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H/Al共掺杂对ZnO基透明导电薄膜光电性质和晶体结构的影响
被引量:
3
1
作者
宋秋明
吕明昌
+2 位作者
谭兴
张康
杨春雷
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期393-398,共6页
利用H在ZnO中作为浅施主杂质的特性,研究了H掺杂对ZnO∶Al透明导电薄膜特性的影响。通过降低ZnO∶Al中Al的含量并同时引入H掺杂,解决了透明导电薄膜中高导电性与高透过率之间的矛盾。H的掺杂可以显著降低ZnO基透明导电薄膜的电阻率,这...
利用H在ZnO中作为浅施主杂质的特性,研究了H掺杂对ZnO∶Al透明导电薄膜特性的影响。通过降低ZnO∶Al中Al的含量并同时引入H掺杂,解决了透明导电薄膜中高导电性与高透过率之间的矛盾。H的掺杂可以显著降低ZnO基透明导电薄膜的电阻率,这是由于H一方面作为施主可以提供电子从而提高了自由载流子浓度;另一方面与ZnO晶界中的O-结合降低了晶界势垒,提高了载流子迁移率。利用H掺杂,可以在Al掺杂量降低10倍的情况下,仍然能获得低电阻率(6.3×10-4Ω·cm)的透明导电薄膜,同时其近红外波段(1 200 nm)透光率从64%提高到90%。这种具有高导电性和高透光性的透明导电薄膜可以应用于各类薄膜太阳能电池中以提升器件效率。
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关键词
h/al共掺杂zno
自由载流子吸收
磁控溅射
薄膜太阳能电池
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职称材料
膜厚对Zr,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜结构和光电性能的影响
被引量:
12
2
作者
袁玉珍
王辉
+2 位作者
张化福
刘汉法
刘云燕
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期169-173,共5页
采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出Zr,Al共掺杂ZnO(AZZO)透明导电薄膜。用XRD和SEM分析和观察了薄膜样品的组织结构和表面形貌。研究表明:制备的AZZO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。另外还研究了薄膜...
采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出Zr,Al共掺杂ZnO(AZZO)透明导电薄膜。用XRD和SEM分析和观察了薄膜样品的组织结构和表面形貌。研究表明:制备的AZZO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。另外还研究了薄膜的结构、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系。当薄膜厚度为843nm时,电阻率具有最小值1.18×10-3Ω.cm,在可见光区(500~800nm)平均透过率超过93%。
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关键词
磁控溅射
Zr
al
共
掺杂
zno
膜厚
透明导电薄膜
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职称材料
退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响
3
作者
周丽萍
呂珺
+3 位作者
汪冬梅
陈雯雯
吴玉程
郑治祥
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第A02期536-538,共3页
通过溶胶.凝胶法,采用Al、F共掺杂的方法在4种不同的气氛下制备ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系.制备的Al:F:ZnO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜.4种退火气氛相比,在空气气氛...
通过溶胶.凝胶法,采用Al、F共掺杂的方法在4种不同的气氛下制备ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系.制备的Al:F:ZnO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜.4种退火气氛相比,在空气气氛下退火时,平均晶粒尺寸最大,为43.4nm,导电性能最好,电阻率可低达6.5×10^-2Ω·cm。4种退火气氛下,薄膜在可见光范围内的平均透过率均达到了75%以上,其中,空气气氛下退火时薄膜的透光性最好。
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关键词
zno
薄膜
al
F
共
掺杂
溶胶-凝胶
退火气氛
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职称材料
太阳电池用共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构及性能
被引量:
3
4
作者
王辉
袁玉珍
+3 位作者
刘汉法
张化福
刘云燕
刘俊成
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期476-480,共5页
采用直流磁控溅射法在室温条件下制备出Al,压共掺杂ZnO透明导电薄膜。用XRD和SEM分析和观察了薄膜的组织结构和表面形貌,着重分析了靶基距对薄膜结构和光电性能的影响。研究结果表明,制备的灿,乙共掺杂ZnO透明导电薄膜为具有C轴择...
