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自对准AlGaAs/GaAs微波异质结双极晶体管(HBT)
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作者 吴英 陈效建 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1991年第3期225-229,共5页
本文提出了一种制作HBT采用的垂直台面结构自对准工艺.利用该工艺及对A1GaAs/GaAs具有高选择比的化学湿法腐蚀剂,已研制成微波HBT.发射区台面与基极电极间隙为0.1μm,最大直流电流增益为40,截止频率f_T为10GHz.
关键词 双极晶体管 异质 ALgaas/gaas
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微空气桥隔离的自对准AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管
2
作者 严北平 张鹤鸣 戴显英 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期132-133,136,共3页
利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管 .器件展现出良好的直流和高频特性 .对于发射极面积为 2 μm× 15 μm的器件 ,直流电流增益大于 10 ,失调电压 (Offsetvoltage)2 0 0mV ;电流... 利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管 .器件展现出良好的直流和高频特性 .对于发射极面积为 2 μm× 15 μm的器件 ,直流电流增益大于 10 ,失调电压 (Offsetvoltage)2 0 0mV ;电流增益截止频率fT 大于 30GHz,最高振荡频率fmax约为 5 0GHz. 展开更多
关键词 ALgaas/gaas 异质 双极晶体管 微空气桥隔离
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集电区阶梯缓变InGaAsP层的具有超高f_(max)、f_T的双异质结双极晶体管
3
作者 焦智贤 《半导体情报》 1995年第2期1-5,共5页
本文用不同的发射极宽度和长度与集电极电流I_c和集电极-发射极问电压V_CE的函数关系研究了集电区含InGaAsP层、基区为Zn高掺杂的小尺寸InP/InGaAsDHBT的高性能。结果表明,减小发射极宽度比减其长度能... 本文用不同的发射极宽度和长度与集电极电流I_c和集电极-发射极问电压V_CE的函数关系研究了集电区含InGaAsP层、基区为Zn高掺杂的小尺寸InP/InGaAsDHBT的高性能。结果表明,减小发射极宽度比减其长度能更有效地提高,0.8μm发射极金属条宽的DHBT在I_c=4mA的小电流时,具有超出超高的f_(max)和f_T,其数值分别为267GHz和144GHz,f_(max)的增加归结为基区电阻和降低了的Bc结电容乘积的降低。 展开更多
关键词 异质 双极晶体管 INP基 gaas
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基于Darlington Cascode结构的SiGe异质结双极晶体管UWB低噪声放大器的设计 被引量:4
4
作者 丁春宝 张万荣 +7 位作者 金冬月 谢红云 陈亮 沈佩 张东晖 刘波宇 周永强 郭振杰 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1070-1076,共7页
详细地分析了Cascode结构的线性度和3dB带宽,利用Cascode结构的高线性度和Darlington结构的高增益的优点构成了Darlington—Cascode结构,在此基础上,基于台积电TSMC0.35μm SiGe工艺,设计了一款芯片面积小的满足超宽带(UWB)标准... 详细地分析了Cascode结构的线性度和3dB带宽,利用Cascode结构的高线性度和Darlington结构的高增益的优点构成了Darlington—Cascode结构,在此基础上,基于台积电TSMC0.35μm SiGe工艺,设计了一款芯片面积小的满足超宽带(UWB)标准的无电感SiGe异质结双晶体管(HBT)低噪声放大器(LNA)。该放大器利用电阻反馈结构替代了电感-电容(LC)匹配网络结构,实现了输入、输出阻抗匹配,未采用无源电感,节省了芯片面积,芯片面积仅为0.046mm2,并将Darlington—Cascode结构作为LNA的输出级,既提高了增益,又提高了线性度。LNA版图仿真结果表明,在UWB频带范围内,LNA的增益为19.5~20dB,增益平坦度为4-0.25dB;输入、输出匹配良好;线性度为-5- -2dBm;在整个频段内,无条件稳定。 展开更多
