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KBA-X射线显微镜空间分辨力模拟和Au网格实验测量 被引量:1
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作者 董建军 杨正华 +4 位作者 曹柱荣 韦敏习 詹夏宇 刘慎业 丁永坤 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期2415-2418,共4页
通过光线追踪模拟在SGⅡ激光装置上利用第9路激光入射到Cu背光靶面产生X射线,通过Au网格背光照相,利用KBA显微镜对此网格成像,获得了清晰的网格图像。通过对实验网格数据的分析发现:在掠射角减小的方向,空间分辨力随视场的变化比掠射角... 通过光线追踪模拟在SGⅡ激光装置上利用第9路激光入射到Cu背光靶面产生X射线,通过Au网格背光照相,利用KBA显微镜对此网格成像,获得了清晰的网格图像。通过对实验网格数据的分析发现:在掠射角减小的方向,空间分辨力随视场的变化比掠射角增大的方向变化小,与光线追踪模拟比较,二者均表明KBA的视场是非对称的,从实验图像数据得出,视场的不对称相对于中心位置约为30%。 展开更多
关键词 kba-x射线显微镜 视场 掠入射角 光线追踪模拟 空间分辨力
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基于光谱共焦探针的Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴高精度检测
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作者 薛春安 余俊 +3 位作者 盛鹏峰 王豪杰 王占山 王东方 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期2004-2016,共13页
Wolter型X射线显微镜具有高分辨率和集光区域,在先进光源和高能激光器中有重要的应用价值。基于镍电镀成形的复制法是制备Wolter型X射线显微镜的有效方法之一,其中,芯轴的表面精度和质量会直接影响X射线成像的性能。高精度检测技术是芯... Wolter型X射线显微镜具有高分辨率和集光区域,在先进光源和高能激光器中有重要的应用价值。基于镍电镀成形的复制法是制备Wolter型X射线显微镜的有效方法之一,其中,芯轴的表面精度和质量会直接影响X射线成像的性能。高精度检测技术是芯轴制备的基础,而传统检测装置难以测量具有圆周回旋对称特征的Wolter型表面轮廓。为了解决Wolter型芯轴检测难和测量精度低的问题,搭建了基于光谱共焦探针的离线检测装置实现芯轴表面中低频轮廓的高精度测量,分析了该装置的各类系统误差和随机误差,并采用双探针与标准镜来校准测试过程,将测试中的温湿度漂移和随机误差的PV值降低至23 nm。最后,开展了该检测装置和CGH干涉检测法的检测对比实验。通过Wolter芯轴表面测试结果比较,两种测试方法的偏差PV值约为60 nm,证明了该检测装置的合理性和检测方法的准确性。 展开更多
关键词 光学测量 Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴 离线检测方法 光谱共焦探针 误差分析
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激光原型装置KBAX射线显微镜网格测试 被引量:6
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作者 董建军 曹柱荣 +3 位作者 袁永腾 詹夏宇 刘慎业 丁永坤 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期75-78,共4页
利用光线追迹的方法模拟了KBA显微镜成像,确定了光轴的方向并计算了KBA显微镜的几何调制传递函数。根据KBA模拟光路,提出了利用可见光作为模拟KBAX射线显微镜的光轴在激光原型装置上的瞄准和安装的方法,该方法掠入射角的调节精度为0.25&... 利用光线追迹的方法模拟了KBA显微镜成像,确定了光轴的方向并计算了KBA显微镜的几何调制传递函数。根据KBA模拟光路,提出了利用可见光作为模拟KBAX射线显微镜的光轴在激光原型装置上的瞄准和安装的方法,该方法掠入射角的调节精度为0.25°。利用周期为20μm的Ni网格在激光原型装置上对KBA显微镜进行了X射线成像实验,用X射线CCD记录图像,获得了较清晰的网格图像。 展开更多
关键词 kba-x射线显微镜 光线追迹 激光原型装置 掠入射
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非共轴掠入射X射线显微镜参数的误差分析 被引量:9
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作者 赵玲玲 胡家升 李祥 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期34-42,共9页
