期刊文献+
共找到105篇文章
< 1 2 6 >
每页显示 20 50 100
Sensitivity investigation of 100-MeV proton irradiation to SiGe HBT single event effect
1
作者 冯亚辉 郭红霞 +7 位作者 刘益维 欧阳晓平 张晋新 马武英 张凤祁 白如雪 马晓华 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第1期554-562,共9页
The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive positi... The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive position of the Si Ge HBT device is the emitter center, where the protons pass through the larger collector-substrate(CS) junction. Furthermore, in this work the experimental studies are also carried out by using 100-Me V proton. In order to consider the influence of temperature on SEE, both simulation and experiment are conducted at a temperature of 93 K. At a cryogenic temperature, the carrier mobility increases, which leads to higher transient current peaks, but the duration of the current decreases significantly.Notably, at the same proton flux, there is only one single event transient(SET) that occurs at 93 K. Thus, the radiation hard ability of the device increases at cryogenic temperatures. The simulation results are found to be qualitatively consistent with the experimental results of 100-Me V protons. To further evaluate the tolerance of the device, the influence of proton on Si Ge HBT after gamma-ray(^(60)Coγ) irradiation is investigated. As a result, as the cumulative dose increases, the introduction of traps results in a significant reduction in both the peak value and duration of the transient currents. 展开更多
关键词 silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(si ge HBT) 100-Me V proton technology computer-aided design(TCAD) single event effect(SEE)
在线阅读 下载PDF
Effects of high temperature rapid thermal annealing on Ge films grown on Si(001) substrate
2
作者 刘智 成步文 +3 位作者 李亚明 李传波 薛春来 王启明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期463-466,共4页
