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Development of high-aspect-ratio microchannel heat exchanger based on multi-tool milling process 被引量:2
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作者 潘敏强 李金恒 汤勇 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2008年第S2期228-234,共7页
A high-aspect-ratio microchannel heat exchanger based on multi-tool milling process was developed. Several slotting cutters were stacked together for simultaneously machining several high-aspect-ratio microchannels wi... A high-aspect-ratio microchannel heat exchanger based on multi-tool milling process was developed. Several slotting cutters were stacked together for simultaneously machining several high-aspect-ratio microchannels with manifold structures. On the basis of multi-tool milling process, the structural design of the manifold side height, microchannel length, width, number, and interval were analyzed. The heat transfer performances of high-aspect-ratio microchannel heat exchangers with two different manifolds were investigated by experiments, and the influencing factors were analyzed. The results indicate that the magnitude of heat transfer area per unit volume dominates the heat transfer performances of plate-type micro heat exchanger, while the velocity distribution between microchannels has little effects on the heat transfer performances. 展开更多
关键词 high-aspect-ratio microchannel multi-tool milling PLATE-TYPE HEAT EXCHANGER HEAT transfer velocity distribution
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高温高黏度暂堵剂液滴形态与成型效率
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作者 华剑 余泽坤 +1 位作者 李晓鹏 谭欢 《科学技术与工程》 北大核心 2025年第5期1904-1912,共9页
为解决高温高黏度暂堵剂生产中液滴断裂时间过长和液滴长径比过大的问题,采用理论计算得到暂堵剂液滴成型的最小速度为0.2039 m/s,并推导出其最优扰动周期的计算公式,通过数值模拟方法分析暂堵剂液滴成型过程,探究在无扰动和外加方波扰... 为解决高温高黏度暂堵剂生产中液滴断裂时间过长和液滴长径比过大的问题,采用理论计算得到暂堵剂液滴成型的最小速度为0.2039 m/s,并推导出其最优扰动周期的计算公式,通过数值模拟方法分析暂堵剂液滴成型过程,探究在无扰动和外加方波扰动作用下的液滴成型流场的变化情况。模拟结果表明:无扰动时的射流在300 mm内难以断裂形成液滴,射流温度在0.5 s内基本不变,射流速度增长到初始速度的2.13倍;在外加方波扰动时,扰动周期过短不利于液滴均匀成型,扰动周期过长会导致液柱在断裂前过度拉长,在扰动周期为0.11 s左右时液滴成型效率最高,其断裂频率稳定在0.11 s,最终液滴长径比稳定在2左右。研究结果为高黏度暂堵剂液滴成型的工艺参数选取提供一定依据。 展开更多
