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CMOS兼容的ISFET传感器模型和测量电路研究
1
作者
王阳
刘高平
+1 位作者
郭锋
尹湘源
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第2期19-20,24,共3页
随着CMOS工艺的不断发展,将离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器与CMOS技术相结合,以达到提高集成度、降低成本、减小系统尺寸、提高系统可靠性。在对与CMOS工艺兼容的ISFET传感器结构模型分析的基础上,研究了一种测量电路,它具有有利于消...
随着CMOS工艺的不断发展,将离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器与CMOS技术相结合,以达到提高集成度、降低成本、减小系统尺寸、提高系统可靠性。在对与CMOS工艺兼容的ISFET传感器结构模型分析的基础上,研究了一种测量电路,它具有有利于消除体效应的影响、减少共模噪声的影响、克服温度漂移等优点。对该测量电路进行模拟仿真,得到输出电压与pH值之间的关系图,结果表明:其结果与理论模型仿真值基本吻合。
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关键词
isfet传感器
CMOS工艺
pH值
测量电路
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职称材料
题名
CMOS兼容的ISFET传感器模型和测量电路研究
1
作者
王阳
刘高平
郭锋
尹湘源
机构
浙江万里学院电信学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第2期19-20,24,共3页
文摘
随着CMOS工艺的不断发展,将离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器与CMOS技术相结合,以达到提高集成度、降低成本、减小系统尺寸、提高系统可靠性。在对与CMOS工艺兼容的ISFET传感器结构模型分析的基础上,研究了一种测量电路,它具有有利于消除体效应的影响、减少共模噪声的影响、克服温度漂移等优点。对该测量电路进行模拟仿真,得到输出电压与pH值之间的关系图,结果表明:其结果与理论模型仿真值基本吻合。
关键词
isfet传感器
CMOS工艺
pH值
测量电路
Keywords
ion sensitive field effect transistor(
isfet
)sensor
CMOS technology
pH value
measuring circuit
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
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1
CMOS兼容的ISFET传感器模型和测量电路研究
王阳
刘高平
郭锋
尹湘源
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007
0
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