光
误差分析
位置测量
位置误差
在线阅读
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职称材料
双刀口组合测量微光斑中心位置
2
作者
周明宝
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期93-97,共5页
提出了一种测量光斑位置的新方法,介绍了按这种方法的原理设计的机电式四象限探测器。用这种探测器测量100μm光斑的位置,分辨率可达到0.1μm,测量精度达到±0.5μm。
关键词
光斑
象限探测器
位置测量
测量精度
在线阅读
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职称材料
题名
背景光对四象限探测器干扰的研究
被引量:
23
1
作者
匡萃方
冯其波
刘斌
机构
北京交通大学理学院
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期493-495,共3页
文摘
给出了四象限探测器 (QD)光电探测原理 ,从理论上详细分析了背景光干扰下对位置探测精度的影响 ,得出位置误差与测量位置存在线性关系、与信噪比几乎存在反比关系 ,并用实验验证了分析结果。最后提出了减小背景光影响的几种措施。
关键词
四象限探测器
背景光
误差分析
位置测量
位置误差
Keywords
Four-
quadrant
detector(QD)
background
light
error analysis
position measurement
position
error
分类号
TH765.2 [机械工程—精密仪器及机械]
TG502 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
双刀口组合测量微光斑中心位置
2
作者
周明宝
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期93-97,共5页
文摘
提出了一种测量光斑位置的新方法,介绍了按这种方法的原理设计的机电式四象限探测器。用这种探测器测量100μm光斑的位置,分辨率可达到0.1μm,测量精度达到±0.5μm。
关键词
光斑
象限探测器
位置测量
测量精度
Keywords
light spots
,
quadrant detectors
,
position measurement
,
measuring accuracy.
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
背景光对四象限探测器干扰的研究
匡萃方
冯其波
刘斌
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2004
23
在线阅读
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职称材料
2
双刀口组合测量微光斑中心位置
周明宝
《光电工程》
CAS
CSCD
1997
0
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职称材料
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