关键词 高温高黏度 液滴成型 扰动周期 断裂时间 长径比
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大深径比小孔激光与管电极电解同步复合加工技术
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作者 王玉峰 杨勇 +1 位作者 刘云峰 张文武 《航空制造技术》 北大核心 2025年第1期64-72,共9页
针对难加工材料大深径比小孔低损伤高效精密加工难题,提出了激光与管电极电解同步复合加工方法(Laser-STEM)。利用内全反射效应将激光高效传导至大深度加工区,通过中心激光加工和边缘电解加工同步进行,实现大深径比小孔高表面质量、高... 针对难加工材料大深径比小孔低损伤高效精密加工难题,提出了激光与管电极电解同步复合加工方法(Laser-STEM)。利用内全反射效应将激光高效传导至大深度加工区,通过中心激光加工和边缘电解加工同步进行,实现大深径比小孔高表面质量、高效率精密加工。研究了激光与复合工具电极的耦合方法及机理,实现激光高效率稳定传导。通过观测Laser-STEM复合加工过程中试验现象和加工间隙演化,结合加工轮廓检测,证明了小孔高效精密成形的可行性。建立了复合加工电流信号变化与加工状态的映射关系。在钛合金、高温合金上高效加工出直径1.25 mm,深径比达125∶1,无再铸层、无微裂纹的小孔。所提出的复合加工方法可用于航空发动机和燃气轮机关键部件高表面质量、大深径比微小孔的高效精密加工。 展开更多
关键词 激光加工 电解加工 复合加工 大深径比小孔 低损伤深小孔
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分布式多旋翼/倾转机翼气弹耦合动特性研究
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作者 程毅 赵金瑞 +2 位作者 黄水林 余智豪 邓旭东 《北京航空航天大学学报》 北大核心 2025年第5期1637-1650,共14页
基于准线性化隐式气弹建模方法,建立适用于分布式多旋翼/倾转机翼飞行器的耦合柔性多体动力学模型,研究其气弹耦合动力学特性。基于中等变形梁模型和准定常理论,采用Pitt-Peters动态入流模型和Floquet理论,建立求解多旋翼/大展弦比柔性... 基于准线性化隐式气弹建模方法,建立适用于分布式多旋翼/倾转机翼飞行器的耦合柔性多体动力学模型,研究其气弹耦合动力学特性。基于中等变形梁模型和准定常理论,采用Pitt-Peters动态入流模型和Floquet理论,建立求解多旋翼/大展弦比柔性倾转机翼气弹耦合系统动特性的计算方法。在验证理论模型正确性的基础上,研究分布式多旋翼/倾转机翼耦合系结构动特性、回转颤振特性和气弹耦合动响应特性。结果表明:旋翼和短舱对机翼扭转模态影响最大,旋翼与机翼耦合情况下会加大旋翼整体模态振型;增加旋翼个数并将升力桨展开可提高系统低速状态下的稳定性,但增加旋翼个数会降低机翼扭转频率,进而降低颤振速度,增加旋翼有效迎角和机翼攻角可提高系统颤振速度,而增加旋翼转速则会降低系统颤振速度;随前飞速度增加,系统先发生机翼扭转失稳后发生机翼弦向弯曲失稳的回转颤振现象,系统振动响应经历了振动收敛、小幅极限环颤振和大幅多频极限环颤振,其中,机翼颤振形式是垂向、弦向弯曲和扭转运动耦合,其三维耦合效应显著,而旋翼与机翼的模态耦合程度也在不断加深。 展开更多
关键词 分布式推进 柔性多体 气弹动特性 大展弦比 回转颤振
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欠过补偿离焦误差对显微干涉测量高深宽比结构深度的影响
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作者 刘秋言 高志山 +4 位作者 鲍帅 乔文佑 霍霄 袁群 郭珍艳 《光子学报》 北大核心 2025年第6期21-32,共12页
在主动补偿型显微干涉技术测量硅基高深宽比结构时,当物镜焦面与沟槽底部未重合,由于变形镜被施加了欠补偿或过补偿的离焦量,尽管可以得到清晰的底部成像,但物镜焦面偏离沟槽底部,导致干涉信号包络偏移,进而影响深度及其他关键形貌参数... 在主动补偿型显微干涉技术测量硅基高深宽比结构时,当物镜焦面与沟槽底部未重合,由于变形镜被施加了欠补偿或过补偿的离焦量,尽管可以得到清晰的底部成像,但物镜焦面偏离沟槽底部,导致干涉信号包络偏移,进而影响深度及其他关键形貌参数的测量精度。为此,本研究基于时域有限差分法与角谱衍射理论构建了三维点扩散函数模型,并利用该模型设计逆滤波器以模拟变形镜的像差补偿过程。通过仿真定量分析了欠补偿和过补偿离焦误差对深度测量的影响,提出了离焦像差补偿的容差判据。随后,通过主动补偿型近红外显微干涉系统进行了实验,以验证仿真提出的容差判据在实际测量中的有效性,并明确离焦误差对测量精度的影响。结果表明,当离焦误差小于±3λ时,深度测量的相对误差低于1%,对测量结果的影响可忽略。 展开更多