设计了一套由4个反射镜组成的非共轴掠入射X射线显微镜,分析了该系统的像差和成像质量。为了研制出高质量的设备,需要制定合理的加工和装配公差。研究了由于元件和结构参数(反射镜的半径,物距,掠入射角等)的误差而引起的高斯参数和像差... 设计了一套由4个反射镜组成的非共轴掠入射X射线显微镜,分析了该系统的像差和成像质量。为了研制出高质量的设备,需要制定合理的加工和装配公差。研究了由于元件和结构参数(反射镜的半径,物距,掠入射角等)的误差而引起的高斯参数和像差的变化。首次用点列图和调制传递函数来定量评价图像质量降低的程度,并在此基础上制定了合理的加工和装配公差。在这些公差的约束下,研制成一套非共轴掠入射X射线显微镜,在激光引爆的惯性约束聚变的诊断实验中,用该系统获得了高质量的图像。 展开更多
关键词 X射线成像 X射线显微镜 公差制定 误差分析
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用于平面靶X射线诊断的1维KBA显微镜 被引量:6
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作者 伊圣振 穆宝忠 +6 位作者 王新 蒋励 朱京涛 王占山 方智恒 王伟 傅思祖 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1076-1080,共5页
对用于神光Ⅱ装置4.75keV能点平面靶成像诊断的1维KBA显微镜进行了实验研究。基于空间分辨力和工作环境要求,设计了1维KBA显微镜的光学结构,并与传统KB显微镜的成像性能进行了对比分析。设计和制备了可同时工作于8keV和4.75keV能点的双... 对用于神光Ⅱ装置4.75keV能点平面靶成像诊断的1维KBA显微镜进行了实验研究。基于空间分辨力和工作环境要求,设计了1维KBA显微镜的光学结构,并与传统KB显微镜的成像性能进行了对比分析。设计和制备了可同时工作于8keV和4.75keV能点的双能点多层膜KBA物镜,解决了系统装调问题。利用神光Ⅱ装置第九路激光打击Ti靶产生的X射线作为背光源照射1 500目金网,进行了4.75keV网格成像实验,结果表明:在整个背光源照明区域内,系统的实际分辨力约为4μm,系统的有效视场受背光源大小的限制。 展开更多
关键词 瑞利-泰勒不稳定性 X射线诊断 KBA显微镜 KB显微镜 平面靶
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X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制 被引量:5
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作者 顾春时 王占山 +4 位作者 王风丽 张众 穆宝忠 秦树基 陈玲燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1095-1098,共4页
介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备。采... 介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备。采用高分辨率X射线衍射仪(8 keV)测量了X射线超反射镜的反射特性。制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处,反射角度带宽为0.3°,反射率达到20%,可满足KB型显微镜的要求。 展开更多
关键词 多层膜 X射线超反射镜 KB型显微镜 磁控溅射 反射
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应用X射线衍射-扫描电镜-光学显微镜鉴定黑龙江石墨尾矿中的绢云母 被引量:5
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作者 聂轶苗 牛福生 +1 位作者 刘淑贤 魏少波 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期194-200,共7页
石墨尾矿作为一类二次资源,当云母类矿物的含量在10%以上时,具有回收利用价值。黑龙江某地石墨尾矿中含有10%以上的云母类矿物,但其细度(500~800目)低于常规的云母矿,本文采用X射线衍射(XRD)分析矿物组成,再结合化学分析、扫描电镜... 石墨尾矿作为一类二次资源,当云母类矿物的含量在10%以上时,具有回收利用价值。黑龙江某地石墨尾矿中含有10%以上的云母类矿物,但其细度(500~800目)低于常规的云母矿,本文采用X射线衍射(XRD)分析矿物组成,再结合化学分析、扫描电镜-能谱、光学显微镜与纯矿物进行对比,由此鉴定云母类矿物种属。XRD研究初步表明石墨尾矿含有的云母族矿物属于白云母亚类或黑云母亚类。扫描电镜分析表明尾矿中的云母矿物与纯绢云母矿物均以片状和鳞片状为主要存在形态,而纯黑云母主要以片状形式存在。尾矿的Si O2含量为5%~13%,Al2O3含量为4%~8%,与纯绢云母接近。光学显微镜鉴定显示在正交偏光下石墨尾矿中的云母颜色和纯绢云母类似,而与纯黑云母截然不同。综合以上结果最终可确定该地石墨尾矿中的云母族矿物为白云母亚类中的绢云母。本研究为后续石墨尾矿的选矿工艺奠定了基础,也可应用于类似细度绢云母的鉴定。 展开更多
关键词 石墨尾矿 绢云母 X射线衍射法 扫描电镜-能谱 光学显微镜
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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 被引量:2
