期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到97篇文章
< 1 2 … 5 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
AlN薄膜的KrF准分子脉冲激光沉积 被引量：1
1
作者 丁艳芳 门传玲 +2 位作者 陈韬 朱自强 林成鲁 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1831-1833,1836,共4页
研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗... 研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗糙度上升。AlN晶粒呈柱状生长机制。 展开更多
关键词 A1N薄膜 krf准分子脉冲激光沉积 微结构
在线阅读 下载PDF
脉冲准分子激光CuO－SnO_2薄膜沉积及其结构分析 被引量：7
2
作者 方国家 刘祖黎 +4 位作者 张增常 王豫 刘春 王昕玮 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期653-657,共5页
采用脉冲准分子激光沉积（ＰＬＤ）技术，分别在Ｓｉ（１１１）单晶及玻璃基片上外延沉积了具有高ａ轴（２００）取向的ＣｕＯ掺杂的ＳｎＯ２薄膜。Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）及透射电镜（ＴＥＭ扫描附件）分析表明：在Ｓｉ（１１１）片上沉... 采用脉冲准分子激光沉积（ＰＬＤ）技术，分别在Ｓｉ（１１１）单晶及玻璃基片上外延沉积了具有高ａ轴（２００）取向的ＣｕＯ掺杂的ＳｎＯ２薄膜。Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）及透射电镜（ＴＥＭ扫描附件）分析表明：在Ｓｉ（１１１）片上沉积，４００～５００℃退火温度处理的薄膜，只有（２００）峰存在；当退火温度升高到６００～７００℃时，ＳｎＯ２的其余诸峰相应出现，薄膜呈多晶态，取向度降低，晶粒尺寸变大，晶粒分界明显．在玻璃基片上沉积的薄膜，经４００℃低温处理后，（２００）取向度很小；随着退火温度的升高，达到５００℃时薄膜呈高ａ轴（２００）取向生长，结晶度较好，晶粒分布均匀． 展开更多
关键词 薄膜 氧化铜 结构分析 脉冲准分子激光 氧化锡
在线阅读 下载PDF
0.73J脉冲能量KrF准分子激光器的特性 被引量：7
3
作者 赵家敏 游利兵 +1 位作者 余吟山 方晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期3060-3064,共5页
研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40kV、脉冲上升时间约为100ns的高压快脉冲激... 研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40kV、脉冲上升时间约为100ns的高压快脉冲激励。研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30mm×14mm,在充电电压23kV时,全电效率最高,达到2.0%。 展开更多
关键词 准分子激光器 激光退火 大能量 磁脉冲压缩
在线阅读 下载PDF
脉冲准分子激光大面积扫描沉积V_2O_5光电薄膜及光谱分析 被引量：3
4
作者 方国家 刘祖黎 +2 位作者 王又青 夏清华 姚凯伦 《红外技术》 CSCD 北大核心 2000年第5期5-9,共5页
采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术 ,在透明导电玻璃 (ITO)及Si(1 1 1 )单晶基片上沉积了尺寸达 4× 4cm2 ,具有高c轴 (0 0 1 )取向生长的V2 O5薄膜。采用X射线衍射 (XRD)、拉曼光谱 (RS)、傅里叶红外光谱 (FT IR)对沉积及不同... 采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术 ,在透明导电玻璃 (ITO)及Si(1 1 1 )单晶基片上沉积了尺寸达 4× 4cm2 ,具有高c轴 (0 0 1 )取向生长的V2 O5薄膜。采用X射线衍射 (XRD)、拉曼光谱 (RS)、傅里叶红外光谱 (FT IR)对沉积及不同温度下退火处理的样品结构和光谱特性进行了研究。 展开更多
关键词 V2O5薄膜 脉冲准分子激光 大面积扫描沉积
在线阅读 下载PDF
WO_3/Si纳米晶薄膜的脉冲准分子激光沉积及结构分析 被引量：2
5
作者 方国家 刘祖黎 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期139-144,共6页
采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术，在Ｓｉ（１１１）单晶衬底上沉积了 ＷＯｘ薄膜．采用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、喇曼光谱（ＲＳ）、付里叶红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）及透射电镜扫描附件（ＳＴＥＭ）对不同条件下沉积的样品进行了结... 采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术，在Ｓｉ（１１１）单晶衬底上沉积了 ＷＯｘ薄膜．采用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、喇曼光谱（ＲＳ）、付里叶红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）及透射电镜扫描附件（ＳＴＥＭ）对不同条件下沉积的样品进行了结构分析．结果表明，氧分压和沉积温度是决定薄膜结构和成份的主要参数．在沉积温度３００℃以上及２０Ｐａ氧压下得到了三斜相纳米晶ＷＯ３薄膜． 展开更多
