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基于局部保持嵌入-K近邻比率密度的半导体蚀刻过程故障诊断策略
被引量：
2
1
作者
张成
郑百顺
+2 位作者
郭青秀
冯立伟
李元
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1342-1348,共7页
针对多模态间歇过程存在数据维度高且方差差异较大的特征,提出一种基于局部保持嵌入–K近邻比率密度(NPE–KRD)规则的故障检测方法.首先,利用局部保持嵌入(NPE)方法将原始的高维数据投影到低维空间;其次,在低维空间通过计算样本的密度...
针对多模态间歇过程存在数据维度高且方差差异较大的特征,提出一种基于局部保持嵌入–K近邻比率密度(NPE–KRD)规则的故障检测方法.首先,利用局部保持嵌入(NPE)方法将原始的高维数据投影到低维空间;其次,在低维空间通过计算样本的密度及其前K近邻密度的均值来建立K近邻比率密度(KRD);最后,根据核密度估计法确定统计量控制限并进行故障诊断.NPE方法既能够在低维空间保持数据局部近邻结构,又能够降低故障检测过程的计算复杂度.通过引入比率密度,NPE–KRD可以降低多模态方差结构差异对故障检测的影响,提高过程故障检测率.通过数值例子和半导体工业过程的仿真实验,并与主元分析、K近邻、局部保持嵌入等方法进行比较,验证了本文方法的有效性.
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关键词
局部保持嵌入
k近邻比率密度
半导体蚀刻过程
故障诊断
多工况
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职称材料
题名
基于局部保持嵌入-K近邻比率密度的半导体蚀刻过程故障诊断策略
被引量：
2
1
作者
张成
郑百顺
郭青秀
冯立伟
李元
机构
沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心
出处
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1342-1348,共7页
基金
国家自然科学基金项目(61490701,61673279)
辽宁省自然科学基金项目(2019-MS-262)
辽宁省教育厅基金项目(LJ2019013)资助.
文摘
针对多模态间歇过程存在数据维度高且方差差异较大的特征,提出一种基于局部保持嵌入–K近邻比率密度(NPE–KRD)规则的故障检测方法.首先,利用局部保持嵌入(NPE)方法将原始的高维数据投影到低维空间;其次,在低维空间通过计算样本的密度及其前K近邻密度的均值来建立K近邻比率密度(KRD);最后,根据核密度估计法确定统计量控制限并进行故障诊断.NPE方法既能够在低维空间保持数据局部近邻结构,又能够降低故障检测过程的计算复杂度.通过引入比率密度,NPE–KRD可以降低多模态方差结构差异对故障检测的影响,提高过程故障检测率.通过数值例子和半导体工业过程的仿真实验,并与主元分析、K近邻、局部保持嵌入等方法进行比较,验证了本文方法的有效性.
关键词
局部保持嵌入
k近邻比率密度
半导体蚀刻过程
故障诊断
多工况
Keywords
neighborhood preserving embedding
k
nearest neighbor ratio density
semiconductor etching processes
fault diagnosis
multimode
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TP277 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于局部保持嵌入-K近邻比率密度的半导体蚀刻过程故障诊断策略
张成
郑百顺
郭青秀
冯立伟
李元
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
2
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