关键词 近红外显微干涉 深度测量 三维点扩散函数 高深宽比结构 离焦补偿
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基于近远场结合的微结构调制像差仿真
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作者 鲍帅 高志山 +5 位作者 霍霄 刘秋言 乔文佑 杨文卓 袁群 郭珍艳 《光学精密工程》 北大核心 2025年第5期716-727,共12页
基于光学成像原理的低相干显微干涉能够有效重建微结构表面的三维形貌,然而在测量高深宽比结构底部形貌的过程中探测光会受到结构调制产生波前畸变,导致测量失败。通过仿真计算能够得到微结构的像差调制规律,为其像差校正和补偿提供先... 基于光学成像原理的低相干显微干涉能够有效重建微结构表面的三维形貌,然而在测量高深宽比结构底部形貌的过程中探测光会受到结构调制产生波前畸变,导致测量失败。通过仿真计算能够得到微结构的像差调制规律,为其像差校正和补偿提供先验值。基于矢量衍射的电磁仿真方法能够准确地描述高深宽比微结构带来的复杂非线性调制,但此类方法数据量大、计算效率低,难以建立有效的三维仿真模型。针对该问题,提出一种近远场结合的像差仿真方法,以提高仿真的计算效率。采用基于全波模拟的时域有限差分法计算三维仿真中高深宽比微结构对探测光场的调制过程,得到经微结构调制后的探测光的近场分布,再通过带限缩放角谱法将探测光的近场分布传递至远场,实现调制像差的计算。通过实验装置测量了不同样品的调制像差验证了本文方法的准确性,同时仿真结果表明,在同等仿真精度下本文所提方法使计算速度提高了1倍以上。 展开更多
关键词 低相干显微干涉 样品调制像差 时域有限差分 带限缩放角谱 高深宽比微结构
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高长径比生物质圆柱颗粒阻力模型的直接数值模拟研究
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作者 汪靖良 江茂强 +4 位作者 方庆艳 马仑 马启磊 彭志福 殷春根 《中国电机工程学报》 北大核心 2025年第11期4372-4382,I0021,共12页
生物质颗粒常用于煤粉锅炉掺烧发电,颗粒呈现为大粒径和长圆柱体的特点,目前缺乏这类颗粒相关的阻力模型。该文针对常用生物质秸秆颗粒(长径比为L/D=9:1的长圆柱体),采用开源计算流体力学软件OpenFOAM对固定颗粒绕流特性及阻力模型开展... 生物质颗粒常用于煤粉锅炉掺烧发电,颗粒呈现为大粒径和长圆柱体的特点,目前缺乏这类颗粒相关的阻力模型。该文针对常用生物质秸秆颗粒(长径比为L/D=9:1的长圆柱体),采用开源计算流体力学软件OpenFOAM对固定颗粒绕流特性及阻力模型开展直接数值模拟研究,在较宽雷诺数(10≤Re≤800)和入射角(0°≤θ≤90°)范围内,拟合阻力系数(C_(D))的新关联式。结果表明:1)在雷诺数范围为(500≤Re≤800)及入射角度θ≤15°时,圆柱绕流呈现不稳定状态。圆柱体投影面积在θ=15°达到最大后开始减少,而入射角的变化,导致背风面形成较小的回流区,从而减小颗粒表面上的压力差,C_(D)随入射角的增大而减少。而雷诺数的增加同样使得压差阻力变小,因此C_(D)呈现递减趋势;2)对于长圆柱体颗粒,Hölzer和Sommerfeld的一般关联式在0°<θ<90°中间角度的阻力系数估计过高,其程度随着雷诺数的增加而加剧;3)新拟合阻力关联式与原始数据平均相对误差为1.8%,均方误差(mean squared error,MSE)为6.7×10^(-2),为长圆柱体生物质大颗粒气固两相动力学提供更精确的阻力模型。 展开更多
关键词 圆柱体颗粒 高长径比 生物质 阻力系数 数值模拟
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碳化硅晶须对超高性能混凝土力学性能的影响
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作者 牛旭婧 郭晨怡 +3 位作者 吴家奕 张佳豪 朋改非 丁宏 《材料导报》 北大核心 2025年第15期116-123,共8页
