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一种新型n^-区多层渐变掺杂SiGe/Si功率开关二极管
被引量:
3
1
作者
马丽
高勇
王彩琳
《电子器件》
CAS
2004年第2期232-235,共4页
n- 区掺杂浓度采用多层渐变式结构的p+ (SiGe) n- n+ 异质结功率二极管 ,对该新结构的反向恢复特性及正反向I -V特性进行了模拟 ,从器件运行机理上对模拟结果做出了详细的分析。与n- 区固定掺杂的普通p+ (SiGe) n- n+ 二极管相比 ,...
n- 区掺杂浓度采用多层渐变式结构的p+ (SiGe) n- n+ 异质结功率二极管 ,对该新结构的反向恢复特性及正反向I -V特性进行了模拟 ,从器件运行机理上对模拟结果做出了详细的分析。与n- 区固定掺杂的普通p+ (SiGe) n- n+ 二极管相比 ,在正向压降基本不发生变化的前提下 ,渐变掺杂后的器件反向恢复时间可缩短一半 ,反向峰值电流能降低 33% ,反向恢复软度因子可提高 1 5倍。并且 ,随着n- 区渐变掺杂的层数增多 ,反向恢复特性越好。
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关键词
SIGE/SI异质结
功率二极管
多层渐变掺杂
快速软恢复
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职称材料
快恢复二极管软度参数的调整
被引量:
1
2
作者
张华曹
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期16-18,共3页
探讨了快恢复二极管制造过程中, 选择适当的复合中心能级去调整快恢复二极管软度因子和软度的可行性。实验结果说明, 选用σp/σn 比值较小的复合中心能级可以改善二极管的软度参数。
关键词
二极管
快恢复二极管
软度参数
调整
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职称材料
大功率快速软恢复二极管概述
被引量:
10
3
作者
张海涛
张斌
《半导体情报》
2001年第3期1-3,32,共4页
详细介绍了快速软恢复二极管的工作原理、参数分析和现状 ,并且指出了快速软恢复二极管的发展方向及主要的技术难点。
关键词
功率二极管
软恢复
工作原理
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职称材料
快速软恢复二极管的仿真设计
4
作者
张海涛
张斌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期73-76,共4页
讨论了快速软恢复二极管的工作原理及主要相关参数,利用软件SILVACO进行仿真设计并用于二极管的制作中。
关键词
仿真设计
快速二极管
软恢复
工作原理
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职称材料
高性能场终止寿命控制FRD芯片工艺研究
被引量:
1
5
作者
刘建华
郎金荣
周卫平
《集成电路应用》
2017年第8期45-50,共6页
快恢复二极管(Fast recovery diode,FRD)是重要的功率器件,广泛应用于智能电网、新能源汽车、光伏和轨道牵引等重要场合,具有重要的战略意义和市场价值。为了突破FRD的关键技术瓶颈,本项目研究了高性能场终止寿命控制1 200 V等系列FRD...
快恢复二极管(Fast recovery diode,FRD)是重要的功率器件,广泛应用于智能电网、新能源汽车、光伏和轨道牵引等重要场合,具有重要的战略意义和市场价值。为了突破FRD的关键技术瓶颈,本项目研究了高性能场终止寿命控制1 200 V等系列FRD芯片工艺技术。采用H+注入辐照局域寿命控制技术与电子辐照全局寿命控制技术,兼顾了提高软度因子和降低反向恢复时间两方面的关键性能要求。采用扩散片衬底引入场终止层结构极大地改善了快恢复二极管的软度因子,改善了正向导通压降V f,提高了器件的高温耐压特性。测试结果表明,研制的1 200 V FRD器件正向导通电压为1.6~2.0 V,反向击穿电压为1 270~1 380 V,反向恢复时间为100~200 ns,与国际同类高性能FRD器件性能相当。快速高可靠性FRD的成功研制,对我国突破高性能FRD在高端领域的制造工艺技术具有重要的意义。
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关键词
功率器件
快恢复二极管
载流子寿命控制
场终止
软度因子
半绝缘多晶硅
在线阅读
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职称材料
题名
一种新型n^-区多层渐变掺杂SiGe/Si功率开关二极管
被引量:
3
1
作者
马丽
高勇
王彩琳
机构
西安理工大学应用物理系
西安理工大学电子工程系
出处
《电子器件》
CAS
2004年第2期232-235,共4页
基金
信息产业部 2 0 0 1年信息产业科研试制项目 (0 1XK6 10 0 12 )
文摘
n- 区掺杂浓度采用多层渐变式结构的p+ (SiGe) n- n+ 异质结功率二极管 ,对该新结构的反向恢复特性及正反向I -V特性进行了模拟 ,从器件运行机理上对模拟结果做出了详细的分析。与n- 区固定掺杂的普通p+ (SiGe) n- n+ 二极管相比 ,在正向压降基本不发生变化的前提下 ,渐变掺杂后的器件反向恢复时间可缩短一半 ,反向峰值电流能降低 33% ,反向恢复软度因子可提高 1 5倍。并且 ,随着n- 区渐变掺杂的层数增多 ,反向恢复特性越好。