Tensile strain, crystal quality, and surface morphology of 500 nm thick Ge films were improved after rapid thermal annealing at 900 ℃ for a short period (〈 20 s). The films were grown on Si(001) substrates by ul... Tensile strain, crystal quality, and surface morphology of 500 nm thick Ge films were improved after rapid thermal annealing at 900 ℃ for a short period (〈 20 s). The films were grown on Si(001) substrates by ultra-high vacuum chemical vapor deposition. These improvements are attributed to relaxation and defect annihilation in the Ge films. However, after prolonged (〉 20 s) rapid thermal annealing, tensile strain and crystal quality degenerated. This phenomenon results from intensive Si-Ge mixing at high temperature. 展开更多
关键词 ge film rapid thermal annealing tensile strain si-ge mixing
在线阅读 下载PDF
乙炔在Ge(001)表面吸附的反应路径(英文) 被引量:3
3
作者 范晓丽 刘燕 +1 位作者 刘崇 刘焕明 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1107-1112,共6页
采用第一性原理方法研究了乙炔分子在Ge(001)表面的吸附反应.通过系统考察0.5和1.0ML覆盖度时形成di-σ和end-bridge构型的反应路径,研究在表面形成di-σ和paired-end-bridge构型的反应几率.除了表面反应以外,本文还涉及了亚表层Ge原子... 采用第一性原理方法研究了乙炔分子在Ge(001)表面的吸附反应.通过系统考察0.5和1.0ML覆盖度时形成di-σ和end-bridge构型的反应路径,研究在表面形成di-σ和paired-end-bridge构型的反应几率.除了表面反应以外,本文还涉及了亚表层Ge原子参与的吸附反应,乙炔在亚表层原子上吸附形成的亚稳态结构sub-di-σ,是形成end-bridge结构的第二条途径,此反应机理对于表面吸附结构的形成起重要的作用.与乙炔分子不同的是,表面以下原子参与时乙烯分子的吸附反应为吸热反应.综合热力学和动力学的分析表明,paired-end-bridge构型是乙炔分子吸附的主要构型,此结论解释了乙炔分子在Ge(001)表面吸附构型的实验结果.对于乙烯和乙炔两分子在Ge(001)表面吸附的分析比较揭示了导致两者之间差异的原因. 展开更多
关键词 密度泛函理论 ge(001)表面 乙炔分子 形成反应 亚表层 热力学 动力学
在线阅读 下载PDF
Si(001)衬底上闪锌矿ZnO的制备与分析 被引量:4
4
作者 詹华瀚 黄斌旺 +3 位作者 吴雅苹 陈晓航 李书平 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期209-213,共5页
采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料。实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构。在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,... 采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料。实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构。在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等。分析表明:ZnO混合多晶薄膜的形成,以及表面纳米台柱的演变,与Si(001)衬底、较低温的生长温度及热效应等因素相关联。 展开更多
关键词 闪锌矿结构 氧化锌 分子束外延生长 硅(001)
在线阅读 下载PDF
光子晶体对nc-Ge/Si岛发光增强的模拟 被引量:4
5
作者 唐海侠 王启明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期435-441,共7页