研究了碳化硅晶须(Silicon carbide whiskers, SiCw)对超高性能混凝土(Ultra-high performance concrete, UHPC)力学性能的影响,并通过X射线衍射分析、扫描电子显微镜和压汞法对掺加碳化硅晶须后UHPC的微观结构进行了测定。结果表明:碳... 研究了碳化硅晶须(Silicon carbide whiskers, SiCw)对超高性能混凝土(Ultra-high performance concrete, UHPC)力学性能的影响,并通过X射线衍射分析、扫描电子显微镜和压汞法对掺加碳化硅晶须后UHPC的微观结构进行了测定。结果表明:碳化硅晶须不利于基体早期(8 h内)力学性能的提高,但对其后期力学性能具有显著提升作用。这主要是由于:晶须外表面的SiO_(2)保护膜早龄期时吸附溶液中的Ca^(2+),在一定程度上延缓了水泥水化的进行;而随着龄期的延长,晶须的成核效应、填充效应和桥接阻裂作用有效发挥,同时,晶须外表面的SiO_(2)保护膜还会与水泥水化生成的氢氧化钙晶体发生反应,促使更多额外C-(A)-S-H凝胶的生成。此外,较大的长径比使得SiCw与UHPC基体的接触面积增加,二者间界面粘结力更强,导致晶须拔出过程中消耗能量更多,因此更有利于UHPC力学性能的提高。但过高掺量的晶须难以均匀分散,容易团聚于UHPC基体中并形成缺陷,进而对混凝土的力学性能产生不利影响,试验以掺量0.15%时效果最佳。 展开更多
关键词 超高性能混凝土 碳化硅晶须 长径比 力学性能 微观结构
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混杂复合材料大展弦比机翼结构特性研究
9
作者 周杨 王军利 +2 位作者 李金洋 张升 王佳欢 《复合材料科学与工程》 北大核心 2025年第6期101-108,共8页
碳/玻混杂纤维复合材料的应用使机翼的可设计性大幅提升,在满足强度要求的情况下,在基体中编入一定比例的玻璃纤维可有效提高机翼热稳定性、隔热与绝缘性能。基于有限元软件Nastran对混杂纤维复合材料大展弦比机翼结构特性进行研究,讨... 碳/玻混杂纤维复合材料的应用使机翼的可设计性大幅提升,在满足强度要求的情况下,在基体中编入一定比例的玻璃纤维可有效提高机翼热稳定性、隔热与绝缘性能。基于有限元软件Nastran对混杂纤维复合材料大展弦比机翼结构特性进行研究,讨论铺层混杂方式与混杂比例对混杂纤维复合材料大展弦比机翼模态特性、最大变形量、应力、应变与屈曲特性的影响。结果表明:混杂纤维复合材料的混杂方式与混杂比例对大展弦比机翼的结构特性均有影响,随着碳纤维铺层体积分数逐渐增大,机翼的结构性能也逐渐提升。机翼屈曲易发生于机翼翼根靠近后缘处的蒙皮,对起主承载作用的前梁或仅对易屈曲区域进行铺层优化设计均可以提高机翼的临界屈曲载荷,但前梁铺层优化设计还能大幅提高机翼整体结构承载能力,减小机翼最大变形量。 展开更多
关键词 混杂纤维复合材料 铺层设计 大展弦比机翼 结构特性 屈曲
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白云石精制液可控制备高长径比碳酸钙晶须的研究
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作者 于丰 郑强 +4 位作者 齐婷玉 张郁柏 马亚丽 贾松岩 李雪 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第5期898-908,共11页
以高浓度的白云石精制液为原料,采用碳化法制备高长径比文石型碳酸钙晶须。采用XRD、SEM、TEM等对碳酸钙晶须样品进行表征,主要考察碳化温度、搅拌速率、CO_(2)通气速率、陈化时间对碳酸钙分散程度和长径比的影响。研究结果表明,制备碳... 以高浓度的白云石精制液为原料,采用碳化法制备高长径比文石型碳酸钙晶须。采用XRD、SEM、TEM等对碳酸钙晶须样品进行表征,主要考察碳化温度、搅拌速率、CO_(2)通气速率、陈化时间对碳酸钙分散程度和长径比的影响。研究结果表明,制备碳酸钙晶须的最佳工艺条件为:碳化温度为80℃,CO_(2)通气速率为25 mL/min,搅拌速率为200 r/min,陈化时间为1 h。在此条件下,可以得到产率为95%、晶须长径比为30~35、晶须含量为99.7%、白度为99.9%且分布均匀的晶须状碳酸钙。并对碳酸钙生长机理进行了分析,结果表明,碳化过程中Mg^(2+)抑制方解石型碳酸钙生长,促进文石型碳酸钙生长,并沿着(120)晶面方向优先生长。 展开更多
关键词 白云石 碳酸钙晶须 碳化法 高长径比 晶体生长
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不同类型、长径比碳纳米管改性PDMS柔性复合材料
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作者 花蕾 《塑料》 北大核心 2025年第3期1-6,11,共7页
