期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现
被引量：
1
1
作者
刘思远
刘文杰
《现代电子技术》
2010年第3期164-166,共3页
在简要分析目前激光微细加工系统中存在问题的基础上,设计一种能将能量呈高斯分布的激光束转变为类平顶光束的匀光系统。介绍匀光系统的机械结构和光学原理,重点利用Matlab图形绘制功能,设计合理参数对匀光系统进行仿真,从而验证设计的...
在简要分析目前激光微细加工系统中存在问题的基础上,设计一种能将能量呈高斯分布的激光束转变为类平顶光束的匀光系统。介绍匀光系统的机械结构和光学原理,重点利用Matlab图形绘制功能,设计合理参数对匀光系统进行仿真,从而验证设计的合理性。最后简述了目前已经成熟的光束整形技术,该匀光系统原理简单、功能卓越、使用简洁,在激光微细加工领域有很好的应用前景。
展开更多
关键词
ito薄膜激光刻蚀设备
匀光系统
MATLAB仿真
光束整形
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在ITO薄膜表面精密加工
2
作者
李重周
王培尧
+3 位作者
龙明泉
许宇锋
韩若中
贾天卿
《光子学报》
北大核心
2025年第5期33-46,共14页
利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,得到输出子脉冲间隔在1~1500 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在厚度为185 nm的ITO薄膜上加工出高质量的刻蚀线。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串加工得到的单根刻蚀线在线边沿粗糙度上明显优...
利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,得到输出子脉冲间隔在1~1500 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在厚度为185 nm的ITO薄膜上加工出高质量的刻蚀线。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串加工得到的单根刻蚀线在线边沿粗糙度上明显优于原始高斯光加工的刻蚀线。利用子脉冲间隔为150 ps、激光能流密度为0.49 J/cm^(2)、扫线速度为0.2 mm/s的脉冲串加工得到的刻蚀线质量较高,线宽度仅有1.45μm(顶部)和0.95μm(底部),线边沿粗糙度仅有9.48 nm。该加工工艺配合平移台,实现了高质量的排线和任意曲线的导线。
展开更多
关键词
激光
加工
法布里-珀罗腔
飞秒
激光
脉冲串
刻蚀
线
ito
薄膜
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现
被引量：
1
1
作者
刘思远
刘文杰
机构
苏州大学机电工程学院
出处
《现代电子技术》
2010年第3期164-166,共3页
文摘
在简要分析目前激光微细加工系统中存在问题的基础上,设计一种能将能量呈高斯分布的激光束转变为类平顶光束的匀光系统。介绍匀光系统的机械结构和光学原理,重点利用Matlab图形绘制功能,设计合理参数对匀光系统进行仿真,从而验证设计的合理性。最后简述了目前已经成熟的光束整形技术,该匀光系统原理简单、功能卓越、使用简洁,在激光微细加工领域有很好的应用前景。
关键词
ito薄膜激光刻蚀设备
匀光系统
MATLAB仿真
光束整形
Keywords
laser etching system for
ito
beam splitter
Matlab
beam shaping
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在ITO薄膜表面精密加工
2
作者
李重周
王培尧
龙明泉
许宇锋
韩若中
贾天卿
机构
华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室
中国计量科学研究院
出处
《光子学报》
北大核心
2025年第5期33-46,共14页
基金
国家自然科学基金(No.12074123)。
文摘
利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,得到输出子脉冲间隔在1~1500 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在厚度为185 nm的ITO薄膜上加工出高质量的刻蚀线。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串加工得到的单根刻蚀线在线边沿粗糙度上明显优于原始高斯光加工的刻蚀线。利用子脉冲间隔为150 ps、激光能流密度为0.49 J/cm^(2)、扫线速度为0.2 mm/s的脉冲串加工得到的刻蚀线质量较高,线宽度仅有1.45μm(顶部)和0.95μm(底部),线边沿粗糙度仅有9.48 nm。该加工工艺配合平移台,实现了高质量的排线和任意曲线的导线。
关键词
激光
加工
法布里-珀罗腔
飞秒
激光
脉冲串
刻蚀
线
ito
薄膜
Keywords
Laser processing
Fabry-Perot cavity
Femtosecond pulse train
Etched line
ito
film
分类号
TN244 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现
刘思远
刘文杰
《现代电子技术》
2010
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在ITO薄膜表面精密加工
李重周
王培尧
龙明泉
许宇锋
韩若中
贾天卿
《光子学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
