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自动聚焦在激光诱导击穿光谱检测中的应用
被引量：
1
1
作者
郑毅
周卫东
+3 位作者
李科学
钱惠国
李霞芬
秦雪飞
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期80-84,共5页
本文将自动聚焦方法应用于激光诱导击穿光谱(LIBS)检测技术中,利用自动聚焦方法控制激光在样品表面的聚焦位置和焦斑大小,以克服激光诱导击穿光谱系统检测样品时光谱强度的起伏变化较大的缺点,提高LIBS系统重复测量的精密度。并采用灰...
本文将自动聚焦方法应用于激光诱导击穿光谱(LIBS)检测技术中,利用自动聚焦方法控制激光在样品表面的聚焦位置和焦斑大小,以克服激光诱导击穿光谱系统检测样品时光谱强度的起伏变化较大的缺点,提高LIBS系统重复测量的精密度。并采用灰度差分法评价函数和改进后的爬山法成功实现了激光诱导击穿光谱技术检测中焦点位置的自动搜寻和调节,为LIBS检测仪开发了一套自动聚焦系统和相应的软硬件,较好地减小了LIBS光谱强度多次重复测量的相对标准偏差。
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关键词
libs检测技术
自动聚焦
信号稳定性
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职称材料
题名
自动聚焦在激光诱导击穿光谱检测中的应用
被引量：
1
1
作者
郑毅
周卫东
李科学
钱惠国
李霞芬
秦雪飞
机构
浙江师范大学信息光学研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期80-84,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61178034)
浙江省自然科学基金资助项目(Y1100268)
+1 种基金
浙江省高校重大科技攻关项目(ZD2009006)
浙江师范大学科技创新团队资助项目
文摘
本文将自动聚焦方法应用于激光诱导击穿光谱(LIBS)检测技术中,利用自动聚焦方法控制激光在样品表面的聚焦位置和焦斑大小,以克服激光诱导击穿光谱系统检测样品时光谱强度的起伏变化较大的缺点,提高LIBS系统重复测量的精密度。并采用灰度差分法评价函数和改进后的爬山法成功实现了激光诱导击穿光谱技术检测中焦点位置的自动搜寻和调节,为LIBS检测仪开发了一套自动聚焦系统和相应的软硬件,较好地减小了LIBS光谱强度多次重复测量的相对标准偏差。
关键词
libs检测技术
自动聚焦
信号稳定性
Keywords
libs
detection technique
auto-focusing
signal stability
分类号
O433.4 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自动聚焦在激光诱导击穿光谱检测中的应用
郑毅
周卫东
李科学
钱惠国
李霞芬
秦雪飞
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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