为研究不同类型、长径比的碳纳米管(CNTs)对PDMS基柔性材料电学与力学性能的影响,采用溶液共混法制备多壁羧基化长碳纳米管(L-CNTs)、多壁羧基化短碳纳米管(S-CNTs)、超高纯单壁碳纳米管(US-CNTs)与聚二甲基硅氧烷硅橡胶(PDMS)系列柔性... 为研究不同类型、长径比的碳纳米管(CNTs)对PDMS基柔性材料电学与力学性能的影响,采用溶液共混法制备多壁羧基化长碳纳米管(L-CNTs)、多壁羧基化短碳纳米管(S-CNTs)、超高纯单壁碳纳米管(US-CNTs)与聚二甲基硅氧烷硅橡胶(PDMS)系列柔性复合材料,并对其力学、电学性能进行研究。结果表明,单掺情况下,与US-CNTS-PDMS-01表面、体积电阻率相比,当US-CNTs的掺入量达到5%时,柔性材料的表面、体积电阻分别降低了3、5个数量级。当S-CNTs掺入量为1%时,柔性材料模量增大至4.89 MPa,与纯PDMS相比,增幅达到17.5%。复掺情况下,当PDMS基体中CNTs总掺入为5%,S-CNTs与L-CNTs掺入比为2:3或者3:2时,柔性材料的表面、体积电阻率较小,电学性能最优。对力学性能而言,复掺体系中含有S-CNTs的样品模量增强较显著,含有US-CNTs的复掺柔性材料具有较好的断裂伸长率。 展开更多
关键词 长、短多壁碳纳米管 超高纯单壁碳纳米管 聚二甲基硅氧烷硅橡胶 长径比 电学性能 力学性能
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大展弦比混杂纤维复合材料机翼的强度及失效分析 被引量:1
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作者 张升 刘菊蓉 +3 位作者 杨哲 王军利 王康杰 王佳欢 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期113-120,共8页
以大展弦比机翼为研究对象,基于经典层合板理论和Tsai-Wu失效准则,考虑几何非线性效应,用流固耦合数值模拟方法,重点研究碳/玻纤维混杂比、铺层相对位置、铺层角度对机翼强度及失效特性的影响。研究表明:碳/玻纤维混杂比=8∶2为最佳纤... 以大展弦比机翼为研究对象,基于经典层合板理论和Tsai-Wu失效准则,考虑几何非线性效应,用流固耦合数值模拟方法,重点研究碳/玻纤维混杂比、铺层相对位置、铺层角度对机翼强度及失效特性的影响。研究表明:碳/玻纤维混杂比=8∶2为最佳纤维混杂比,机翼可兼顾高强度、低成本;玻璃纤维铺设在蒙皮对称中面位置时,机翼的强度及安全性更高,玻璃纤维铺设位置的变化不会对机翼的弹性变形产生显著影响;在不同混杂比下,以±45°铺层角度铺设的机翼整体力学性能更稳定,失效概率更低。 展开更多
关键词 大展弦比 几何非线性 碳/玻纤维 混杂复合材料 失效分析
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大展弦比飞行器变形辅助高度控制策略 被引量:1
13
作者 佘挽强 刘燕斌 陈柏屹 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1746-1752,共7页
针对变形飞行器结构/飞行耦合动力学的飞行控制问题,以大展弦比飞行器为研究对象开展了变形辅助高度控制策略研究。采用单元翼多体假设,构建了大展弦比飞行器二面角变形结构,建立了结构/飞行纵向耦合动力学模型,基于线性二次型(LQR)控... 针对变形飞行器结构/飞行耦合动力学的飞行控制问题,以大展弦比飞行器为研究对象开展了变形辅助高度控制策略研究。采用单元翼多体假设,构建了大展弦比飞行器二面角变形结构,建立了结构/飞行纵向耦合动力学模型,基于线性二次型(LQR)控制器设计方法设计了主动变形(AM)和被动变形(PM) 2种控制策略。其中,被动变形控制策略仅采用升降舵作为控制输入,结构二面角动态行为由耦合动力学驱动;主动变形控制策略以二面角铰链处的扭矩作为额外输入对高度跟踪进行协调控制。仿真分析了2种控制策略下的高度跟踪效果及状态变化,研究结果表明:采用主动变形控制策略可有效改善高度跟踪暂态过程的性能,降低姿态回路的阻尼特性,为未来先进变形飞行器的结构/飞行一体化控制提供研究基础。 展开更多
关键词 大展弦比机翼 飞行动力学 高度控制 控制系统分析 变结构控制
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氨硼烷制备的高宽厚比氮化硼纳米片及其形成机理
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作者 宋曲之 王兵 +2 位作者 杜贻昂 吴爽 王应德 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期176-182,共7页
