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基于改进ICP算法的大尺寸焊接构件三维形貌测量
1
作者 蔡引娣 王宇轩 +2 位作者 牛超 朱祥龙 康仁科 《光学精密工程》 北大核心 2025年第9期1396-1406,共11页
为了实现大尺寸构件三维形貌的高精度、高效率测量,提出基于改进迭代最近点算法的大尺寸构件三维形貌测量方法。针对双目结构光系统在实际测量中易受系统误差影响、相位展开不准确等问题,提出互补正反格雷相移结构光编码方法。该方法采... 为了实现大尺寸构件三维形貌的高精度、高效率测量,提出基于改进迭代最近点算法的大尺寸构件三维形貌测量方法。针对双目结构光系统在实际测量中易受系统误差影响、相位展开不准确等问题,提出互补正反格雷相移结构光编码方法。该方法采用鲁棒像素分类法对正反格雷码进行二值化,采用改进的高斯滤波算法对相移码图像进行滤波处理。为了提高点云拼接算法的精度,提出改进迭代最近点云拼接算法。该算法对相邻视角公共区域点云进行提取和法向量筛选,避免非公共区域点云对拼接效果的影响,并将列文伯格优化算法引入迭代最近点云拼接算法中,解决大尺寸构件三维形貌测量钟点云拼接算法对点云初始位置敏感、容易受到噪声干扰等问题。改进迭代最近点云拼接算法相较传统迭代最近点云拼接算法精度提升55%,拼接效率提升数倍,迭代次数减少61%。实验结果表明,在被测物体距离相机镜头测量距离700 mm,相机夹角为65°的条件下,大尺寸构件三维形貌测量系统的长度测量精度优于450μm/m,相邻视角点云拼接计算用时约25 ms,满足大尺寸焊接构件三维形貌测量的精度和效率要求。 展开更多
关键词 三维形貌测量 双目结构光 鲁棒像素分类法 改进迭代最近点 正反互补格雷码
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改进ICP算法的激光雷达点云配准 被引量：9
2
作者 许哲 董林啸 吴家跃 《测绘通报》 CSCD 北大核心 2024年第4期1-5,共5页
针对传统ICP算法在激光雷达目标点云配准中存在匹配时间长,以及受初值影响导致该算法应用在无人车SLAM技术中容易存在定位精度不高和稳健性较差的问题,本文提出了一种结合KD-tree算法的NDT-ICP算法。首先,通过Voxel Grid滤波对激光雷达... 针对传统ICP算法在激光雷达目标点云配准中存在匹配时间长,以及受初值影响导致该算法应用在无人车SLAM技术中容易存在定位精度不高和稳健性较差的问题,本文提出了一种结合KD-tree算法的NDT-ICP算法。首先,通过Voxel Grid滤波对激光雷达获取的点云数据进行预处理,利用平面拟合参数的方法去除地面点云;然后,利用NDT算法进行点云粗匹配,缩短目标点云与待匹配点云距离;最后,通过KD-tree邻近搜索法提高对应点查找速度,并通过优化收敛阈值,完成ICP算法的精匹配。试验结果表明,本文提出的改进算法相比于NDT算法和ICP算法,在点云配准速度和精度上有明显提高,且在地图构建上精度和稳健性更好。 展开更多
关键词 无人车 点云配准 icp算法 NDT算法 激光SLAM
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用于ICP的近似KD-Tree搜索加速器设计及FPGA实现
3
作者 郑凯磊 陈强 肖昊 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2024年第12期1648-1654,共7页
