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InSb阳极氧化膜组分和形貌分析
被引量：
1
1
作者
宁玮
罗宏
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期234-237,共4页
利用X射线光电子能谱(XPS)分析了不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的组成成分以及各种组分纵向分布;用观察在扫描电子显微镜(SEM)不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的微观形貌。研究了InSb阳极氧化膜的化学和结构特性及其对自身电学性能的影响...
利用X射线光电子能谱(XPS)分析了不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的组成成分以及各种组分纵向分布;用观察在扫描电子显微镜(SEM)不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的微观形貌。研究了InSb阳极氧化膜的化学和结构特性及其对自身电学性能的影响。为提高InSb阳极氧化膜制备工艺水平提供了有效参考。
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关键词
阳极氧化
insb衬底
电流密度
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职称材料
题名
InSb阳极氧化膜组分和形貌分析
被引量：
1
1
作者
宁玮
罗宏
机构
华北光电技术研究所
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期234-237,共4页
文摘
利用X射线光电子能谱(XPS)分析了不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的组成成分以及各种组分纵向分布;用观察在扫描电子显微镜(SEM)不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的微观形貌。研究了InSb阳极氧化膜的化学和结构特性及其对自身电学性能的影响。为提高InSb阳极氧化膜制备工艺水平提供了有效参考。
关键词
阳极氧化
insb衬底
电流密度
Keywords
anodic oxide
insb
substrate
current density
分类号
TN305.5 [电子电信—物理电子学]
TN362 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
InSb阳极氧化膜组分和形貌分析
宁玮
罗宏
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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