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H_2及H^+对C_xH_(1-x)薄膜表面状态的影响 被引量:29
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作者 吴卫东 罗江山 +7 位作者 黄勇 张占文 许华 郑永铭 陆晓明 唐永建 赵纯培 陈红 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期593-596,共4页
系统研究了 H2 流量和 H+原位处理 Cx H1-x薄膜的时间对 Cx H1-x薄膜的稳定时间、表面悬挂键密度和表面电子局域化程度的影响 ,表明 Cx H1-x薄膜的长时间 H+ 原位处理是减小 Cx H1-x薄膜表面悬挂键密度的有效途径。
关键词 薄膜 icf靶涂层技术 氢分子 氢离子
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