采用直流磁控溅射法在室温条件下制备出Al,压共掺杂ZnO透明导电薄膜。用XRD和SEM分析和观察了薄膜的组织结构和表面形貌,着重分析了靶基距对薄膜结构和光电性能的影响。研究结果表明,制备的灿,乙共掺杂ZnO透明导电薄膜为具有C轴择优取向、六角纤锌矿结构的多晶薄膜。靶基距对Al,Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构和电阻率影响显著。薄膜的厚度随靶基距的增加而变薄,在靶基距为60mm时,制备的薄膜厚度为790nm,电阻率具有最小值1.05×10^-3Ω·cm,在可见光区(500—800nm)平均透过率超过92%,在硅基薄膜太阳电池中具有良好的应用前景。
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关键词
al
Zr
共
掺杂
zno
透明导电薄膜
磁控溅射
太阳电池
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职称材料
题名
H/Al共掺杂对ZnO基透明导电薄膜光电性质和晶体结构的影响
被引量:
3
1
作者
宋秋明
吕明昌
谭兴
张康
杨春雷
机构
中国科学院深圳先进技术研究院
中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所 光伏太阳能研究中心
中国科学技术大学纳米科学技术学院
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期393-398,共6页
基金
国家自然科学基金(51002178)
深圳市科技创新委项目(ZYC201105180487A)资助
文摘
利用H在ZnO中作为浅施主杂质的特性,研究了H掺杂对ZnO∶Al透明导电薄膜特性的影响。通过降低ZnO∶Al中Al的含量并同时引入H掺杂,解决了透明导电薄膜中高导电性与高透过率之间的矛盾。H的掺杂可以显著降低ZnO基透明导电薄膜的电阻率,这是由于H一方面作为施主可以提供电子从而提高了自由载流子浓度;另一方面与ZnO晶界中的O-结合降低了晶界势垒,提高了载流子迁移率。利用H掺杂,可以在Al掺杂量降低10倍的情况下,仍然能获得低电阻率(6.3×10-4Ω·cm)的透明导电薄膜,同时其近红外波段(1 200 nm)透光率从64%提高到90%。这种具有高导电性和高透光性的透明导电薄膜可以应用于各类薄膜太阳能电池中以提升器件效率。
关键词
h/al共掺杂zno
自由载流子吸收
磁控溅射
薄膜太阳能电池
Keywords
al
uminum
Carrier mobility
Conductive films
Grain boundaries
h
ydrogen
Magnetron sputtering
Met
al
lic films
Optic
al
films
Solar cells
Zinc oxide
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
膜厚对Zr,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜结构和光电性能的影响
被引量:
12
2
作者
袁玉珍
王辉
张化福
刘汉法
刘云燕
机构
山东理工大学理学院
山东理工大学材料科学与工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期169-173,共5页
基金
山东理工大学"功能材料"研究创新项目(CX0602)
文摘
采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出Zr,Al共掺杂ZnO(AZZO)透明导电薄膜。用XRD和SEM分析和观察了薄膜样品的组织结构和表面形貌。研究表明:制备的AZZO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。另外还研究了薄膜的结构、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系。当薄膜厚度为843nm时,电阻率具有最小值1.18×10-3Ω.cm,在可见光区(500~800nm)平均透过率超过93%。
关键词
磁控溅射
Zr
al
共
掺杂
zno
膜厚
透明导电薄膜
Keywords
magnetron sputtering
Zr
al
co-doped
zno
film t
h
ickness
transparent conducting films
分类号
O484 [理学—固体物理]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响
3
作者
周丽萍
呂珺
汪冬梅
陈雯雯
吴玉程
郑治祥
机构
合肥工业大学材料科学与工程学院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第A02期536-538,共3页
基金
合肥工业大学中青年科技创新群体专项资助(103-037016).
文摘
通过溶胶.凝胶法,采用Al、F共掺杂的方法在4种不同的气氛下制备ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系.制备的Al:F:ZnO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜.4种退火气氛相比,在空气气氛下退火时,平均晶粒尺寸最大,为43.4nm,导电性能最好,电阻率可低达6.5×10^-2Ω·cm。4种退火气氛下,薄膜在可见光范围内的平均透过率均达到了75%以上,其中,空气气氛下退火时薄膜的透光性最好。
关键词
zno
薄膜
al
F
共
掺杂
溶胶-凝胶
退火气氛
Keywords
zno
t
h
in films
AI-F co-doping
sol-gel process
anneaUing ambiences
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
太阳电池用共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构及性能
被引量:
3
4
作者
王辉
袁玉珍
刘汉法
张化福
刘云燕
刘俊成
机构
山东理工大学材料科学与工程学院
山东理工大学理学院
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期476-480,共5页
基金
山东理工大学'功能材料'创新研究团队资助项目(CX0602)
文摘
采用直流磁控溅射法在室温条件下制备出Al,压共掺杂ZnO透明导电薄膜。用XRD和SEM分析和观察了薄膜的组织结构和表面形貌,着重分析了靶基距对薄膜结构和光电性能的影响。研究结果表明,制备的灿,乙共掺杂ZnO透明导电薄膜为具有C轴择优取向、六角纤锌矿结构的多晶薄膜。靶基距对Al,Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构和电阻率影响显著。薄膜的厚度随靶基距的增加而变薄,在靶基距为60mm时,制备的薄膜厚度为790nm,电阻率具有最小值1.05×10^-3Ω·cm,在可见光区(500—800nm)平均透过率超过92%,在硅基薄膜太阳电池中具有良好的应用前景。
关键词
al
Zr
共
掺杂
zno
透明导电薄膜
磁控溅射
太阳电池
Keywords
al
, Zr co-doped
zno
transparent conducting films
magnetron sputtering
solar cell
分类号
TM615 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
H/Al共掺杂对ZnO基透明导电薄膜光电性质和晶体结构的影响
宋秋明
吕明昌
谭兴
张康
杨春雷
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
在线阅读
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职称材料
2
膜厚对Zr,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜结构和光电性能的影响
袁玉珍
王辉
张化福
刘汉法
刘云燕
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响
周丽萍
呂珺
汪冬梅
陈雯雯
吴玉程
郑治祥
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
在线阅读
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职称材料
4
太阳电池用共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构及性能
王辉
袁玉珍
刘汉法
张化福
刘云燕
刘俊成
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
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职称材料
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