关键词
SIGE/SI异质结
功率二极管
多层渐变掺杂
快速软恢复
Keywords
SiGe/Si hetero-junction
power
diode
multilayer gradual doping
fast
and soft
recovery
分类号
TN313.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
快恢复二极管软度参数的调整
被引量:
1
2
作者
张华曹
机构
西安理工大学
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期16-18,共3页
文摘
探讨了快恢复二极管制造过程中, 选择适当的复合中心能级去调整快恢复二极管软度因子和软度的可行性。实验结果说明, 选用σp/σn 比值较小的复合中心能级可以改善二极管的软度参数。
关键词
二极管
快恢复二极管
软度参数
调整
Keywords
fast recovery diode softness parameters adjusting
分类号
TN315.2 [电子电信—物理电子学]
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
大功率快速软恢复二极管概述
被引量:
10
3
作者
张海涛
张斌
机构
清华大学核能设计研究院
出处
《半导体情报》
2001年第3期1-3,32,共4页
文摘
详细介绍了快速软恢复二极管的工作原理、参数分析和现状 ,并且指出了快速软恢复二极管的发展方向及主要的技术难点。
关键词
功率二极管
软恢复
工作原理
Keywords
diode
parameter
soft
recovery
分类号
TN313.4 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
快速软恢复二极管的仿真设计
4
作者
张海涛
张斌
机构
清华大学核能技术设计研究院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期73-76,共4页
文摘
讨论了快速软恢复二极管的工作原理及主要相关参数,利用软件SILVACO进行仿真设计并用于二极管的制作中。
关键词
仿真设计
快速二极管
软恢复
工作原理
Keywords
fast
diode
soft-
recovery
simulate
分类号
TN31 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
高性能场终止寿命控制FRD芯片工艺研究
被引量:
1
5
作者
刘建华
郎金荣
周卫平
机构
上海先进半导体制造股份有限公司
出处
《集成电路应用》
2017年第8期45-50,共6页
基金
上海市科学技术委员会科技创新行动计划高新技术基金(17DZ1100300)
文摘
快恢复二极管(Fast recovery diode,FRD)是重要的功率器件,广泛应用于智能电网、新能源汽车、光伏和轨道牵引等重要场合,具有重要的战略意义和市场价值。为了突破FRD的关键技术瓶颈,本项目研究了高性能场终止寿命控制1 200 V等系列FRD芯片工艺技术。采用H+注入辐照局域寿命控制技术与电子辐照全局寿命控制技术,兼顾了提高软度因子和降低反向恢复时间两方面的关键性能要求。采用扩散片衬底引入场终止层结构极大地改善了快恢复二极管的软度因子,改善了正向导通压降V f,提高了器件的高温耐压特性。测试结果表明,研制的1 200 V FRD器件正向导通电压为1.6~2.0 V,反向击穿电压为1 270~1 380 V,反向恢复时间为100~200 ns,与国际同类高性能FRD器件性能相当。快速高可靠性FRD的成功研制,对我国突破高性能FRD在高端领域的制造工艺技术具有重要的意义。
关键词
功率器件
快恢复二极管
载流子寿命控制
场终止
软度因子
半绝缘多晶硅
Keywords
power device
fast
recovery
diode
s
carrier lifetime control
field stop
soft
recovery
factor
emergency response
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型n^-区多层渐变掺杂SiGe/Si功率开关二极管
马丽
高勇
王彩琳
《电子器件》
CAS
2004
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
快恢复二极管软度参数的调整
张华曹
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
大功率快速软恢复二极管概述
张海涛
张斌
《半导体情报》
2001
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
快速软恢复二极管的仿真设计
张海涛
张斌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
高性能场终止寿命控制FRD芯片工艺研究
刘建华
郎金荣
周卫平
《集成电路应用》
2017
1
在线阅读
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职称材料
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