为了加速迭代最近点(iterative closest point,ICP)算法中k近邻(k-nearest neighbor,KNN)搜索过程,文章根据近似K维树(K-dimensional tree,KD-Tree)数据结构,基于现场可编程门阵列(field programmable gate array,FPGA)提出一种高性能的... 为了加速迭代最近点(iterative closest point,ICP)算法中k近邻(k-nearest neighbor,KNN)搜索过程,文章根据近似K维树(K-dimensional tree,KD-Tree)数据结构,基于现场可编程门阵列(field programmable gate array,FPGA)提出一种高性能的KNN搜索加速器;分析近似KD-Tree数据结构的可行性,结果表明该数据结构能够满足ICP算法精度要求,并提高计算的并行度和性能;为了解决近似KD-Tree建树过程耗费时间长的问题,设计基于分治归并排序的具有反馈数据通路的树构建计算模块,该模块可在8.95 ms内计算出256个空间的树节点并完成树构建;为了优化点云暴力搜索过程,设计一种高吞吐率的点云搜索模块,可以在0.49 ms内完成近30000个点的最近点搜索。研究结果表明,与相关的设计相比,该文提出的硬件加速方法可以有效降低KNN搜索时间复杂度,提高算法性能。 展开更多
关键词 K维树(KD-Tree) 迭代最近点(icp)算法 三维重建 硬件加速 现场可编程门阵列(FPGA)
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基于震前-震后高精度地形点云数据提取三维地表同震位移场信息
4
作者 魏占玉 何宏林 +1 位作者 邓亚婷 席茜 《地震地质》 北大核心 2025年第1期167-188,共22页
地震破裂带附近同震位移和变形模式对于深入理解地震破裂过程、断层行为及活动断层与地形地貌关系等至关重要。文中提出一种迭代最近点(ICP)算法,利用地震前后地形点云进行差分确定断层近场三维同震地表位移。在川西大凉山断裂带交际河... 地震破裂带附近同震位移和变形模式对于深入理解地震破裂过程、断层行为及活动断层与地形地貌关系等至关重要。文中提出一种迭代最近点(ICP)算法,利用地震前后地形点云进行差分确定断层近场三维同震地表位移。在川西大凉山断裂带交际河断层上选取2期SfM地形点云叠加同震位移场模拟震前-震后点云,测试ICP方法获取同震位移场的精度。该方法在网格边长>50m的条件下可准确恢复同震位移场的方向和幅度,水平和垂直精度分别为20~10cm,这与地形点云定位精度相当。随着点云密度和网格窗口尺寸减小,该方法恢复同震位移场等的精度将降低。通过分析树木生长、房屋建设、河流侵蚀等地形变化对恢复位移场的潜在影响,研究结果表明扩大网格尺寸可使震前-震后点云具有足够地形结构进行匹配,以减小局部地形变化对恢复位移场的影响,网格窗口尺寸是在具有足够地形结构的大尺度和具有更精细分辨率的小尺度之间的权衡。文中所述的ICP方法利用震前-震后高精度点云可获取地震破裂带附近精细的三维地表位移场,为浅层断层滑动和破裂带变形提供了新的约束,有助于研究地震破裂过程和断层生长过程。 展开更多
关键词 三维同震位移场 icp算法 地形点云 地震破裂 活动断层
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汽车驱动桥螺旋锥齿轮齿面测量误差补偿方法
5
作者 刘永生 谭佳敏 +3 位作者 王瑞富 户盼茹 甘鑫斌 陈一馨 《汽车安全与节能学报》 北大核心 2025年第2期197-206,共10页
提升汽车驱动桥螺旋锥齿轮齿面加工质量对整车的安全与节能性能有重要意义,该文针对汽车驱动桥螺旋锥齿轮实测和理论齿面存在的测量误差,提出了一种基于对偶四元数优化的迭代最近点(ICP)齿面测量误差补偿方法。将误差补偿问题转化为两... 提升汽车驱动桥螺旋锥齿轮齿面加工质量对整车的安全与节能性能有重要意义,该文针对汽车驱动桥螺旋锥齿轮实测和理论齿面存在的测量误差,提出了一种基于对偶四元数优化的迭代最近点(ICP)齿面测量误差补偿方法。将误差补偿问题转化为两曲面的配准问题,利用对偶四元数对齿面配准模型进行表示并得出误差矩阵,将误差矩阵线性化并使用凸松弛的全局优化算法对其实部进行优化,实现螺旋锥齿轮齿面的精确配准。结果表明:螺旋锥齿轮凹齿面的误差补偿率最高达77%,最大误差由补偿前的22.11μm降至5.64μm,平均误差由补偿前的10.34μm降至2.38μm,该算法与传统奇异值分解法(SVD)、四元数法和Levenberg-Marquardt法(L-M)相比有更高的求解精度和稳定性,证明所提出的补偿方法具有可行性。 展开更多
