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定容式流导法微流量校准装置
被引量：
14
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作者
张涤新
郭美如
+8 位作者
冯焱
赵澜
李得天
赵定众
李正海
成永军
李莉
龚月莉
孙海
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期21-25,共5页
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。
关键词
流量计
流量校准
真空漏孔
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职称材料
题名
定容式流导法微流量校准装置
被引量：
14
1
作者
张涤新
郭美如
冯焱
赵澜
李得天
赵定众
李正海
成永军
李莉
龚月莉
孙海
机构
兰州物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期21-25,共5页
文摘
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。
关键词
流量计
流量校准
真空漏孔
Keywords
gas flowmeter
,
throughput calibration
,
vacuum leaker
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
定容式流导法微流量校准装置
张涤新
郭美如
冯焱
赵澜
李得天
赵定众
李正海
成永军
李莉
龚月莉
孙海
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
14
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