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白光干涉零光程差位置四步测量法及其精度分析
被引量：
5
1
作者
孙杰
刘铁根
+1 位作者
张以谟
江俊峰
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期363-367,共5页
为研究现代干涉技术的应用,提出一种测量绝对长度和位移大小的白光干涉中零光程差位置测量方法.在测量中以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔,以四步测量法作为数据处理方法确定干涉条纹的局部调制度.采用重心法确定干涉条纹...
为研究现代干涉技术的应用,提出一种测量绝对长度和位移大小的白光干涉中零光程差位置测量方法.在测量中以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔,以四步测量法作为数据处理方法确定干涉条纹的局部调制度.采用重心法确定干涉条纹调制度的最大值位置,并以此作为零光程差位置.对光电测量系统中的机械精度与光电测量精度对测量结果的影响进行了定量计算.使用本方法,在1%的光强测量精度下可达到10nm的位置定位精度.
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关键词
干涉
精度分析
白光
零光程差
四步测量法
重心法
光电检测技术
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职称材料
采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究
被引量：
1
2
作者
孙杰
刘铁根
+1 位作者
张以谟
江俊峰
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期8-12,共5页
提出了一种可以快速实现采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量的方法。在测量中 ,以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔 ,以相邻的四个采样值为一组进行相应的干涉条纹调制度计算 ,以干涉条纹调制度的最大值位置作为零...
提出了一种可以快速实现采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量的方法。在测量中 ,以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔 ,以相邻的四个采样值为一组进行相应的干涉条纹调制度计算 ,以干涉条纹调制度的最大值位置作为零光程差位置。还对光电测量系统中的机械与光电转换精度、采样点位置、采样点密度、双光束光强比、光源相干长度等多方面对测量精度的影响进行了定量分析。
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关键词
双光束干涉
光程差
干涉条纹
条纹间距
相干长度
最大值
光强
宽带光源
光电测量系统
调制度
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职称材料
题名
白光干涉零光程差位置四步测量法及其精度分析
被引量：
5
1
作者
孙杰
刘铁根
张以谟
江俊峰
机构
天津大学现代光学仪器研究所光电子信息技术科学教育部重点实验室
出处
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期363-367,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60072023).
文摘
为研究现代干涉技术的应用,提出一种测量绝对长度和位移大小的白光干涉中零光程差位置测量方法.在测量中以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔,以四步测量法作为数据处理方法确定干涉条纹的局部调制度.采用重心法确定干涉条纹调制度的最大值位置,并以此作为零光程差位置.对光电测量系统中的机械精度与光电测量精度对测量结果的影响进行了定量计算.使用本方法,在1%的光强测量精度下可达到10nm的位置定位精度.
关键词
干涉
精度分析
白光
零光程差
四步测量法
重心法
光电检测技术
Keywords
interference
light
path
difference
precision
analysis
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TN29 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究
被引量：
1
2
作者
孙杰
刘铁根
张以谟
江俊峰
机构
天津大学现代光学仪器研究所 光电子信息技术科学教育部重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期8-12,共5页
基金
国家自然科学基金项目 (60 0 72 0 2 3 )资助
文摘
提出了一种可以快速实现采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量的方法。在测量中 ,以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔 ,以相邻的四个采样值为一组进行相应的干涉条纹调制度计算 ,以干涉条纹调制度的最大值位置作为零光程差位置。还对光电测量系统中的机械与光电转换精度、采样点位置、采样点密度、双光束光强比、光源相干长度等多方面对测量精度的影响进行了定量分析。
关键词
双光束干涉
光程差
干涉条纹
条纹间距
相干长度
最大值
光强
宽带光源
光电测量系统
调制度
Keywords
interference modulation light path difference precision analysis
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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白光干涉零光程差位置四步测量法及其精度分析
孙杰
刘铁根
张以谟
江俊峰
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
5
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职称材料
2
采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究
孙杰
刘铁根
张以谟
江俊峰
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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