关键词 驱动桥 螺旋锥齿轮 对偶四元数 迭代最近点算法(icp) 全局优化
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单颗粒-电感耦合等离子体质谱(SP-ICP-MS)法数据处理算法的技术发展现状 被引量：2
6
作者 林贤 颜能 +3 位作者 杨艳 吴智威 徐岳 俞晓峰 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2024年第7期896-910,共15页
单颗粒-电感耦合等离子体质谱(Single particle-inductively coupled plasma-mass spectrometry,SP-ICP-MS)法将高通量的粒子计数技术与ICP-MS时间分辨分析相结合,进行快速的单个颗粒逐一表征。此技术不仅可以获取单个颗粒的质量和粒径... 单颗粒-电感耦合等离子体质谱(Single particle-inductively coupled plasma-mass spectrometry,SP-ICP-MS)法将高通量的粒子计数技术与ICP-MS时间分辨分析相结合,进行快速的单个颗粒逐一表征。此技术不仅可以获取单个颗粒的质量和粒径信息,还能获得溶解态和颗粒态的元素含量信息。经过20余年的发展,SP-ICP-MS法正逐渐成为表征单颗粒的重要方法之一,其显著的技术优势获得了广泛关注,业内诸多学者对其仪器运行条件优化、数据采集方法、数据处理算法等关键技术方面的研究也取得了长足进展。对SP-ICP-MS表征纳米颗粒的技术路线、数据处理算法及研究进展进行了综述,重点讨论了单颗粒定量分析的关键问题及其未来研究方向。但必须指出的是,当前业内在不同应用场景下所建立的颗粒事件鉴别算法、溶液信号的判定阈值算法、颗粒信号质量控制和精确的颗粒定量表征方法尚未明确统一,仍然缺乏足够普适的数据处理方式,这使得SP-ICP-MS技术在广泛的纳米颗粒应用中仍需面对准确定量的挑战。 展开更多
关键词 SP-icp-MS 单颗粒 质谱 分析技术 数据处理算法
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基于特征点和改进ICP的三维点云数据配准算法 被引量：35
7
作者 张晓娟 李忠科 +2 位作者 王先泽 吕培军 王勇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第9期116-118,122,共4页
在光学非接触三维测量中,复杂对象的重构需要多组测量数据的配准。最近点迭代(ICP)算法是三维激光扫描数据处理中点云数据配准的一种经典的数学方法,为了获得更好的配准结果,在ICP算法的基础之上,提出了结合基于特征点的等曲率预配准方... 在光学非接触三维测量中,复杂对象的重构需要多组测量数据的配准。最近点迭代(ICP)算法是三维激光扫描数据处理中点云数据配准的一种经典的数学方法,为了获得更好的配准结果,在ICP算法的基础之上,提出了结合基于特征点的等曲率预配准方法和邻近搜索ICP改进算法的精细配准,自动进行点云数据配准的算法,经对牙齿点云模型实验发现,点云数据量越大,算法的配准速度优势越明显,采用ICP算法的运行时间(194.58 s)远大于本算法的运行时间(89.13 s)。应用实例表明:该算法具有速度快、精度高的特点,算法效果良好。 展开更多
关键词 点云 配准 特征点 最近点迭代算法 牙齿点云模型
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基于ICP算法和粒子滤波的未知环境地图创建 被引量：33
8
作者 祝继华 郑南宁 +1 位作者 袁泽剑 何永健 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第8期1107-1113,共7页