关键词 低噪声放大器(LNA) SiGe异质双极晶体管(hbt) 电阻反馈 线性度 共射-共基放大器
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X波段功率异质结双极晶体管 被引量:4
5
作者 钱峰 陈效建 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期45-50,共6页
讨论了 X波段功率异质结双极晶体管 (HBT)的设计 ,介绍了器件研制的工艺过程及测试结果。研制的器件在 X波段功率输出大于 5 W,功率密度达到 2 .5 W/mm。采用 76mm圆片工艺制作 ,芯片的 DC成品率高于 80 %。
关键词 X波段 异质双极晶体管 微波 hbt
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PNP和NPN型异质结双极晶体管的不同设计考虑
6
作者 严北平 罗晋生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期212-217,共6页
PNP和NPN高频异质结双极晶体管的设计有明显不同,这主要归因于砷化镓中电子与空穴的迁移率存在显著差别。这种差别在基区和子集电区外延层的设计中体现得尤为明显。文中详细讨论了PNP和NPN两种类型的异质结双极晶体管各自外延层的设计... PNP和NPN高频异质结双极晶体管的设计有明显不同,这主要归因于砷化镓中电子与空穴的迁移率存在显著差别。这种差别在基区和子集电区外延层的设计中体现得尤为明显。文中详细讨论了PNP和NPN两种类型的异质结双极晶体管各自外延层的设计考虑。 展开更多
关键词 异质 双极晶体管 PNP型 hbt NPN型
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SiGe/Si异质结双极晶体管 被引量:3
7
作者 杨亚光 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期10-16,共7页
介绍了SiGe/Si异质结双极晶体管(HBT)的特点、自对准HBT、非自对准HBT的结构以及通过低温热循环、SPOTEL、重硼掺杂等工艺使fT从20GHz增至110GHz的方法。
关键词 hbt 设计 异质 双极晶体管
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基于电源调制的L波段高性能GaAsHBT功率放大器
8
作者 闭涛 陈景龙 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期71-76,共6页
介绍了一种基于GaInP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)工艺、电源调制的高峰均比、高功率附加效率L波段功率放大器芯片,可满足多载波聚合、大容量通信系统的要求。从器件层面控制基极表面复合、寄生电阻和电容,实现低膝点电压、跨导均匀的晶... 介绍了一种基于GaInP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)工艺、电源调制的高峰均比、高功率附加效率L波段功率放大器芯片,可满足多载波聚合、大容量通信系统的要求。从器件层面控制基极表面复合、寄生电阻和电容,实现低膝点电压、跨导均匀的晶体管;在电路层面采用自适应偏置电路和谐波调谐等提升线性和功率附加效率。该放大器采用前级驱动加末级输出、驱动比为1∶6的两级晶体管架构和高低通搭配的匹配电路。测试结果表明,在5 V偏置电压下,该功率放大器的饱和输出功率大于35 dBm;在大功率回退时(8 dBm),增益变化小于2 dB,功率附加效率指标达到50%;对于调制带宽为25 kHz的16进制正交振幅调制(16QAM)通信系统,邻道功率比小于-38 dBc@27 dBm。 展开更多
关键词 功率放大器 电源调制 gaas异质双极晶体管(hbt) 峰均比 邻道功率比(ACPR)
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InGaP/GaAs HBT器件的制备及其特性 被引量:3