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作者 陈家华 龚学鹏 +4 位作者 薛松 卢启鹏 彭忠琦 宋源 王依 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2810-2816,共7页
研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍... 研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案,即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节,分析了姿态调节机构的原理与工作过程,给出了微聚焦系统的整体设计方案。测试了KB镜系统的机械性能,给出水平调节机构以及第一面镜子Pitch运动的测试结果,结果显示:水平调节机构分辨率为0.6μm,重复精度为0.85μm,Pitch角度分辨率为0.4″,重复精度为0.5″,优于指标要求。其它参数的测试结果亦均优于指标要求。实验表明,微聚焦系统机械指标的实现保证了PEEM线光斑的高质量聚焦。 展开更多
关键词 同步辐射 光发射电子显微镜(PEEM) X射线显微镜 KB镜 结构设计
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KBAX射线显微镜分辨力模型 被引量:2
9
作者 赵玲玲 胡家升 +1 位作者 孙德林 王刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期2668-2672,共5页
综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBA X射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%~80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分... 综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBA X射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%~80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力。KBA X射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致。用单层膜KBA显微镜获得的X射线成像结果,得出中心视场的分辨力约为4μm,±100μm视场的分辨力优于5μm。实验结果表明,几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小。 展开更多
关键词 X射线成像 KBA显微镜 掠入射反射成像系统 消像散系统
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利用微米X射线显微镜研究陆相延长组页岩孔隙结构特征 被引量:6
10
作者 王羽 汪丽华 +1 位作者 王建强 王彦飞 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期566-577,共12页
页岩孔隙结构是决定储层储集与运移能力的关键,对完善我国陆相页岩气产能评估方法和压裂技术具有重要意义。本文选取鄂尔多斯盆地陆相延长组7段页岩,利用氩离子抛光-扫描电镜和微米X射线显微镜方法研究其孔隙结构特征与三维空间分布特... 页岩孔隙结构是决定储层储集与运移能力的关键,对完善我国陆相页岩气产能评估方法和压裂技术具有重要意义。本文选取鄂尔多斯盆地陆相延长组7段页岩,利用氩离子抛光-扫描电镜和微米X射线显微镜方法研究其孔隙结构特征与三维空间分布特征。扫描电镜结果表明,延长7段页岩中主要发育粒间孔(300~600nm)和微裂缝,是页岩气的主要储集空间。微裂缝多由黏土矿物沉淀形成,以平直状为主,易引发井壁坍塌等严重问题。有机孔发育较少,一般与有机黏土矿物共存,绝大部分有机质呈致密状。微米X射线显微镜测试进一步表明,长7段页岩在三维空间具有微米级纹层结构,其中有机质纹层厚10~20μm,揭示了延长组7段页岩层具有较强塑性,不利于水平压裂。该研究成果将为构建延长7段页岩气渗流模型、改进压裂技术提供重要数据支持。 展开更多
关键词 微米X射线显微镜 氩离子抛光 微纳孔隙 三维结构 纹层结构 陆相延长组页岩
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纳滤膜的场发射扫描电镜、能量色散X射线、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱分析 被引量:7
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作者 罗敏 王浪 王占生 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期20-24,共5页