为了实现移动机器人仅依靠激光测距仪和里程计实时地创建精确的栅格地图,本文提出了一种结合最近点迭代(Iterative closest point,ICP)算法和Rao-Blackwellized粒子滤波的同时定位与地图创建方法,该方法利用ICP算法对相邻两次激光扫描... 为了实现移动机器人仅依靠激光测距仪和里程计实时地创建精确的栅格地图,本文提出了一种结合最近点迭代(Iterative closest point,ICP)算法和Rao-Blackwellized粒子滤波的同时定位与地图创建方法,该方法利用ICP算法对相邻两次激光扫描数据进行配准,并将配准结果代替误差较大的里程计读数,以改善基于里程计读数的建议分布函数;同时通过采用改进的抽样策略,提高了粒子滤波过程中的抽样效率,降低创建地图所需的粒子数,仿真结果表明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 同时定位与地图创建 最近点迭代法 Rao-Blackwellized 粒子滤波 建议分布函数
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应用改进ICP算法的点云配准 被引量：16
9
作者 杨小青 杨秋翔 +1 位作者 杨剑 郑晓璐 《计算机工程与设计》 北大核心 2015年第9期2457-2461,共5页
针对三维重建领域点云数据配准过程中存在的配准效率低和精度误差大问题,提出一种改进ICP算法。应用盒子结构划分点云数据,对每一独立单元盒提取特征点构建三角形,根据相似原理,选用与其相似度最大的三角形各顶点作为初始对应点对,引入... 针对三维重建领域点云数据配准过程中存在的配准效率低和精度误差大问题,提出一种改进ICP算法。应用盒子结构划分点云数据,对每一独立单元盒提取特征点构建三角形,根据相似原理,选用与其相似度最大的三角形各顶点作为初始对应点对,引入支持度的概念,给出评价准则,使当前待确定点对的成立最大支持其余已确认匹配点对,保证对应点查找的正确性。同理,以现有三角形各边为基准,继续构建新的三角形,完成所有匹配点对的查找。实验结果表明,改进算法较传统ICP算法有大幅提高,缩短配准误差至0.03%,配准效率提高了65%以上,优势明显。 展开更多
关键词 点云配准 icp算法 盒子结构 相似原理 支持度
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基于法矢夹角的改进ICP算法 被引量：12
10
作者 杨秋翔 王程远 +1 位作者 杨剑 杨小青 《计算机工程与设计》 北大核心 2016年第8期2082-2086,共5页
针对三维点云配准过程中存在精度和效率低下的问题,提出一种基于法矢夹角的改进ICP算法。利用八叉树结构划分点云数据并编号,计算每一点与其k近邻点的平均法矢夹角,引入关键度的概念,给出评判标准,对点云数据进行不同比例的精简;利用KD-... 针对三维点云配准过程中存在精度和效率低下的问题,提出一种基于法矢夹角的改进ICP算法。利用八叉树结构划分点云数据并编号,计算每一点与其k近邻点的平均法矢夹角,引入关键度的概念,给出评判标准,对点云数据进行不同比例的精简;利用KD-tree加速查找,计算点云对的匹配度并进行筛选,通过最小二乘迭代完成点云配准。实验结果表明,与传统ICP算法相比,该算法在配准效率方面提高了68%以上,将配准误差降低至0.02%,优势明显。 展开更多
关键词 点云配准 法矢夹角 icp算法 关键度 最小二乘迭代
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三维点云数据拼接中ICP及其改进算法综述 被引量：60
11
作者 解则晓 徐尚 《中国海洋大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期99-103,共5页
ICP算法是三维点云数据精确拼接过程中的主流算法。文章对目前国内外ICP及其各种改进算法的发展现状进行了系统地分析与研究。将ICP算法分为4个主要阶段:(1)对原始点云数据进行采样;(2)确定初始对应点集;(3)去除错误对应点对;(4)坐标变... ICP算法是三维点云数据精确拼接过程中的主流算法。文章对目前国内外ICP及其各种改进算法的发展现状进行了系统地分析与研究。将ICP算法分为4个主要阶段:(1)对原始点云数据进行采样;(2)确定初始对应点集;(3)去除错误对应点对;(4)坐标变换的求解。分别对各个阶段中典型方法的基本思想和关键技术进行了分类与分析,并在精度与效率等方面对这些算法进行了比较。最后对目前算法研究中的难点问题及未来的研究重点进行了展望。 展开更多