在Si基集成光电子学的发展中,高效的Si基光源是人们不懈追求的目标。但是Si材料的间接带隙特性导致其发光效率低,更谈不上受激发射。于是人们探索了多种Si基材料体系来提高Si材料的发光效率,并在不同程度上取得了重要的进展。在众多... 在Si基集成光电子学的发展中,高效的Si基光源是人们不懈追求的目标。但是Si材料的间接带隙特性导致其发光效率低,更谈不上受激发射。于是人们探索了多种Si基材料体系来提高Si材料的发光效率,并在不同程度上取得了重要的进展。在众多的Si基发光材料体系中,Ge/Si量子点材料,不仅生长工艺与标准的CMOS工艺有很好的兼容性,而且发光波长能够覆盖重要的光通信波段即1.3—1.55μm,因此成为实现Si基发光器件的重要途径之一。但是目前这种材料的发光效率仍很低,所以提高其发光效率自然成为人们关注的焦点。如果将光子晶体引入到nc—Ge/Si材料中,它不仅可以改变材料本身的自发发射特性,而且可以改变发射的光子的提取效率,从而使材料的发光效率得到增强。提出了在Ge/Si量子点材料中引入光子晶体结构来提高其发光效率,包括光子晶体点缺陷腔结构和带边模式工作的完整光子晶体结构,并从理论上分析了发光效率提高的原理。针对发光波长在1.5μm附近的材料结构,模拟出了相应的光子晶体的结构参数。从模拟结果可以看出,对于缺陷腔的光子晶体结构,采用单点缺陷微腔很好地实现了单模运作,但是微腔内有源材料的体积很小,因此得到的发光效率很低。而采用耦合缺陷腔的结构和H2腔都增加了腔内有源区的体积。但是耦合腔与H2腔相比,谐振腔模减少,主谐振模式的峰值强度增加,更容易实现单模发光。因而更适用于提高nc—Ge/Si的发光效率。而带边模式工作的光子晶体结构,尺寸较大,不需引入缺陷,工艺上更容易实现。 展开更多
关键词 光子晶体 光子带隙 谐振腔 nc—ge/si 量子点
在线阅读 下载PDF
Ge/Si SACM-APD器件分析 被引量:1
6
作者 王巍 颜琳淑 +5 位作者 王川 杜超雨 王婷 王冠宇 袁军 王振 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第4期1349-1353,共5页
Ge/Si吸收区-电荷区-倍增区分离(SACM)结构的APD作为一种新型光电探测器已成为硅基APD器件研究的重点。对SACM Ge/Si型APD器件的基本结构及其主要特性参数,包括量子效率、响应度、暗电流等进行了理论分析及仿真验证。实验结果表明:... Ge/Si吸收区-电荷区-倍增区分离(SACM)结构的APD作为一种新型光电探测器已成为硅基APD器件研究的重点。对SACM Ge/Si型APD器件的基本结构及其主要特性参数,包括量子效率、响应度、暗电流等进行了理论分析及仿真验证。实验结果表明:在给定的器件参数条件下,所设计的APD器件的雪崩击穿电压为25.7V,最大内部量子效率为91%,单位增益下响应度峰值为0.55 A/W,在750-1500 nm范围内具有较高响应度,其峰值波长为1050 nm;在高偏压以及高光照强度情况下,倍增区发生空间电荷效应从而导致增益降低。 展开更多
关键词 ge/si雪崩二极管 吸收区-电荷区-倍增区分离 器件仿真
在线阅读 下载PDF
不同覆盖度下Li原子在Si(001)表面上的吸附构型和电子结构 被引量:2
7
作者 倪碧莲 蔡亚萍 +2 位作者 李奕 丁开宁 章永凡 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1535-1544,共10页
采用基于赝势平面波基组的密度泛函理论,对不同Li原子覆盖度下Li/Si(001)体系的吸附构型、电子结构以及吸附Li原子对表面性质的影响进行了系统研究.计算结果表明,在所考察的覆盖度范围内,Li原子倾向于吸附在相邻两个Si-Si二聚体之间各... 采用基于赝势平面波基组的密度泛函理论,对不同Li原子覆盖度下Li/Si(001)体系的吸附构型、电子结构以及吸附Li原子对表面性质的影响进行了系统研究.计算结果表明,在所考察的覆盖度范围内,Li原子倾向于吸附在相邻两个Si-Si二聚体之间各种对称性较高的空穴位,其中覆盖度为0.75ML(monolayer)时具有最小的平均吸附能.由能带结构分析结果可知,随着覆盖度的增大,Si(001)表面存在由半导体→导体→半导体的变化过程.在覆盖度为1.00ML时,由于表层二聚体均受到显著破坏,使得体系带隙明显增大.吸附后,有较多电子从Li原子转移到底物,导致Si(001)表面功函显著下降,并随着覆盖度的增加表面功函呈现振荡变化.此外,从热力学稳定性角度上看,覆盖度为0.75ML的Li/Si(001)表面较难形成. 展开更多