利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ... 利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ,平均表面粗糙度为 9 4nm ,波峰高度是纳米级 ;而污染膜面基本表现为无数小葡萄球状的低聚糖类物质组成的块状 ,且污染物层分布很不均匀 ,波动很大 ,平均表面粗糙度为 4 39 7nm ,波峰高度是微米级的 . 展开更多
关键词 纳滤 场发射扫描电镜 能量色散X射线分析 原子力显微镜 傅里叶转换红外光谱 膜分离 膜材料
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X射线衍射与偏光显微镜技术在司法鉴定中的应用 被引量:1
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作者 王文正 范德江 徐卫 《实验技术与管理》 CAS 2000年第6期54-56,共3页
本文介绍了利用X射线衍射与偏光显微镜技术结合常规检测方法。对采自同一花岗岩体不同部位的岩石样本进行司法鉴定,从岩石样本的外部特征,内部特征及矿物组成等方面获得科学可靠的数据。为案件的审理提供有效的证据。
关键词 X射线衍射 偏光显微镜 司法鉴定 花岗岩
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KBA X射线显微镜装调方法研究 被引量:1
13
作者 赵玲玲 孙德林 胡家升 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期369-372,共4页
KBAX射线显微镜为非共轴、掠入射软X射线成像系统,集光立体角很小,像质又要求非常高,这使得四个反射镜的安装位置要求相当严格。通常的位置或角度计量工具,在激光聚变靶室内空间受限的条件下,很难达到这么高的精度。因此为了保证KBA的... KBAX射线显微镜为非共轴、掠入射软X射线成像系统,集光立体角很小,像质又要求非常高,这使得四个反射镜的安装位置要求相当严格。通常的位置或角度计量工具,在激光聚变靶室内空间受限的条件下,很难达到这么高的精度。因此为了保证KBA的成像质量,采用精度4″的测角仪使双反射镜的夹角误差小于20″。掠入射角对成像质量影响很大,为了使掠入射角小于10″,用自己设计的光路系统保证了掠入射角的精度要求。KBAX射线显微镜系统的主镜的孔径角4×10-6sr,无法实现锐聚焦。因此设计了一个辅助物镜代替它的主镜以实现锐聚焦。在某大型激光装置上进行的惯性约束聚变诊断实验中,运用这些方法所装调的KBAX射线显微镜获得了靶标(周期20μm,线宽6μm的无金膜镍网格)的清晰图像。 展开更多
关键词 X射线成像 KBA显微镜 掠入射反射成像 消像散系统
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基于亚像素扫描的超分辨技术在高分辨X射线显微镜中的应用 被引量:2
14
作者 邹晶 耿星杰 +2 位作者 廖可梁 徐临燕 胡晓东 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期53-60,共8页
在不改变现有硬件条件的情况下,开展超分辨扫描重建方法,可以在不增加系统成本的基础上提高高分辨X射线显微镜的成像性能.设计了基于亚像素扫描的超分辨扫描模式,按照设计的调制方式进行亚像素位移的移动,采集多幅具有互补信息的低分辨... 在不改变现有硬件条件的情况下,开展超分辨扫描重建方法,可以在不增加系统成本的基础上提高高分辨X射线显微镜的成像性能.设计了基于亚像素扫描的超分辨扫描模式,按照设计的调制方式进行亚像素位移的移动,采集多幅具有互补信息的低分辨率图像;然后基于系统的点扩散函数,对高分辨率图像进行复原;最后结合POCS超分辨重建算法重建出高分辨图像.实验结果表明,10倍光耦探测器下的衬度噪声比提高了20%左右,空间分辨力提高了0.2μm(约15%),细节分辨能力超过探测器像素尺寸1.35μm的限制,可以看到在低分辨率图像中看不到的细节.实验说明用超分辨技术提高高分辨X射线显微镜的分辨率是有意义的. 展开更多
关键词 X射线显微镜 超分辨重建 空间分辨率 亚像素移动 POCS算法
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使用扫描电子显微镜和X射线能谱仪测量镀金层厚度的方法研究 被引量:1
15
作者 贺占平 周怡琳 章继高 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期537-538,共2页
关键词 扫描电子显微镜 X射线能谱仪 电子连接器 镀金层 厚度
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X 射线正入射显微镜及其在 ICF 中的应用 被引量:1
16
作者 王占山 陈星旦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第1期1-9,共9页
全面叙述了X射线正入射显微镜的发展,探讨了影响正入射显微镜性能的关键技术问题,指出了其在等离子体诊断中的应用。
关键词 X射线正入射 显微镜 惯性约束核聚变
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双道X射线分光光谱仪及其与扫描电子显微镜的匹配 被引量:1
17