关键词 三维点云 精确拼接 icp算法
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基于Hausdorff距离改进的ICP算法 被引量：9
12
作者 郑晓璐 潘广贞 +1 位作者 杨剑 杨小青 《计算机工程与设计》 北大核心 2015年第9期2481-2484,2489,共5页
为满足三维点云配准的高精度要求,提出一种基于Hausdorff距离改进的ICP算法。利用三维点云拟合曲面的主曲率和点邻域内Hausdorff距离相结合的方法,对点云进行简化,剔除正态分布图中Hausdorff值小的点云,使简化后的关键点充分保留点云的... 为满足三维点云配准的高精度要求,提出一种基于Hausdorff距离改进的ICP算法。利用三维点云拟合曲面的主曲率和点邻域内Hausdorff距离相结合的方法,对点云进行简化,剔除正态分布图中Hausdorff值小的点云,使简化后的关键点充分保留点云的几何特征;采用K-D树加速查找,通过最小二乘迭代进行点云ICP配准。对经典ICP算法和改进ICP算法做对比实验,实验结果表明,改进的ICP算法将配准误差由原来的0.3mm控制在了0.1mm左右,大幅提高了点云配准的精确度。 展开更多
关键词 icp算法 HAUSDORFF距离 曲率 K-D树 最小二乘迭代
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改进ICP算法实现多视点云精确配准研究 被引量：16
13
作者 袁建英 刘先勇 +1 位作者 刘伟 郭进 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期27-30,共4页
复杂面形的三维整体测量能否顺利完成取决于不同视下测得的三维点云的配准精度。研究表明:采用点到点,点到三角面配准方法易受噪声干扰,采用面形比较计算量大,且在平面和标准球面情况下容易失效。以粗配准标记点所在的立方体区域为重合... 复杂面形的三维整体测量能否顺利完成取决于不同视下测得的三维点云的配准精度。研究表明:采用点到点,点到三角面配准方法易受噪声干扰,采用面形比较计算量大,且在平面和标准球面情况下容易失效。以粗配准标记点所在的立方体区域为重合区域,使用点到点的多邻接三角面距离最近的点对作为初始匹配点,并根据几何结构最大相似原则对所求得的多个粗匹配点对进行筛选,再对筛选后的点对应用最近点迭代(ICP)算法。改进后的ICP算法实现了重合区域的快速自动定位,实现了不同视下点云的快速精确配准,在多个实例下获得了配准精度优于0.01 mm的实验结果。 展开更多
关键词 三维光学测量 多视配准 改进最近点迭代算法
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基于改进ICP算法的地磁图匹配技术 被引量：7
14
作者 任治新 罗诗途 +1 位作者 吴美平 刘颖 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2008年第B06期351-354,共4页
将地磁信息应用于惯性导航是组合导航技术研究的新方向。对地磁辅助导航的原理和发展现状进行了介绍,并在分析地磁特征的基础上,研究了利用地磁异常特征进行ICP匹配定位的方法。根据应用环境,对ICP算法进行了以下改进:首先,受模拟退火... 将地磁信息应用于惯性导航是组合导航技术研究的新方向。对地磁辅助导航的原理和发展现状进行了介绍,并在分析地磁特征的基础上,研究了利用地磁异常特征进行ICP匹配定位的方法。根据应用环境,对ICP算法进行了以下改进:首先,受模拟退火法的启发,提出采用扇形扫描法搜索最优匹配,推动ICP算法向全局最优迭代;其次,结合RANSAC法,有效剔除了地磁测量中的野值点,提高了算法的鲁棒性。仿真结果证实了改进算法的良好性能。 展开更多