关键词 密度泛函理论 碱金属 表面吸附 能带结构 si(001)表面
在线阅读 下载PDF
Si衬底上Ge材料的UHVCVD生长 被引量:3
8
作者 成步文 薛春来 +4 位作者 罗丽萍 韩根全 曾玉刚 薛海韵 王启明 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期118-120,共3页
采用超低温Buffer层技术在Si衬底上生长出了质量优良的厚Ge材料,材料的穿透位错密度为1×105cm-2。原子力显微镜测试表明表面均方根粗糙度为0.33nm,卢瑟福背散射谱表明Ge的沟道产额低达3.9%,透射电镜分析则表明应变的弛豫主要是通过... 采用超低温Buffer层技术在Si衬底上生长出了质量优良的厚Ge材料,材料的穿透位错密度为1×105cm-2。原子力显微镜测试表明表面均方根粗糙度为0.33nm,卢瑟福背散射谱表明Ge的沟道产额低达3.9%,透射电镜分析则表明应变的弛豫主要是通过在Si与Ge的界面处形成失配位错来实现的。 展开更多
关键词 硅基 ge 外延
在线阅读 下载PDF
近红外Si_(0.8)Ge_(0.2)/Si横向pin探测器的模拟与测试 被引量:1
9
作者 莫太山 张世林 +2 位作者 郭维廉 郭辉 郑云光 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期311-315,共5页
设计了一种新型叉指状近红外 Si0 .8Ge0 .2 / Si pin横向光电探测器。采用半导体器件模拟软件 Atlas分别对该器件平衡条件下物理特性及反向偏压下电场分布、光电特性进行了模拟 ;对实际制作的光电探测器进行了测试 ,结果表明 :其波长响... 设计了一种新型叉指状近红外 Si0 .8Ge0 .2 / Si pin横向光电探测器。采用半导体器件模拟软件 Atlas分别对该器件平衡条件下物理特性及反向偏压下电场分布、光电特性进行了模拟 ;对实际制作的光电探测器进行了测试 ,结果表明 :其波长响应范围为 0 .4~ 1 .3μm,峰值响应波长在 0 .93μm,响应度达 0 .3 8A/ W,寄生电容小于 2 .0 p F。实验结果和模拟结果符合得很好。其良好的光电性能为应用于近红外光的高速。 展开更多
关键词 光电集成电路 si0.8ge0.2/si-pin 横向光电探测器 模拟 光电性能 近红外光
在线阅读 下载PDF
磁控溅射的Ge/Si异质结构在退火过程中的Raman光谱研究 被引量:1
10
作者 周湘萍 毛旭 +1 位作者 张树波 杨宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第2期34-36,40,共4页
用Raman光散射的方法 ,研究了磁控溅射技术制备的Ge/Si系列异质材料在退火过程中的再生长情况 ,对不同的样品进行结构变化分析。实验结果显示 :Ge/Si异质材料在退火过程中的再生长受生长态条件限制 。
关键词 ge/si异质材料 RAMAN光谱 退火过程 磁控溅射
在线阅读 下载PDF
Ge/Si量子点生长的研究进展 被引量:1
11
作者 鲁植全 王茺 杨宇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第19期117-122,共6页
回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以... 回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以及Ge量子点的演变及组分变化。 展开更多
关键词 ge/si量子点生长 图形衬底 表面原子掺杂 超薄siO2层 ge组分
在线阅读 下载PDF
不同浓度的Si Ge对水稻幼苗生长的影响 被引量:3
12
作者 刘文菊 梁秀华 +2 位作者 薛宝民 郭友红 吴玉红 《农业环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期881-884,共4页
利用人工控制光温条件的水培方法,研究了不同浓度的Si、Ge对水稻幼苗生长的影响。结果表明,对水稻幼苗进行Ge处理后,各处理之间的生物量均有所降低。在相同Ge浓度处理时,随着Si浓度的升高,生物量有增加的趋势。随着Ge处理浓度的增加,水... 利用人工控制光温条件的水培方法,研究了不同浓度的Si、Ge对水稻幼苗生长的影响。结果表明,对水稻幼苗进行Ge处理后,各处理之间的生物量均有所降低。在相同Ge浓度处理时,随着Si浓度的升高,生物量有增加的趋势。随着Ge处理浓度的增加,水稻地上部分含水量逐渐减少,对幼苗的毒害程度越来越严重,地上部Ge的浓度也呈逐渐增加的趋势。而随着Si的加入,毒害症状减轻,对于Ge2.5,Ge5.0,Ge10.0mg·L-1处理的植株而言,Ge含量均表现为降低的趋势。这说明Si对水稻植株吸收Ge有一定的拮抗作用。结果还表明,随着Si浓度的增加,水稻地上部含Si量明显上升,但Ge含量则呈降低趋势,即Si的加入减缓了水稻幼苗的Ge毒害。此外,通过对根系进行一定时间的浸泡,能有效除去吸附于根表及累积于根质外体中的Ge,从而为准确测定根细胞中的Ge提供了较为准确有效的方法。 展开更多