受限于商业氮化硼(BN)晶体尺寸及BN独特的层间相互作用,传统的剥离法难以实现高宽厚比(>5000)氮化硼纳米片(BNNSs)的制备。以氨硼烷为前驱体,经烧结和分离得到了高宽厚比的BNNSs。通过FTIR,TG,TEM,XRD等手段对BNNSs的组成结构及形成... 受限于商业氮化硼(BN)晶体尺寸及BN独特的层间相互作用,传统的剥离法难以实现高宽厚比(>5000)氮化硼纳米片(BNNSs)的制备。以氨硼烷为前驱体,经烧结和分离得到了高宽厚比的BNNSs。通过FTIR,TG,TEM,XRD等手段对BNNSs的组成结构及形成机理进行表征。结果表明:当温度超过80℃时,氨硼烷之间开始交联脱氢,氢气释放使得在交联过程中形成泡沫结构,并最终在1000℃完成无机化,得到含有BNNSs的BN泡沫,其中的膜结构即为BNNSs。所制备的BNNSs为六方晶型结构,厚度约为1.5 nm,宽度约30μm,宽厚比达到20000。将高宽厚比的BNNSs与聚乙烯醇(PVA)复合制备成复合膜,其导热及力学性能相较于小宽厚比BNNSs所制备的复合膜有显著提升,充分说明了高宽厚比BNNSs在BN基复合材料领域的应用优势。 展开更多
关键词 氨硼烷 氮化硼纳米片 高宽厚比 热导率
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面向初步设计的一种高效静气动弹性分析方法
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作者 赵冉 陶杨 +3 位作者 张峻鸣 蒋盼盼 王国良 谷迎松 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2024年第5期891-896,共6页
大展弦比柔性机翼在气动载荷作用下会发生弹性变形从而引起气动特性变化,因此在初步设计阶段,希望使用一种高效分析方法研究静气动弹性平衡下机翼气动载荷的重新分布情况。本文提供了一种求解静气动弹性变形和对应气动载荷的高效方法,... 大展弦比柔性机翼在气动载荷作用下会发生弹性变形从而引起气动特性变化,因此在初步设计阶段,希望使用一种高效分析方法研究静气动弹性平衡下机翼气动载荷的重新分布情况。本文提供了一种求解静气动弹性变形和对应气动载荷的高效方法,即采取松耦合策略,假设攻角不变,将未变形状态的载荷加载到结构上,计算出结构变形,再由变形后的气动外形计算气动载荷分布,反复迭代至变形/载荷收敛,得到机翼最终气动弹性载荷分布情况和气动特性。采用大展弦比弹性模型飞机算例表明了该方法的可行性。 展开更多
关键词 初步设计 大展弦比 静气动弹性 松耦合 载荷
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国外高深宽比微细结构制造技术的发展 被引量:13
16
作者 徐惠宇 朱荻 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第12期4-6,13,共4页
介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学... 介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学沉积、立体光固化微加工、微细电解加工等一些新发展的高深宽比微细结构技术。 展开更多
关键词 高深宽比 微细结构 光刻 电铸和模铸 准LIGA 深层反应离子刻蚀
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硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究 被引量:41
17
作者 王阳元 武国英 +5 位作者 郝一龙 张大成 肖志雄 李婷 张国炳 张锦文 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1577-1584,共8页
本文论述了硅基MEMS标准工艺 ,其中包括三套体硅标准工艺和一套表面牺牲层标准工艺 .深入地研究了体硅工艺和表面牺牲层工艺中的关键技术 .体硅工艺主要进行了以下研究 :硅 /硅键合、硅 /镍 /硅键合、硅 /玻璃键合工艺及其优化 ;研究了... 本文论述了硅基MEMS标准工艺 ,其中包括三套体硅标准工艺和一套表面牺牲层标准工艺 .深入地研究了体硅工艺和表面牺牲层工艺中的关键技术 .体硅工艺主要进行了以下研究 :硅 /硅键合、硅 /镍 /硅键合、硅 /玻璃键合工艺及其优化 ;研究了高深宽比刻蚀工艺、优化了工艺条件 ;解决了高深宽比刻蚀中的Lag效应 ;开发了复合掩膜高深宽比多层硅台阶刻蚀和单一材料掩膜高深宽比多层硅台阶刻蚀工艺研究 .表面牺牲层工艺主要进行了下列研究 :多晶硅薄膜应力控制工艺 ; 展开更多
关键词 硅基 MEMS标准工艺 高深宽比刻蚀 键合 多晶硅 应力 防粘附 微机电系统 半导体