关键词 三氧化钨薄膜 纳米晶 脉冲准分子激光沉积 PLD 结构分析 SI(111)衬底 性能 WO3薄膜 电致变色材料
在线阅读 下载PDF
ArF准分子激光器脉冲参数高精度在线测量系统设计与实现
6
作者 赵万琦 江锐 +4 位作者 冯泽斌 许泽 郭宁 蒋衍 朱精果 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期71-80,共10页
保持激光光源输出能量稳定是光刻的关键环节,需要对深紫外准分子光源脉冲参数进行高精度在线测量。传统的准分子激光器能量测量装置多工作于低重复频率,针对高重频准分子激光器脉冲测量需求,设计了激光脉冲参数在线测量系统,使用峰值保... 保持激光光源输出能量稳定是光刻的关键环节,需要对深紫外准分子光源脉冲参数进行高精度在线测量。传统的准分子激光器能量测量装置多工作于低重复频率,针对高重频准分子激光器脉冲测量需求,设计了激光脉冲参数在线测量系统,使用峰值保持电路配合模数转换器实现脉冲能量采集,通过建立并仿真峰值保持电路寄生等效模型,优化了高重频准分子激光脉冲峰值保持电路设计方法。所设计的系统在193nm ArF准分子光源平台上测试,实现了准分子光源脉冲参数的在线提取和能量实时高精度测量。经测试,光源在6kHz频率时,系统能量测量值相对于标准能量计的平均相对误差为0.22%,最大相对误差为0.56%,线性度为99.83%,为光刻深紫外准分子光源脉冲参数在线高精度测量系统的实际应用做了有益探索。 展开更多
关键词 能量探测 在线测量 准分子激光 脉冲参数 线性度
在线阅读 下载PDF
合束方式提高准分子激光输出脉冲能量稳定性
7
作者 刘墨林 刘嘉仪 +3 位作者 王怡哲 喻学昊 方晓东 游利兵 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期127-135,共9页
为了获得稳定性更好、能量更大的准分子激光输出脉冲,对合束方式提高输出脉冲能量稳定性的可行性进行了理论推导、模拟实验以及合束实验研究。从理论推导得知,当激光输出脉冲能量符合正态分布时,多台激光器合束可以降低输出能量相对标... 为了获得稳定性更好、能量更大的准分子激光输出脉冲,对合束方式提高输出脉冲能量稳定性的可行性进行了理论推导、模拟实验以及合束实验研究。从理论推导得知,当激光输出脉冲能量符合正态分布时,多台激光器合束可以降低输出能量相对标准差。对三台输出脉冲能量分布特性符合正态分布的准分子激光器进行合束模拟实验研究,每台输出脉冲能量平均值约为153 mJ,脉冲能量相对标准差约为1%。两台准分子激光器合束时得到输出脉冲能量平均值为305 mJ、能量相对标准差为0.7%的准分子激光脉冲。三台准分子激光器合束时可以得到输出能量平均值为458 mJ、能量相对标准差为0.6%的准分子激光脉冲。使用两台准分子激光器进行三次实际合束实验,其中两台准分子激光器三次合束分别输出能量平均值约为355、350、330 mJ,相对标准差为1.3%、1.2%、1.4%的激光脉冲;三次合束后分别得到能量平均值为687、694、646 mJ,相对标准差为0.86%、0.79%、0.83%的激光脉冲。模拟实验以及合束实验都表明,合束后的能量相对标准差均小于单台能量相对标准差,即合束提高准分子输出脉冲的稳定性。因此,当单台准分子激光输出脉冲能量符合正态分布且平均能量相当时,多台合束可以有效提高激光输出脉冲的能量稳定性。 展开更多
关键词 准分子激光 脉冲能量 稳定性 相对标准差
在线阅读 下载PDF
用KrF准分子脉冲激光在低基板温度下制备AlN薄膜的研究 被引量：2
8
作者 赵强 范正修 +4 位作者 WANGMingli Kyung-KuYOON Jae-GuKIM Seong-KukLEE Kyung-HyunWHANG 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B05期101-102,共2页
用KrF准分子脉冲激光在 2 0 0℃的Si(111)基板上通过改变制备条件 ,采用沉积后直接保温处理的方式制备出了具有不同择优取向的AlN薄膜 ,并得出了较高的处理温度和过长的时间不利于AlN相的形成的结论。
关键词 准分子脉冲激光 激光沉积 ALN薄膜
全文增补中
准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究 被引量：14
9
作者 游利兵 梁勖 +3 位作者 余吟山 李会 王庆胜 王效顺 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1750-1754,共5页
针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光... 针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35％，分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。 展开更多