关键词 迭代最近点算法 地磁匹配 随机抽样一致性算法 鲁棒估计 地磁辅助导航
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基于综合改进ICP算法的三维激光扫描技术在露天矿边坡测绘中的应用 被引量：17
15
作者 李健 胡书桥 邓增兵 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期51-54,共4页
以先后发生过两次大规模滑坡的中煤平朔公司东露天矿边坡为研究背景,利用三维激光扫描技术测绘速度快、测量精度高、数据量大的特点,对该露天矿边坡进行三维激光扫描,尤其是对发生过滑坡的两个重点区域进行精细扫描。基于综合改进ICP算... 以先后发生过两次大规模滑坡的中煤平朔公司东露天矿边坡为研究背景,利用三维激光扫描技术测绘速度快、测量精度高、数据量大的特点,对该露天矿边坡进行三维激光扫描,尤其是对发生过滑坡的两个重点区域进行精细扫描。基于综合改进ICP算法,将扫描得到的多站点云数据进行拼接处理,完成了长约2 km的露天矿边坡三维模型重建。研究结果表明,三维激光扫描结果符合工程实际特征,是一种快速建立矿山边坡数字模型的有效手段。 展开更多
关键词 综合改进icp算法 三维激光扫描 露天矿边坡
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基于改进ICP算法的室内环境三维地图创建研究 被引量：4
16
作者 张彦铎 袁博 李迅 《华中师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2017年第2期264-272,共9页
提出一种基于离散选取机制的改进特征点ICP算法,并设计了基于该算法的三维地图创建方法.该方法分为3个阶段,首先提取并匹配相机运动过程中采集的RGB彩色图像中的SURF特征点;然后结合RANSAC算法进行初始配准,优化特征点集初始位姿、去除... 提出一种基于离散选取机制的改进特征点ICP算法,并设计了基于该算法的三维地图创建方法.该方法分为3个阶段,首先提取并匹配相机运动过程中采集的RGB彩色图像中的SURF特征点;然后结合RANSAC算法进行初始配准,优化特征点集初始位姿、去除误匹配,并结合基于离散选取机制的特征点ICP算法进行精确配准;最后利用g2o图优化算法结合关键帧实现对相机运动轨迹的优化,减少累计误差,并将相机采集到的点云数据根据相机当前位姿构建三维点云地图.经过在5个公开数据集环境下进行实验对比,证明本方法的可行性和有效性,在相机运动长度为15.989m的情况下误差仅为0.059m,且能够准确地创建实验环境的三维地图. 展开更多
关键词 离散选取机制 改进特征点icp算法 RANSAC g2o 关键帧
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面向医疗导航定位系统的点云快速配准方法
17
作者 王运梦 崔龙 +1 位作者 刘钊铭 张峰 《机械设计与制造》 北大核心 2025年第9期96-100,共5页
针对医疗手术过程中的脊骨病变位置难以被医生直接观测出、病人的时间成本极其昂贵等问题,提出一种适合于医疗导航定位系统的快速点云配准方法。首先在粗配准阶段对点云数据进行预处理,包括去除NAN点、体素下采样滤波和3D-SIFT关键点提... 针对医疗手术过程中的脊骨病变位置难以被医生直接观测出、病人的时间成本极其昂贵等问题,提出一种适合于医疗导航定位系统的快速点云配准方法。首先在粗配准阶段对点云数据进行预处理,包括去除NAN点、体素下采样滤波和3D-SIFT关键点提取,然后使用4PCS算法对脊骨外轮廓的CT点云图和手工采集的关键点云数据进行大致配准,最后基于改进后的ICP算法进行精配准。四组融合实验的结果表明,相比于使用4PCS算法、NDT算法和PCA算法分别结合传统ICP算法的配准,所提改进方法的配准误差能够稳定在10以内,时间能够稳定在0.12s内,高效地完成了配准,为后续手术规划提供了较精确的导航定位。 展开更多
关键词 点云配准 医疗导航定位 icp算法 4PCS算法 3D-SIFT关键点提取 NDI
