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适用于低流速的恒温式液体流量传感器
被引量：
1
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作者
黄金彪
《传感器技术》
CSCD
1993年第3期34-36,共3页
给出一种能在低流速范围有较高灵敏度的液体流量传感器。在测量水的情形下,当流速为1cm/s时传感器的输出可达30mV,该灵敏度比类似条件下氮气敏感的灵敏度高约一个数量级。该传感器利用维持芯片温度恒定所需的加热功率的变化作为流速的...
给出一种能在低流速范围有较高灵敏度的液体流量传感器。在测量水的情形下,当流速为1cm/s时传感器的输出可达30mV,该灵敏度比类似条件下氮气敏感的灵敏度高约一个数量级。该传感器利用维持芯片温度恒定所需的加热功率的变化作为流速的量度。它由标准的铝栅CMOS工艺制成。
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关键词
高灵敏度
液体流量传感器
低流速
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职称材料
题名
适用于低流速的恒温式液体流量传感器
被引量：
1
1
作者
黄金彪
机构
东南大学
出处
《传感器技术》
CSCD
1993年第3期34-36,共3页
基金
国家自然科学基金
文摘
给出一种能在低流速范围有较高灵敏度的液体流量传感器。在测量水的情形下,当流速为1cm/s时传感器的输出可达30mV,该灵敏度比类似条件下氮气敏感的灵敏度高约一个数量级。该传感器利用维持芯片温度恒定所需的加热功率的变化作为流速的量度。它由标准的铝栅CMOS工艺制成。
关键词
高灵敏度
液体流量传感器
低流速
Keywords
high sensitivity liquid flow sensor low velocity
分类号
TH814 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
适用于低流速的恒温式液体流量传感器
黄金彪
《传感器技术》
CSCD
1993
1
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