关键词 准分子激光 全固态脉冲电源 磁开关 可控硅 磁脉冲压缩
在线阅读 下载PDF
脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究 被引量：14
10
作者 刘晶儒 白婷 +5 位作者 姚东升 李铁军 王丽戈 袁孝 王晟 叶锡生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期646-650,共5页
利用两种脉宽 (30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究 ,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF DLC薄膜 ,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响。尝试了... 利用两种脉宽 (30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究 ,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF DLC薄膜 ,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响。尝试了利用准分子激光制备非晶硅薄膜 ,研究了实验参数对非晶硅薄膜制备的影响 。 展开更多
关键词 准分子激光 实验研究 脉冲激光淀积 类金刚石薄膜 非晶硅薄膜
在线阅读 下载PDF
高功率KrF准分子激光光束平滑技术实验研究 被引量：7
11
作者 向益淮 单玉生 +4 位作者 龚堃 汤秀章 高智星 戴辉 王乃彦 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2003年第2期101-105,共5页
均匀辐照是束靶相互作用实验的首要条件。采用无阶梯诱导空间非相干(EFISI)光束平滑技术对KrF准分子激光光束进行平滑实验研究,初步得到了带宽Δλ为4×10-10m、相干时间tc为0.5ps、不均匀性小于12%的光束空间分布。
关键词 krf准分子激光光束 平滑技术 实验研究 激光惯性约束聚变 无阶梯诱导空间非相干 均匀性 带宽 相干时间 平滑实验
在线阅读 下载PDF
kHz准分子激光器全固态脉冲激励源 被引量：6
12
作者 王庆胜 游利兵 +2 位作者 余吟山 赵家敏 方晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期885-889,共5页
由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁... 由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁脉冲压缩技术将上升时间为μs级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0.1μs级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电,获得激励脉冲的上升时间约为90ns,放电电压16.5kV,重复频率达到1kHz,两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59.1%。 展开更多
关键词 准分子激光器 全固态脉冲功率模块 磁开关 磁脉冲压缩
在线阅读 下载PDF
248nm KrF准分子激光精密加工Al_2O_3的实验研究 被引量：3
13
作者 江超 王又青 +1 位作者 胡少六 李波 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期59-61,共3页
本文采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,对Al2 O3 陶瓷片的精密加工进行了研究 ,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响 。
关键词 krf准分子激光器 精密加工 工艺研究 氧化铝陶瓷
在线阅读 下载PDF
准分子激光器脉冲磁压缩开关的设计分析 被引量：4
14
作者 王又青 郭振华 李再光 《激光技术》 EI CAS CSCD 1996年第1期9-13,共5页
本文从理论上详细分析了高功率准分子激光器中脉冲磁压缩开关的工作机理，并在此基础上归纳出脉冲磁压缩开关的设计原则，对实际应用有一定的参考价值。
关键词 脉冲磁压缩 磁开关 准分子激光器 设计
在线阅读 下载PDF
利用脉冲负反馈压缩准分子激光脉冲 被引量：1
15
作者 高智星 汤秀章 +1 位作者 张海峰 向益淮 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1276-1280,共5页
分析了准分子激光脉冲在放大过程中的展宽现象。将饱和开关技术应用于放电泵浦激光器放大腔的放大压缩,发展了脉冲负反馈饱和压缩技术。利用该技术在天光一号系统前端LPX-150激光器上成功获得能量100 mJ、脉宽10 ns的脉冲输出,其空间分... 分析了准分子激光脉冲在放大过程中的展宽现象。将饱和开关技术应用于放电泵浦激光器放大腔的放大压缩,发展了脉冲负反馈饱和压缩技术。利用该技术在天光一号系统前端LPX-150激光器上成功获得能量100 mJ、脉宽10 ns的脉冲输出,其空间分布均匀性保持在3%以内。这证明该技术可与无阶梯诱导非相干技术联合使用,在保证光束均匀性基础上进行脉冲压缩。 展开更多