关键词 水稻 si-ge拮抗作用 毒害
在线阅读 下载PDF
溅射气压对Si/Ge多层膜结构光学常数的影响 被引量:6
13
作者 张晋敏 郜小勇 +1 位作者 杨宇 陈良尧 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期77-79,共3页
采用可变入射角全自动椭圆偏振光谱仪 ,测量了用磁控溅射法制备的Si/Ge异质多层膜结构的光学常数 ,测量能量范围为 1.5~ 4.5eV .分析了不同氩气压强对磁控溅射制备的Si/Ge异质多层膜结构的光学常数的影响 .实验结果表明 ,在低能区域 ,... 采用可变入射角全自动椭圆偏振光谱仪 ,测量了用磁控溅射法制备的Si/Ge异质多层膜结构的光学常数 ,测量能量范围为 1.5~ 4.5eV .分析了不同氩气压强对磁控溅射制备的Si/Ge异质多层膜结构的光学常数的影响 .实验结果表明 ,在低能区域 ,随压强的增加 ,多层膜结构的所有光学常数均有不同程度的增加 ,但在高能区域 ,溅射气压对光学常数的影响不再明显 .多层膜结构的复介电常数的实部和虚部及折射率n的峰位随压强增大而向低能方向位移 ;多层膜结构的消光系数k的峰位随压强的变化很小 ,但其峰值随压强的增加而增加 . 展开更多
关键词 溅射气压 si/ge多层膜 结构 椭偏光谱 光学常数 磁控溅射 硅衬底 大规模集成电路
在线阅读 下载PDF
Si/Ge异质结构的生长与特性 被引量:2
14
作者 郑有炓 张荣 +4 位作者 胡立群 钟培新 莫水元 李学宁 顾红 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1989年第4期353-355,共3页
近年来,由Ge,Si这两种晶格失配(4.2%)材料组成的Ge/Si异质结构与Ge/Si应变超晶格,由于共具有重要的科学与技术价值,受到了人们高度重视。分子束外延(MBE)技术已成功地用于生长Ge/Si异质结构和超薄Ge/Si超晶格以及GexSi1-x/Si超晶格。... 近年来,由Ge,Si这两种晶格失配(4.2%)材料组成的Ge/Si异质结构与Ge/Si应变超晶格,由于共具有重要的科学与技术价值,受到了人们高度重视。分子束外延(MBE)技术已成功地用于生长Ge/Si异质结构和超薄Ge/Si超晶格以及GexSi1-x/Si超晶格。化学汽相淀积技术(CVD)与MBE相比,除了设备简单、价格便宜外,对于Ge,Si外延来说,还便于与现有的硅大规模集成工艺技术相结合,使之更富有实用性。近期已有报道用CVD技术生长GexSi1-x/Si异质结构。 展开更多
关键词 si/ge 异质结构 生长 半导体材料
在线阅读 下载PDF
Ge/Si复合纳米结构电荷存储特性的模拟研究 被引量:1
15
作者 杨红官 施毅 +7 位作者 卜惠明 吴军 赵波 张荣 沈波 韩平 顾书林 郑有炓 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期63-68,共6页
这一研究工作模拟计算了 Ge/ Si复合纳米结构 MOSFET存储器的擦写和存储时间特性。结果表明 ,Ge/ Si复合纳米结构存储器在低压下即可实现 μs和 ns量级编程。与 Si纳米结构存储器相比 ,由于 Ge/ Si复合势阱的作用 ,器件的电荷保留时间... 这一研究工作模拟计算了 Ge/ Si复合纳米结构 MOSFET存储器的擦写和存储时间特性。结果表明 ,Ge/ Si复合纳米结构存储器在低压下即可实现 μs和 ns量级编程。与 Si纳米结构存储器相比 ,由于 Ge/ Si复合势阱的作用 ,器件的电荷保留时间提高了 3~ 5个量级 ,有效地解决了快速擦写编程与长久存储之间的矛盾 ,使器件的性能得到明显改善。 展开更多
关键词 纳米结构 存储器 数值模拟 电荷存储特性 复合材料 MOSFET
在线阅读 下载PDF
四探针法测量应变Si_(1-x)Ge_x掺杂浓度 被引量:2
16
作者 戴显英 王伟 +4 位作者 张鹤鸣 何林 张静 胡辉勇 吕懿 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期255-258,280,共5页