9
作者 周国 何先良 +3 位作者 谭永亮 杜光伟 孙希国 崔玉兴 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期279-282,320,共5页
采用在发射区台面腐蚀时保留InGaP钝化层和去除InGaP钝化层的方法制备了两种InGaP/Ga As异质结双极晶体管(HBT)器件,研究了InGaP钝化层对HBT器件基区表面电流复合以及器件直流和射频微波特性的影响。对制备的两种器件进行了对比测试后得... 采用在发射区台面腐蚀时保留InGaP钝化层和去除InGaP钝化层的方法制备了两种InGaP/Ga As异质结双极晶体管(HBT)器件,研究了InGaP钝化层对HBT器件基区表面电流复合以及器件直流和射频微波特性的影响。对制备的两种器件进行了对比测试后得到:保留InGaP钝化层的HBT器件最大直流增益(β)为130,最高振荡频率(fmax)大于53 GHz,功率附加效率达到61%,线性功率增益为23 dB;而去除InGaP钝化层的器件最大β为50,f_(max)大于43 GHz,功率附加效率为57%,线性功率增益为18 dB。测试结果表明,InGaP钝化层作为一种耗尽型的钝化层能有效抑制基区表面电流的复合,提高器件直流增益,改善器件的射频微波特性。 展开更多
关键词 ingap/gaas异质双极晶体管(hbt) ingap钝化 直流增益 射频微波特性 表面复合
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基于InGaP/GaAs HBT工艺X波段低相噪压控振荡器 被引量:1
10
作者 陈君涛 李世峰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期421-424,共4页
基于InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)工艺设计了一款X波段低相噪单片集成压控振荡器(VCO),该VCO采用Colpitts双推(push-push)电路结构,芯片上集成了负阻振荡电路、分布式谐振器、变容二极管和耦合输出电路。通过优化HBT器件尺寸... 基于InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)工艺设计了一款X波段低相噪单片集成压控振荡器(VCO),该VCO采用Colpitts双推(push-push)电路结构,芯片上集成了负阻振荡电路、分布式谐振器、变容二极管和耦合输出电路。通过优化HBT器件尺寸以降低其引入的1/f噪声,同时设计高Q值分布式谐振电路,从而有效降低了VCO的输出相位噪声。通过采用背靠背变容二极管对来增加VCO输出频率调谐带宽。测试结果表明,所设计芯片在5 V供电时的电流约180 m A,电调电压在1-13 V变化下输出频率覆盖8.8-10 GHz,典型输出功率为10 d Bm,单边带相位噪声为-115 d Bc/Hz@100 k Hz。芯片尺寸为2.5 mm×1.6 mm。 展开更多
关键词 ingap/gaas异质双极晶体管(hbt) 压控振荡器(VCO) 双推(push-push)电路 负阻 相位噪声
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InP基异质结双极晶体管的性能及电路应用
11
作者 宋东波 《半导体情报》 1995年第2期19-22,共4页
本文论述了在InP衬底上用InP、InGaAs和/或InAlAs构成的异质结双极晶体管的现状及展望。着重强调了超高电子速度的重要性。阐述了自对准制造技术,提出了适于微波功率应用的宽禁带集电区器件和适于数字应用的低开启... 本文论述了在InP衬底上用InP、InGaAs和/或InAlAs构成的异质结双极晶体管的现状及展望。着重强调了超高电子速度的重要性。阐述了自对准制造技术,提出了适于微波功率应用的宽禁带集电区器件和适于数字应用的低开启电压V_be器件。用这些器件构成的分频器可工作到17GHz。 展开更多
关键词 异质 双极晶体管 hbt
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GaAs HBT中BC结耗尽区电子渡越时间的修正
12
作者 石瑞英 刘训春 +1 位作者 石华芬 钱永学 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期30-34,共5页
