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离子镀膜技术在制造业中的应用 被引量:6
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作者 吴玉广 任德亮 徐前 《航空制造技术》 北大核心 2003年第9期64-66,共3页
简要叙述了现行表面处理工艺存在的问题和离子镀先进技术的优点 ,介绍了离子镀黑色膜层的工艺特点及其性能 ,重点论述了离子镀在刀具、车辆零件。
关键词 离子镀 黑色膜 制造业 表面处理工艺 刀具 耐磨膜
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柱弧离子镀制备Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC黑色硬质膜 被引量:5
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作者 马胜歌 姜翠宁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期290-294,共5页
利用自制的柱弧离子镀膜机,在不同硬度基体上制备了Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC多层复合膜。膜呈深黑色,反射率小于14%,亮度值L*小于43,沉积速率约为0.78μm/h,表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影响较大,基体越硬、... 利用自制的柱弧离子镀膜机,在不同硬度基体上制备了Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC多层复合膜。膜呈深黑色,反射率小于14%,亮度值L*小于43,沉积速率约为0.78μm/h,表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影响较大,基体越硬、膜层越厚,膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0.82μm的黑色硬质膜显微硬度Hv(25g)=3229,结合力为26.70 N。该设备和工艺已成功应用于工业生产。 展开更多
关键词 黑色硬质膜 柱弧离子镀 TIC 多层膜
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