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SU-8胶光刻工艺研究 被引量:48
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作者 张立国 陈迪 +1 位作者 杨帆 李以贵 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第3期266-270,共5页
SU - 8胶是一种基于环氧SU - 8树脂的环氧型的、近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。但是SU - 8胶对工艺参数的改变非常敏感。本文对影响光刻后图形质量的主要工艺参数前烘温度和时间、中烘温度和时间... SU - 8胶是一种基于环氧SU - 8树脂的环氧型的、近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。但是SU - 8胶对工艺参数的改变非常敏感。本文对影响光刻后图形质量的主要工艺参数前烘温度和时间、中烘温度和时间、曝光时间及显影时间进行了研究 ,发现前烘时间和显影时间是影响图形分辨率及高深宽比的最主要的参数。随后给出了 2 0 0 μm厚SU - 8光刻胶的建议工艺条件 :2 0 0 μm/s甩胶 ,1h的 95°C前烘 ,近紫外光 (40 0nm)接触式曝光 ,95°C的中烘 30min ,PGMEA中显影 2 0min。另外对实验中实现的主要问题基片弯曲和光刻胶的难以去除作了一定的探讨 ,给出了合理化建议 :对于基片弯曲可采用以下四种措施来降低 ,降低中烘的温度同时增加中烘的时间、用厚硅片来代替薄硅片、对于薄硅片在前烘后可用金刚刀切成 4~ 8小片、适当的设计掩模板 ;对于光刻胶的去除用热丙酮泡、超声清洗、反应离子刻蚀和高温灰化法相结合 。 展开更多
关键词 SU-8胶 高深宽比 光刻
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高轴压比钢-混凝土组合剪力墙压弯性能试验研究 被引量:37
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作者 陈涛 肖从真 +1 位作者 田春雨 徐培福 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第6期1-7,共7页
通过对13片不同形式的高轴压比、大剪跨比剪力墙进行往复水平力加载试验,研究墙体两端暗柱设置型钢、墙身增设内藏钢板等形式组合剪力墙的压弯承载力、延性性能及破坏机理。试验结果表明:基本试件、两端暗柱设置型钢试件、内藏钢板试件... 通过对13片不同形式的高轴压比、大剪跨比剪力墙进行往复水平力加载试验,研究墙体两端暗柱设置型钢、墙身增设内藏钢板等形式组合剪力墙的压弯承载力、延性性能及破坏机理。试验结果表明:基本试件、两端暗柱设置型钢试件、内藏钢板试件的破坏过程相近,两端暗柱设置型钢试件和内藏钢板试件裂缝条数较多、宽度较小,内藏钢板试件的破坏情况相对较轻;两端暗柱设置型钢、增设内藏钢板,对压弯承载力、变形能力提高显著;组合剪力墙轴压比计算可以计入两端型钢和内藏钢板的作用。根据试验结果,提出钢板组合剪力墙压弯承载力计算的建议公式。 展开更多
关键词 组合剪力墙 高轴压比 大剪跨比 抗震性能 压弯性能
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高层隔震结构地震反应振动台试验分析 被引量:23
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作者 何文福 刘文光 +2 位作者 张颖 付伟庆 霍达 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2008年第8期97-101,共5页
完成了高宽比为2.5(小高宽比)和5(大高宽比)的高层隔震结构的振动台试验及数值分析。试验结果表明,高层隔震结构具有较好的水平减震效果。小高宽比高层隔震结构的变形主要以隔震层剪切变形为主,大高宽比高层隔震结构不仅有隔震层剪切变... 完成了高宽比为2.5(小高宽比)和5(大高宽比)的高层隔震结构的振动台试验及数值分析。试验结果表明,高层隔震结构具有较好的水平减震效果。小高宽比高层隔震结构的变形主要以隔震层剪切变形为主,大高宽比高层隔震结构不仅有隔震层剪切变形,而且也包含上部结构剪切和弯曲变形,在进行高层或超高层等大高宽比计算时应同时考虑上部结构剪切和弯曲变形的影响。 展开更多
关键词 高层隔震结构 高宽比 地震反应
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