在对已发表的 Ga As HBT文献的研究中发现 ,其截止频率 f T 的理论计算结果比实验值小很多 ,而相应的文献中并没有给出 f T的计算结果。针对上述问题 ,文中对产生这种差距的原因进行了分析 ,认为由于速度过冲效应的存在 ,使得电子并非... 在对已发表的 Ga As HBT文献的研究中发现 ,其截止频率 f T 的理论计算结果比实验值小很多 ,而相应的文献中并没有给出 f T的计算结果。针对上述问题 ,文中对产生这种差距的原因进行了分析 ,认为由于速度过冲效应的存在 ,使得电子并非以饱和速度 Vsat渡越 BC结耗尽区 ,而是以更高的速度运动。基于上述理论 ,对产生截止频率误差的 BC结耗尽区电子渡越时间τsc进行了修正。利用修正后的公式对文献中的数据进行了重新计算 ,得到了令人满意的结果。 展开更多
关键词 gaas hbt 砷化镓异质双极晶体管 能量弛豫时间 速度过冲 BC耗尽区电子渡越时间
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4GHz 300mWInGaP/GaAs HBT功率管研制 被引量:2
13
作者 樊宇伟 申华军 +3 位作者 葛霁 刘新宇 和致经 吴德馨 《电子器件》 EI CAS 2006年第1期12-14,共3页
通过采用发射极-基极金属自对准、发射极镇流电阻,电镀空气桥等工艺改善了器件的高频特性,提高了器件热稳定性与功率特性。当器件工作在AB类,工作频率为4GHz,集电极偏置电压为3.5V时,尺寸为16×(3μm×15μm)的功率管获得了最... 通过采用发射极-基极金属自对准、发射极镇流电阻,电镀空气桥等工艺改善了器件的高频特性,提高了器件热稳定性与功率特性。当器件工作在AB类,工作频率为4GHz,集电极偏置电压为3.5V时,尺寸为16×(3μm×15μm)的功率管获得了最大输出功率为24.9dBm(309.0mW)、功率增益为8.1dB的良好性能。 展开更多
关键词 咱对准 gaas ingap 功率异质双极晶体管
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InGaP/GaAs微波HBT器件与电路研究及应用进展 被引量:2
14
作者 林玲 徐安怀 +1 位作者 孙晓玮 齐鸣 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期5-7,共3页
概述了近年来微波InGaP/GaAs异质结双极晶管(HBT)器件和集成电路的研究和应用现状,着重阐述了HBT器件的热设计、降低偏移电压、离子注入隔离、湿法腐蚀,以及用于电路设计的等效电路模型等关键问题。
关键词 异质双极晶体管 ingap/gaas 微波单片集成电路
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InGaP/GaAs HBT器件研究中的几个重要问题
15
作者 林玲 徐安怀 +1 位作者 孙晓玮 齐鸣 《中国电子科学研究院学报》 2006年第3期254-257,共4页
本文分析了InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)微波器件研制中的一些重要问题,优化了发射结阻挡层厚度,解决离子注入实现器件隔离的问题,设计制备出发射极尺寸为(3μm×40μm)×3的HBT单管,并进行了测试。
关键词 异质双极晶体管(hbt) ingap/gaas 阻挡层 离子注入
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异质结晶体管的设计与性能 被引量:1
16
作者 苏里曼 《固体电子学研究与进展》 CAS 1987年第2期127-141,共15页
本文较详细地讨论了异质结晶体管的设计原理、材料选用和结构设计。在能带设计方面对宽发射区、缓变基区和多种收集区分别进行了讨论,比较了不同能带结构的优缺点。文章以晶体管的特征频率f_T和最高振荡频率f_(max)为例分析和比较了Ge/G... 本文较详细地讨论了异质结晶体管的设计原理、材料选用和结构设计。在能带设计方面对宽发射区、缓变基区和多种收集区分别进行了讨论,比较了不同能带结构的优缺点。文章以晶体管的特征频率f_T和最高振荡频率f_(max)为例分析和比较了Ge/GaAs,Si/α-Si,GaAs/GaAlAs,InGaAsP/InP四种异质结晶体管的频率特性潜力。文章最后对目前常用的台面结构、平面结构、倒置结构作了介绍,并分析了它们的优缺点,简介了异质结的发展现状和发展方向。 展开更多
关键词 异质晶体管 INP hbt 器件 双极晶体管 基区 gaas
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高速AlGaAs/GaAs HBT D-触发器和静态分频器 被引量:1
