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题名多电极静电拉伸薄膜反射镜的光学检测
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作者
钟兴
金光
张鹏
张元
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期282-286,共5页
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基金
国家863计划项目(2007AA12Z113)
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文摘
利用研制的Φ300 mm口径多电极薄膜反射镜原理样机,开展了光学检测实验工作。利用高斯光学原理对薄膜反射镜的基本光学参数进行了检测,获得了随电压变化的薄膜反射镜曲率半径和最大变形值曲线,趋势与理论计算结果一致。对薄膜反射镜的面形特性和面形检测方法进行了分析,采用激光干涉仪测试了无电压时中心区域的平面面形,RMS值为1.03λ(λ=632.8nm)。为检验薄膜反射镜的曲面面形,搭建了Hartmann光栏法测试光路并结合Zernike多项式拟合处理方法,对使用非均布电压优化前后的曲面的低频面形进行了测试,面形误差RMS值从24.1μm减小为14.7μm,证明相对于单电极方案,多电极非均压对静电拉伸薄膜反射镜的面形有明显的优化作用。本文使用的检测方法和结论可为相关领域的研究提供参考。
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关键词
多电极
静电拉伸
薄膜反射镜
hartmann光栏法
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Keywords
multi-electrode
electrostatic stretch
membrane mirror
hartmann testing
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
O484.4
[理学—固体物理]
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