作者 姚骏恩 余建业 +5 位作者 黄同节 张肇华 姚文浩 李文恩 韩大年 谢信能 《仪器仪表学报》 EI CAS 1981年第2期18-24,共7页
本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学... 本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学显微镜的匹配等问题。X光谱仪的总几何精度应为±1′,重复精度为6″。实际结果表明,元素分析范围为B^5(Be^4)~U^(92);波长分辨率△λ/λ为1~5×10^(-3)(Na^(11)~U^(92))及1~5×10^(-2)(B^5~F^9),可分开Cu,Fe,Ti等元素的K_(α1,α2)谱线,Ti-6A1-4V合金中VK_(α1),VK_(α2)及TiK_β谱线;波长重复性为0.00014A;探测限对Na^(11)~U^(92)为10^(-3)%量级,B^5~F^9为10^(-2)%量级。 展开更多
关键词 分光光谱仪 X射线 扫描电子显微镜 波长分辨 波长重复性 光学显微镜 重复精度 罗兰圆 微区分析 电子探针
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原子力显微镜与X射线光电子能谱对ITO表面改性的研究 被引量:3
18
作者 钟志有 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1247-1250,共4页
采用氧气等离子体(OP)处理对氧化铟锡(ITO)薄膜进行表面改性,通过原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和四探针等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了OP处理对ITO表面性质的影响。实验结果表明OP处理有效去除了ITO表面的污染物,优化... 采用氧气等离子体(OP)处理对氧化铟锡(ITO)薄膜进行表面改性,通过原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和四探针等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了OP处理对ITO表面性质的影响。实验结果表明OP处理有效去除了ITO表面的污染物,优化了ITO表面的化学组分,降低了ITO表面的粗糙度和方块电阻,改善了ITO的表面形态。与此同时,通过XPS监测研究了OP处理后ITO表面化学组分随老化时间的变化,结果显示经过优化的化学组分随老化时间增加而逐渐退化。另外,以OP处理后经过不同老化时间的ITO样品作为空穴注入电极,制备了有机电致发光器件(OELD),通过测试器件的电压-电流-亮度特性,进一步研究了ITO表面性质对于OELD光电性能的影响。 展开更多
关键词 氧化铟锡薄膜 表面改性 原子力显微镜 X射线光电子能谱
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正比计数管用于同步辐射扫描软X射线显微镜
19
作者 赵永飞 谢行恕 +1 位作者 贾成芝 雷新亚 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第6期371-374,共4页
正比计数管在软x射线测量中有着广泛的应用,而软X射线显微术是研究自然状态下的生物样品高分辨率成像的最好方法,也是同步辐射光源最重要的应用之一。本文介绍了应用于软X射线测量的流气式正比计数管的结构、特性及其应用于合肥同... 正比计数管在软x射线测量中有着广泛的应用,而软X射线显微术是研究自然状态下的生物样品高分辨率成像的最好方法,也是同步辐射光源最重要的应用之一。本文介绍了应用于软X射线测量的流气式正比计数管的结构、特性及其应用于合肥同步辐射扫描软x时线显微镜的初步结果。 展开更多
关键词 正比计数管 同步辐射 显微镜 软X射线显微镜
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非共轴掠入射KB与KBA X射线显微镜的成像特性分析
20
作者 赵玲玲 孙德林 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第6期884-888,共5页
由于X射线在介质中被强烈地吸收,加之介质的折射率在X射线波段略小于1,这些因素给X射线成像增加了很多难度,常规的成像方法难以适应X射线波段,目前多采用掠入射反射成像和编码孔径成像方法。详细分析掠入射情况下单镜及双反射镜的成像特... 由于X射线在介质中被强烈地吸收,加之介质的折射率在X射线波段略小于1,这些因素给X射线成像增加了很多难度,常规的成像方法难以适应X射线波段,目前多采用掠入射反射成像和编码孔径成像方法。详细分析掠入射情况下单镜及双反射镜的成像特性,对组成KBA显微镜的反射镜在掠入射条件下的焦距、视场倾斜、光阑位置等进行研究。研究结果表明:对于双反射镜结构,掠入射角为双反射镜夹角1/2时视场倾斜最少,光阑放在第2个镜子上成像质量优于放在第1个镜子上。最后分析KBA显微镜结构安排的合理性,从而为KBA显微镜设计和加工提供理论依据。 展开更多
关键词 X射线成像 KBA显微镜 掠入射光学系统 消像散系统
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