在对Si1-xGex材料多子迁移率模型分析基础上,建立了Si1-xGex材料电阻率与其Ge组分、掺杂浓度关系的曲线图谱.经过对半导体材料掺杂浓度各种表征技术的分析和实验研究,提出了采用四探针法表征Si1-xGex材料掺杂浓度的技术.该表征技术与Si... 在对Si1-xGex材料多子迁移率模型分析基础上,建立了Si1-xGex材料电阻率与其Ge组分、掺杂浓度关系的曲线图谱.经过对半导体材料掺杂浓度各种表征技术的分析和实验研究,提出了采用四探针法表征Si1-xGex材料掺杂浓度的技术.该表征技术与Si材料掺杂浓度的在线检测技术相容,且更加简捷.通过实验及对Si1-xGex材料样品掺杂浓度的现代理化分析验证了其可行性. 展开更多
关键词 测量 应变 si1-xgex材料 迁移率模型 电阻率 掺杂浓度 四探针 硅锗材料 半导体材料
在线阅读 下载PDF
预沉积Ge对Si(111)衬底上SSMBE外延生长SiC薄膜的影响 被引量:1
17
作者 刘忠良 任鹏 +2 位作者 刘金锋 唐军 徐彭寿 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1160-1164,共5页
利用固源分子束外延(SSMBE)生长技术,在Si(111)衬底上预沉积不同厚度(0、0.2、1nm)Ge,在衬底温度900℃,生长SiC单晶薄膜.利用反射式高能电子衍射仪(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)等实验技术,对生长的样品进行了... 利用固源分子束外延(SSMBE)生长技术,在Si(111)衬底上预沉积不同厚度(0、0.2、1nm)Ge,在衬底温度900℃,生长SiC单晶薄膜.利用反射式高能电子衍射仪(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)等实验技术,对生长的样品进行了研究.结果表明,预沉积少量Ge(0.2nm)的样品,SiC薄膜表面没有孔洞存在,AFM显示表面比较平整,粗糙度比较小,FTIR结果表明薄膜内应力比较小.这说明少量Ge的预沉积抑制了孔洞的形成,避免衬底Si扩散,因而SiC薄膜的质量比较好.没有预沉积Ge的薄膜,结晶质量比较差,SiC薄膜表面有孔洞且有Si存在.然而预沉积过量Ge(1nm)的样品,由于Ge的岛状生长,导致生长的SiC表面粗糙度变大,结晶质量变差,甚至导致多晶产生. 展开更多
关键词 预沉积 碳化硅 硅衬底 固源分子束外延
在线阅读 下载PDF
Si_(1-x)Ge_x/Si定向耦合器的研制 被引量:1
18
作者 高勇 李国正 +5 位作者 刘恩科 赵策洲 刘西钉 张翔九 卢学坤 王迅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期33-37,共5页
在运用SiGe脊形波导单模条件和有效折射率法分析SiGe/Si定向耦合器结构参数的基础上,采用分子束外延和各向异性腐蚀技术制备出Si1-xGex/Si(x=0.05)单模定向耦合器.在波长为1.3μm时,平均串音小于... 在运用SiGe脊形波导单模条件和有效折射率法分析SiGe/Si定向耦合器结构参数的基础上,采用分子束外延和各向异性腐蚀技术制备出Si1-xGex/Si(x=0.05)单模定向耦合器.在波长为1.3μm时,平均串音小于-18.1dB,输出功率耦合效率达到98.1% 展开更多
关键词 光波导 定向耦合器 硅锗材料
在线阅读 下载PDF
半导体Si(001)基片上制备的超薄SrTiO_3薄膜的透射电镜及电子全息研究 被引量:1
19
作者 田焕芳 吕惠宾 +6 位作者 金奎娟 杨槐馨 虞红春 刘立宝 张怀若 肖睿娟 李建奇 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期346-346,共1页
关键词 SRTIO3薄膜 si(001) 半导体技术 电子全息 透射电镜 透射电子显微镜 氧化物薄膜 超薄 制备
在线阅读 下载PDF
Si_(1-x)Ge_x/Si Y-分支波长信号分离器 被引量:1
20
作者 李宝军 李国正 刘恩科 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期251-255,共5页
利用Si1-xGex的等离子体色散效应,对1.3μm和1.55μm光通信波长的Si基Si1-xGex波长信号分离器进行了理论分析,设计了结构参数和电学参数,并分析了其分支特性.
关键词 si1-XgeX 光波导 波长信号分离器
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 6 下一页 到第
使用帮助 返回顶部