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溶胶-凝胶法制备ITO薄膜研究进展 被引量:6
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作者 张学骜 吴文健 +1 位作者 满亚辉 刘长利 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期264-268,共5页
概述了近年来国内外溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备ITO薄膜的研究状况,对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍,重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系,分析比较了有机醇盐、无机盐以及掺入ITO粉末方法体系的优缺点,最后讨论了甩膜法、... 概述了近年来国内外溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备ITO薄膜的研究状况,对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍,重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系,分析比较了有机醇盐、无机盐以及掺入ITO粉末方法体系的优缺点,最后讨论了甩膜法、提拉法及平铺法在Sol-Gel法制备ITO薄膜中镀膜的应用.指出Sol-Gel法是一种高效可行的制备ITO薄膜的方法,有着广阔的应用前景. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 ito薄膜 制备 工艺 应用
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铟锡氧化物薄膜的生产、应用与开发 被引量:9
2
作者 文友 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 1997年第3期56-59,共4页
介绍了铟锡氧化物(ITO)薄膜的特性、主要生产工艺及其在汽车、宇航、建筑、电子等领域的应用。并对该材料生产工艺及产品市场的发展前景进行了展望。
关键词 铟锡氧化物 薄膜 生产工艺 应用
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铟锡氧化物薄膜的生产现状与应用 被引量:24
3
作者 刘世友 《材料科学与工程》 CSCD 1999年第2期98-100,80,共4页
介绍了铟锡氧化物(ITO)薄膜的特征,主要生产工艺及其在汽车、宇航、建筑、电子、太阳能等领域的应用。
关键词 铟锡氧化物薄膜 特性 生产工艺 应用 展望 ito
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