关键词 准分子激光 脉冲压缩 负反馈 惯性约束聚变
在线阅读 下载PDF
倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用 被引量：2
16
作者 邓国庆 赵南京 +1 位作者 朱志强 张玉亮 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期18-20,共3页
本文提出了将磁脉冲压缩开关结合LC反转倍压电路应用于高重复率紧凑型准分子激光器的技术。对磁脉冲压缩开关应用的原理及结合LC倍压方法在准分子激光器高压快放电激励电路中的工作过程进行了分析 。
关键词 准分子激光器 脉冲压缩 放电电路 激励电路 开关 高重复率 电源 电激 紧凑型 反转
在线阅读 下载PDF
Al_2O_3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术 被引量：1
17
作者 武颖娜 梁勇 冯钟潮 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期43-44,共2页
本文研究了通过XeCl准分子激光照射Al2 O3陶瓷表面后 ,使其表面沉积金属Cu的技术。实验结果表明 ,Al2 O3试样浸入Cu2 SO4 溶液后 ,金属Cu膜只沉积于激光照射区。经准分子激光照射 ,Al2 O3 表面结构的变化和Al富集区的产生是金属Cu沉积... 本文研究了通过XeCl准分子激光照射Al2 O3陶瓷表面后 ,使其表面沉积金属Cu的技术。实验结果表明 ,Al2 O3试样浸入Cu2 SO4 溶液后 ,金属Cu膜只沉积于激光照射区。经准分子激光照射 ,Al2 O3 表面结构的变化和Al富集区的产生是金属Cu沉积的主要原因。 展开更多
关键词 准分子激光 铜膜 陶瓷 氧化铝 表面 活化沉积
在线阅读 下载PDF
准分子激光器中磁脉冲压缩技术的研究 被引量：2
18
作者 周卫东 余吟山 《量子电子学报》 CAS CSCD 1997年第2期157-161,共5页
本文从实用准分子激光放电要求出发，研究了适用于准分子激光器的磁脉冲压缩器，分析了其工作过程，并对其设计构思、设计参数进行了分析和计算。
关键词 磁脉冲压缩器 设计 准分子激光器
在线阅读 下载PDF
高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性 被引量：1
19
作者 金哲 李俊杰 +5 位作者 盖同祥 林景波 李哲奎 张寿 彭鸿雁 金曾孙 《吉林大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期497-500,共4页
在不同温度下 ( 2 0 0～ 80 0℃ )将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验 .利用 Raman和 XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化 .结果表明 ,类金刚石膜是由少量的 sp2 C键和大量的 sp3C键组成的非晶... 在不同温度下 ( 2 0 0～ 80 0℃ )将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验 .利用 Raman和 XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化 .结果表明 ,类金刚石膜是由少量的 sp2 C键和大量的 sp3C键组成的非晶态碳膜 .在退火温度小于60 0℃范围内 ,类金刚石膜的热稳定性较好 ;退火温度高于 60 0℃时 ,类金刚石膜中的 sp3C键逐渐向 sp2 C键转变 ,当退火温度升到 80 0℃时 ,类金刚石膜中 sp3C键含量由退火前的大约 70 %下降到 40 % .可见 ,高温退火能导致类金刚石膜的石墨化趋势 . 展开更多
关键词 类金刚石膜 热稳定性 高功率准分子激光沉积法 退火温度 sp^2C键 sp^3C键 石墨化
在线阅读 下载PDF
ROGOWSKI线圈在磁脉冲压缩准分子激光器中的应用 被引量：1
20
作者 张玉亮 耿辉 方晓东 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期16-17,共2页
介绍了磁脉冲压缩器在准分子激光器中的基本工作原理、磁性材料的计算公式和磁脉冲压缩器的参数结构设计,给出了使用了磁脉冲压缩器的准分子激光器的放电过程,并且使用自制的ROGOWSKI线圈测量了不同放电电压时的实际放电过程中的闸流管... 介绍了磁脉冲压缩器在准分子激光器中的基本工作原理、磁性材料的计算公式和磁脉冲压缩器的参数结构设计,给出了使用了磁脉冲压缩器的准分子激光器的放电过程,并且使用自制的ROGOWSKI线圈测量了不同放电电压时的实际放电过程中的闸流管的脉冲电流波形,还测量了不同放电回路电感Lo时的通过闸流管的脉冲电流波形和激光输出能量。在此次实验中,通过分析所得到的放电波形,磁脉冲压缩器的作用得到了证实,测量结果与原理有着很好的一致性。本实验为放电回路的优化设计提供了有效的依据。 展开更多
关键词 ROGOWSKI线圈 磁脉冲压缩 准分子激光器
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 5 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部