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HfO_2/SiO_2高反射膜的缺陷及其激光损伤被引量：21: 1; 作者胡建平陈梅 +1 位作者付雄鹰柴林《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期529-532,共4页; 用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器 ,对高损伤阈值薄膜常采用的 Hf O2 /Si O2 薄膜进行了表面显微图象研究 ,分析了薄膜常见的表面缺陷 ,如节瘤 ,孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明 ,不同缺陷的抗激光损伤能力... 展开更多; 关键词 hfo2/sio2高反射薄膜表面缺陷激光损伤原子电子显微镜 SEM 显微分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅被引量：4: 2; 作者谢永军赵福华 +2 位作者魏伟赵小侠赵卫《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期133-135,共3页; 采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采... 展开更多; 关键词信息光学 hfo2/sio2溶胶-凝胶光栅光敏; 在线阅读下载PDF 职称材料

HfO_2/SiO_2多层高反膜脉冲YAG激光预处理机理的研究被引量：2: 3; 作者周业为谢建 +1 位作者李育德曾传相《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期13-13,16,共2页; 本文研究了HfO2 /SiO2 多层高反膜脉冲YAG激光预处理提高抗激光损伤阈值的机理。通过分析和计算 ,我们提出了一种物理模型 ,即热扩散模型。由于扩散结果 ,导致HfO2 膜层的折射率增加 ,致使HfO2 、SiO2 膜层交界处光驻波波峰降低。; 关键词 hfo2/sio2 多层高反膜激光预处理 YAG激光; 在线阅读下载PDF 职称材料

具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究被引量：2: 4; 作者赵福华谢永军 +2 位作者许素莲刘刚付绍军《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1376-1379,共4页; 采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,... 展开更多; 关键词 hfo2/sio2 溶胶-凝胶辐射聚合光栅; 在线阅读下载PDF 职称材料

基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性被引量：2: 5; 作者张艳云马彬 +2 位作者马宏平焦宏飞程鑫彬《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2275-2280,共6页; 以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分... 展开更多; 关键词 hfo2 sio2高反射薄膜分层剥落损伤生长激光损伤阈值横向尺寸; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法被引量：3: 6; 作者刘华松傅翾 +7 位作者季一勤张锋陈德应姜玉刚刘丹丹王利栓冷健庄克文《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第7期2192-2197,共6页; 采用正交试验设计方法,系统研究了离子束溅射HfO2、Ta2O5和SiO2薄膜的沉积速率与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。采用正交表L9(34)设计了9组实验,采用时间监控的离子束溅射沉积方法,分别制备HfO2、Ta2O... 展开更多; 关键词离子束溅射 hfo2薄膜 Ta2O5薄膜 sio2薄膜沉积速率; 在线阅读下载PDF 职称材料