17
作者 曾庆明 徐晓春 +5 位作者 李献杰 敖金平 王全树 郭建魁 刘伟吉 揭俊锋 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期183-185,共3页
叙述了高速 Al Ga As/ Ga As HBT D-触发器和静态分频器的设计、制造和性能。用电流型逻辑和自对准工艺 ,D-触发器上升和下降时间都小于 80 ps,静态分频器在 0~
关键词 A1gaas/gaas hbt D-触发器 静态分频器 异质双极晶体管 铝镓硅三元化合物
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Al_(0.3)Ga_(0.22)In_(0.48)P/GaAsHBT高温特性的研究
18
作者 吴杰 夏冠群 +3 位作者 束伟民 顾伟东 张兴宏 P.A.Houston 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期31-33,36,共4页
本文研制了Al03Ga022In048P/GaAs高温HBT器件,详细地研究了器件在300K~623K范围内HBT的直流电学特性.结果表明Al03Ga022In048P/GaAsHBT器件具有良好的高温特性,在300K~623K温度范围内,动态电流增益变化小于10%.Al03Ga022In048P/GaAsHB... 本文研制了Al03Ga022In048P/GaAs高温HBT器件,详细地研究了器件在300K~623K范围内HBT的直流电学特性.结果表明Al03Ga022In048P/GaAsHBT器件具有良好的高温特性,在300K~623K温度范围内,动态电流增益变化小于10%.Al03Ga022In048P/GaAsHBT可工作至623K,工作温度超过623K后,器件就不能正常工作,经分析发现导致HBT失效的直接原因是BC结短路.BC结短路的机制有待今后进一步探讨. 展开更多
关键词 异质 双极晶体管 高温 直流电学特性 hbt
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AlGaAs/GaAsHBT的设计与研制
19
作者 胡海蓉 牛萍娟 +1 位作者 胡海洋 郭维廉 《河北工业大学学报》 CAS 2005年第6期87-90,共4页
分析了AlGaAs/GaAsHBT的原理和材料结构,详细介绍了AlGaAs/GaAsHBT的器件结构及工艺流程,并对两方面进行了优化,研制出了特性较好的AlGaAs/GaAsHBT,其电流放大系数达到180,是目前国内报道的最高水平;开启电压小于0.3V.
关键词 ALgaas/gaas 异质双极晶体管 工艺
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基于GaAs HBT工艺的低相位噪声锁相环 被引量:2
20
作者 王增双 朱大成 +2 位作者 孔祥胜 廖文生 高晓强 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第4期268-273,共6页
设计了一款低相位噪声的锁相环(PLL),该PLL主要由可编程分频器、鉴相器和锁定指示电路等组成,通过外接参考时钟、有源环路滤波器和压控振荡器(VCO)构成完整的PLL频率源。研究了PLL频率源中各个噪声源及其传递函数,通过降低可编程分频器... 设计了一款低相位噪声的锁相环(PLL),该PLL主要由可编程分频器、鉴相器和锁定指示电路等组成,通过外接参考时钟、有源环路滤波器和压控振荡器(VCO)构成完整的PLL频率源。研究了PLL频率源中各个噪声源及其传递函数,通过降低可编程分频器的相位噪声和提高鉴相器工作频率的方法,降低PLL频率源环路内的相位噪声。采用GaAs异质结双极晶体管(HBT)工艺对PLL进行了设计、仿真和流片,PLL芯片面积为1.95 mm×1.95 mm。测试结果表明,在电源电压5 V条件下,该PLL电流为250 mA,射频输入频率为0.01~2.2 GHz,鉴相器工作频率为0.01~1 GHz,分频比为2~32,典型归一化本底噪声为-232 dBc/Hz;当VCO输出频率为6 GHz,鉴相频率为500 MHz时,PLL频率源的相位噪声为-121 dBc/Hz@10 kHz。 展开更多
关键词 锁相环(PLL) 分频器 鉴相器 相位噪声 gaas异质双极晶体管(hbt)工艺
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