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ICP算法的鲁棒性改进 被引量：5
18
作者 刘繁明 屈昊 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期603-605,635,共4页
提出了对准点集合的一种新方法。该方法采用对准误差通过非线性最优化算法(Levenberg-Marquardt)直接最小化,在速度上可与ICP算法相匹敌,ICP算法是专门用于对准工作的特殊用途的算法。因为程序直接最小化一个能量函数,所以很容易通过Hun... 提出了对准点集合的一种新方法。该方法采用对准误差通过非线性最优化算法(Levenberg-Marquardt)直接最小化,在速度上可与ICP算法相匹敌,ICP算法是专门用于对准工作的特殊用途的算法。因为程序直接最小化一个能量函数,所以很容易通过Hunber核,把它扩充到合并的鲁棒性估计中,产生的收敛区间比现存方法的收敛区间宽很多倍。最后介绍一种基于切面距离变换最小化的数据结构,这种变换产生的算法比以前描述的方法速度快而且鲁棒性强。 展开更多
关键词 icp算法 非线性最优化 点集对准 鲁棒性
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基于线算法的ICP深反应离子刻蚀模型 被引量：3
19
作者 张鉴 何晓雄 +1 位作者 刘成岳 戚昊琛 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期481-485,共5页
电感耦合等离子体(ICP)刻蚀是目前集成电路与微机电系统制造的关键工艺之一。利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP深反应离子刻蚀(Deep-RIE)进行了工艺仿真建模。根据深反应离子刻蚀中Footing效应的实验特征,提出了针对这一现... 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀是目前集成电路与微机电系统制造的关键工艺之一。利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP深反应离子刻蚀(Deep-RIE)进行了工艺仿真建模。根据深反应离子刻蚀中Footing效应的实验特征,提出了针对这一现象的表面描述方程,并借助实验手段确定了该表面描述方程中的参数,从而为模型添加了一种简单有效的Footing效应模拟模块。最后对Deep-RIE和Footing效应刻蚀表面进行模拟,验证了模型的有效性和可用性。 展开更多
关键词 深反应离子刻蚀 icp 线算法 Footing效应 模型
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面向地图点集的多尺度层级ICP算法 被引量：2
20
作者 李策 罗欣颖 杜少毅 《计算机应用与软件》 CSCD 北大核心 2012年第4期83-85,93,共4页
地图点集具有点数多、结构复杂等特点,通常对其配准耗时严重,难以满足自主驾驶等情况下的实时性要求。利用多尺度层级化思想,提出一种多尺度层级ICP算法MSICP(Multi-scale Iterative Closest Points),提高了配准速度和精度。所提算法先... 地图点集具有点数多、结构复杂等特点,通常对其配准耗时严重,难以满足自主驾驶等情况下的实时性要求。利用多尺度层级化思想,提出一种多尺度层级ICP算法MSICP(Multi-scale Iterative Closest Points),提高了配准速度和精度。所提算法先对待配准图像点集进行稀疏化,随后将稀疏点集配准后的转换矩阵作为原稠密点集配准的转换矩阵初始值,最终实现对原始图像点集的ICP快速精确配准。实验结果表明,所提算法的配准速度及精度优于其他ICP算法,具有一定的实用价值。 展开更多
关键词 地图点集 icp算法 多尺度
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