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磁记录硬盘用L1_(0)-FePt薄膜的研究进展
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作者 施晨琦 赵琪 +5 位作者 巢云秀 李思勰 沈月 许彦亭 王传军 闻明 《机械工程材料》 北大核心 2025年第6期25-31,共7页
L1_(0)-FePt薄膜因具有高磁晶各向异性、高饱和磁化强度等优良的磁学性能及良好的化学稳定性,成为下一代超高密度磁记录存储介质的最佳候选者之一。介绍了磁控溅射法、分子束处延法和化学合成法等L1_(0)-FePt薄膜制备方法,阐述了薄膜的... L1_(0)-FePt薄膜因具有高磁晶各向异性、高饱和磁化强度等优良的磁学性能及良好的化学稳定性,成为下一代超高密度磁记录存储介质的最佳候选者之一。介绍了磁控溅射法、分子束处延法和化学合成法等L1_(0)-FePt薄膜制备方法,阐述了薄膜的理想结构和性能,综述了特殊热退火处理、添加隔离介质、制备多层膜结构等3种薄膜结构调控方法,总结了真空热压法、热等静压法和放电等离子烧结法等FePt合金靶材制备工艺,指出了目前研究存在的问题,展望了高密度磁记录存储介质的发展方向。 展开更多
关键词 L1_(0)-fept薄膜 fept靶材 隔离介质 多层膜结构
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