预处理效应对1064nm反射膜本征损伤性能的影响被引量：5: 7; 作者詹光达马彬 +1 位作者张艳云马宏平《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第6期1715-1721,共7页; 激光预处理技术能够有效提升光学元件的激光损伤阈值。以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了单一能量密度梯度和多能量密度梯度的N-on-l、R-on-l和光栅扫描激光预处理技术对薄膜本征损伤性能的影响,并采用1-on-1... 展开更多; 关键词 hfo2 sio2高反射薄膜激光预处理本征损伤损伤阈值 1-on-1; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名HfO_2/SiO_2高反射膜的缺陷及其激光损伤被引量：21: 1; 作者胡建平陈梅付雄鹰柴林; 机构成都精密光学工程研究中心; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期529-532,共4页; 基金国家 8 63惯性约束聚变领域资助课题 (863 -4 16-2 ); 文摘用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器 ,对高损伤阈值薄膜常采用的 Hf O2 /Si O2 薄膜进行了表面显微图象研究 ,分析了薄膜常见的表面缺陷 ,如节瘤 ,孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明 ,不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同 ,节瘤缺陷最低 ,约为 1 5 J/ cm2 ,薄膜的损伤阈值主要由其决定 ,孔洞的激光损伤能力与节瘤相比较高 ,约为节瘤的 2～ 3倍。节瘤缺陷在低能量密度的激光损伤所形成的孔洞 ,与镀制过程中形成的孔洞形貌相似 ,激光再损伤能力也相似。; 关键词 hfo2/sio2高反射薄膜表面缺陷激光损伤原子电子显微镜 SEM 显微分析; Keywords Defects Reflective coatings; 分类号 O484.5 [理学—固体物理] TB383.03 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅被引量：4: 2; 作者谢永军赵福华魏伟赵小侠赵卫; 机构中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期133-135,共3页; 基金国家自然科学基金(10402039 10272098) 中科院创新基金(0651201ZZ0)资助; 文摘采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅.; 关键词信息光学 hfo2/sio2溶胶-凝胶光栅光敏; Keywords Information optics hfo2/sio2 sol-gel Grating Photosensitive; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名HfO_2/SiO_2多层高反膜脉冲YAG激光预处理机理的研究被引量：2: 3; 作者周业为谢建李育德曾传相; 机构四川大学光电系; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期13-13,16,共2页; 基金中国工程物理研究院科学技术基金; 文摘本文研究了HfO2 /SiO2 多层高反膜脉冲YAG激光预处理提高抗激光损伤阈值的机理。通过分析和计算 ,我们提出了一种物理模型 ,即热扩散模型。由于扩散结果 ,导致HfO2 膜层的折射率增加 ,致使HfO2 、SiO2 膜层交界处光驻波波峰降低。; 关键词 hfo2/sio2 多层高反膜激光预处理 YAG激光; Keywords hfo_2/sio_2 multilayer high reflective coating,laser conditioning,mechanism,heat diffusion,damage threshold; 分类号 TN248.401 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究被引量：2: 4; 作者赵福华谢永军许素莲刘刚付绍军; 机构中国科技大学国家同步辐射实验室长春理工大学材料与化工学院; 出处《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1376-1379,共4页; 基金国家自然科学基金(批准号:10402039和10272098)资助; 文摘采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了H f元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入H fO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力.; 关键词 hfo2/sio2 溶胶-凝胶辐射聚合光栅; Keywords hfo2/sio2 Sol-gel Radiation polymerization Grating; 分类号 O631 [理学—高分子化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性被引量：2: 5; 作者张艳云马彬马宏平焦宏飞程鑫彬; 机构同济大学精密光学工程技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2275-2280,共6页; 基金国家自然科学基金项目(61008030) 上海市晨光计划项目(10CG19) 教育部博士点基金项目(20100072120037); 文摘以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分段线性增长,破斑沿纵向拓展的损伤生长阈值是沿横向拓展的损伤生长阈值的2倍以上,初始损伤结构横向尺寸的生长率与能量密度呈指数关系,且生长阈值随着辐照次数的增加显著降低。; 关键词 hfo2 sio2高反射薄膜分层剥落损伤生长激光损伤阈值横向尺寸; Keywords hfo2/sio2 high reflection film delamination damage growth laser induced damage threshold horizontal size; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法被引量：3: 6; 作者刘华松傅翾季一勤张锋陈德应姜玉刚刘丹丹王利栓冷健庄克文; 机构天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室哈尔滨工业大学光电子技术研究所二炮驻天津地区军事代表室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第7期2192-2197,共6页; 基金国家自然科学重点基金(61235011) 国家重大科学仪器与设备专项(2012YQ040164) +2 种基金 12JCQNIC01200 13JCYBJC17300); 文摘采用正交试验设计方法,系统研究了离子束溅射HfO2、Ta2O5和SiO2薄膜的沉积速率与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。采用正交表L9(34)设计了9组实验,采用时间监控的离子束溅射沉积方法,分别制备HfO2、Ta2O5和SiO2薄膜,并对三种薄膜的27个样品采用椭圆偏振法测量并计算物理厚度,继而获得沉积速率。实验结果表明:对Ta2O5和SiO2薄膜沉积速率影响的工艺参数相同,影响权重从大到小依次为离子束流、离子束压、氧气流量和基板温度;对HfO2薄膜沉积速率影响的工艺参数按权重从大到小依次为离子束流、离子束压、基板温度和氧气流量。研究结果为调整HfO2、Ta2O5和SiO2薄膜沉积速率提供了依据。; 关键词离子束溅射 hfo2薄膜 Ta2O5薄膜 sio2薄膜沉积速率; Keywords ion beam sputtering hfo2 thin film Ta2O5 thin film sio2 thin film deposition rate; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名预处理效应对1064nm反射膜本征损伤性能的影响被引量：5: 7; 作者詹光达马彬张艳云马宏平; 机构同济大学精密光学工程技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第6期1715-1721,共7页; 基金国家自然科学基金(61205124 11105099); 文摘激光预处理技术能够有效提升光学元件的激光损伤阈值。以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了单一能量密度梯度和多能量密度梯度的N-on-l、R-on-l和光栅扫描激光预处理技术对薄膜本征损伤性能的影响,并采用1-on-1测量方法对不同预处理技术的预处理效果进行了对比分析。实验结果表明:1-on-1测量曲线中的损伤几率数据、拟合直线参数以及损伤阈值的相对不确定度能够比较全面地反映测量结果的重复性;N-on-1方式下多能量密度梯度的预处理效果要优于单一能量密度梯度,但多梯度之间以及单一梯度之间的效果差异并不明显;当薄膜的零几率损伤阈值难以继续提升时,继续增加能量密度梯度将仅能改善薄膜非零损伤几率的性能。; 关键词 hfo2 sio2高反射薄膜激光预处理本征损伤损伤阈值 1-on-1; Keywords hfo2/sio2 high reflection film laser conditioning intrinsic damage property damage threshold 1-on-1; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	HfO_2/SiO_2高反射膜的缺陷及其激光损伤	胡建平陈梅付雄鹰柴林	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	21	在线阅读下载PDF 职称材料
2	采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅	谢永军赵福华魏伟赵小侠赵卫	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	HfO_2/SiO_2多层高反膜脉冲YAG激光预处理机理的研究	周业为谢建李育德曾传相	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2000	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究	赵福华谢永军许素莲刘刚付绍军	《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性	张艳云马彬马宏平焦宏飞程鑫彬	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法	刘华松傅翾季一勤张锋陈德应姜玉刚刘丹丹王利栓冷健庄克文	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2014	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	预处理效应对1064nm反射膜本征损伤性能的影响	詹光达马彬张艳云马宏平	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2014	5	在线阅读下载PDF 职称材料