期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
PtSiIRCCD器件用长焦距Si微透镜阵列的制作研究(英文)
1
作者
何苗
易新建
+1 位作者
张新宇
刘鲁勤
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期94-98,共5页
为了改善 Pt Si IRCCD器件的红外响应特性 ,需要添加长焦距微透镜阵列进行焦平面集光 ,本文提出了一种新的方法—曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作 .扫描电子显微镜 (SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测...
为了改善 Pt Si IRCCD器件的红外响应特性 ,需要添加长焦距微透镜阵列进行焦平面集光 ,本文提出了一种新的方法—曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作 .扫描电子显微镜 (SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜阵列表面光滑 ,单元重复性好 ,其焦距可达到 685.51 μm.微透镜阵列器件与 Pt Si IRCCD器件在红外显微镜下对准胶合 ,显著改善了 IRCCD器件的光响应特性 .
展开更多
关键词
微透镜阵列
氩离子束刻蚀
红外响应特性
硅化铂
irccd器件
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
PtSiIRCCD器件用长焦距Si微透镜阵列的制作研究(英文)
1
作者
何苗
易新建
张新宇
刘鲁勤
机构
华中理工大学光电子工程系
中国航天总公司二院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期94-98,共5页
基金
The projectsupported by the National Defence Technology Key Laboratory Fundation of China( 99JS1 1 .2 .0 JW0 50 5) and the N
文摘
为了改善 Pt Si IRCCD器件的红外响应特性 ,需要添加长焦距微透镜阵列进行焦平面集光 ,本文提出了一种新的方法—曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作 .扫描电子显微镜 (SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜阵列表面光滑 ,单元重复性好 ,其焦距可达到 685.51 μm.微透镜阵列器件与 Pt Si IRCCD器件在红外显微镜下对准胶合 ,显著改善了 IRCCD器件的光响应特性 .
关键词
微透镜阵列
氩离子束刻蚀
红外响应特性
硅化铂
irccd器件
Keywords
Microlenses array
Ar ion beam milling
Hybrid device
PtSi
irccd
device
分类号
TN214 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PtSiIRCCD器件用长焦距Si微透镜阵列的制作研究(英文)
何苗
易新建
张新宇
刘鲁勤
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
