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高精度的光电式衍射光栅刻划机
被引量：
11
1
作者
时轮
郝德阜
齐向东
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期103-104,共2页
光栅刻划机被誉为“精密机械之王”,采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段 ,因此 ,对高精度的光电式光栅刻划机进行研究具有重要的现实意义。文中主要阐述了两类光电式刻划机的控制原理 。
关键词
光栅刻划机
控制原理
对比
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职称材料
题名
高精度的光电式衍射光栅刻划机
被引量：
11
1
作者
时轮
郝德阜
齐向东
机构
吉林工学院机电学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期103-104,共2页
文摘
光栅刻划机被誉为“精密机械之王”,采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段 ,因此 ,对高精度的光电式光栅刻划机进行研究具有重要的现实意义。文中主要阐述了两类光电式刻划机的控制原理 。
关键词
光栅刻划机
控制原理
对比
Keywords
grating ruling engine control principle comparison
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高精度的光电式衍射光栅刻划机
时轮
郝德阜
齐向东
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
11
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