基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建研究

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作者 端方 张海刚 +5 位作者 孙巍 朱建鹏 王贤浩 邱婷婷 王英 杨明来 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期711-723,共13页

由FIB与SEM结合而成的双束系统拥有高精度微纳加工能力的同时也具有超高空间分辨率成像功能。在微纳尺度下使用双目立体视觉进行三维重建对指导微纳材料加工等具有重要意义。本文提出了一种基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建方... 由FIB与SEM结合而成的双束系统拥有高精度微纳加工能力的同时也具有超高空间分辨率成像功能。在微纳尺度下使用双目立体视觉进行三维重建对指导微纳材料加工等具有重要意义。本文提出了一种基于双目视觉的FIB-SEM双束系统图像三维重建方案:利用双目视觉结合图像处理技术测量出样品表面的深度信息。实验结果表明,该方法显著提高了微纳样品表面深度信息的精准度,为SEM图像三维构建提供了新的思路和方法,为FIB-SEM系统的精细加工提供了有力的保障。 展开更多

关键词 fib-sem双束系统 三维重建 双目立体视觉 数字图像处理

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基于FIB-SEM双束系统的纳尺度真空间隙电学特性原位实验装置

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作者 孟国栋 董承业 +1 位作者 门闯 成永红 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第6期526-532,共7页

纳米尺度真空电气击穿与绝缘特性研究是高电压与绝缘技术领域的前沿课题。一方面,随着微纳尺度加工技术的不断发展,电气部件和电子器件的特征物理尺寸已经逐步降低到微米、纳米甚至是分子原子尺度,并且在军事和民用领域得到越来越广泛... 纳米尺度真空电气击穿与绝缘特性研究是高电压与绝缘技术领域的前沿课题。一方面,随着微纳尺度加工技术的不断发展,电气部件和电子器件的特征物理尺寸已经逐步降低到微米、纳米甚至是分子原子尺度,并且在军事和民用领域得到越来越广泛的应用;另一方面,传统的放电击穿理论和绝缘性能评价方法无法用来解释和预估微纳尺度的放电特性和绝缘水平。因此,本文基于聚焦离子束和扫描电子显微镜(FIB-SEM)双束系统,借助纳米压电位移技术和微弱电流测量技术,建立了纳尺度真空间隙电学特性的原位研究系统。该系统不仅能够进行微纳尺度(曲率半径为15 nm^10μm)金属电极的原位加工,材料组成成分的定量分析,而且可以实现纳尺度真空间隙(>20 nm)的放电特性研究,为纳尺度击穿规律和绝缘特性的实验研究提供了有力的支撑。 展开更多

关键词 fib-sem双束系统 纳尺度真空间隙 电气击穿 原位研究

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FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的应用 被引量：3

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作者 霍发燕 《电子工艺技术》 2022年第4期238-240,共3页

FIB-SEM(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope)双束系统是集聚焦离子束和扫描电子显微镜与一体的系统,其最大的优势是可以实现离子束切割或微加工的同时用电子束实时观察的功能。主要介绍FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷... FIB-SEM(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope)双束系统是集聚焦离子束和扫描电子显微镜与一体的系统,其最大的优势是可以实现离子束切割或微加工的同时用电子束实时观察的功能。主要介绍FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的常见应用,如盲孔孔底分析、杂物失效分析和晶体结构分析。 展开更多

关键词 fib-sem双束系统 PCB IC载板 盲孔孔底分析 杂物失效分析 晶体结构分析

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FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍 被引量：23

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作者 付琴琴 单智伟 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期81-89,共9页

聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展... 聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。本文介绍了双束系统中的一些关键概念及基本原理并综述了其在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜(TEM)样品制备,微纳尺度力学测试样品制备以及材料三维成像及分析。 展开更多

关键词 fib-sem双束系统 TEM样品制备 微纳尺度力学测试样品制备 三维成像及分析

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小鹏P7电动汽车高压系统结构原理(上)

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作者 刘春晖 何运丽 《汽车维修与保养》 2025年第1期47-49,共3页

小鹏P7是一款中型纯电动汽车,具有较高的性能表现。小鹏P7在动力系统方面,提供了后驱版和四驱版两种车型。后驱版采用单电机,最大功率为196kW,最大扭矩为390Nm;四驱版则采用双电机,总功率为316kW,总扭矩为655Nm。小鹏P7高压系统在车上... 小鹏P7是一款中型纯电动汽车,具有较高的性能表现。小鹏P7在动力系统方面,提供了后驱版和四驱版两种车型。后驱版采用单电机,最大功率为196kW,最大扭矩为390Nm;四驱版则采用双电机,总功率为316kW,总扭矩为655Nm。小鹏P7高压系统在车上的分布如图1所示,高压线束在车上的分布如图2所示,高压线束的外观如图3所示。 展开更多

关键词 最大扭矩 电动汽车 最大功率 系统结构原理 双电机 高压线束 四驱 动力系统

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基于射线理论面向层状介质的三维观测系统聚焦束分辨率计算 被引量：2

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作者 杨萌萌 刘学伟 +2 位作者 谢城亮 刘继红 杜百灵 《石油地球物理勘探》 EI CSCD 北大核心 2011年第5期669-674,836+659,共6页

本文用射线理论简化了观测系统双聚焦束分辨率的计算,即首先根据射线理论求得由目标点激发的地表响应——CFP道集,再将CFP道集向下延拓聚焦到目标层,得到聚焦束。观测系统中检波点和震源分布密集时成像效果更好。当存在较大倾角构造时,... 本文用射线理论简化了观测系统双聚焦束分辨率的计算,即首先根据射线理论求得由目标点激发的地表响应——CFP道集,再将CFP道集向下延拓聚焦到目标层,得到聚焦束。观测系统中检波点和震源分布密集时成像效果更好。当存在较大倾角构造时,成像点周围的能量团会向构造倾向偏离,且在观测系统(检波点和震源点分布)稀疏时更明显。理论和实际模型试算结果均表明,该方法计算速度较快、效率较高,且符合精度要求。 展开更多

关键词 聚焦束 三维地震观测系统 射线理论 分辨率 双聚焦

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双驱动射频负氢离子源匹配网络设计与实验研究

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作者 阳璞琼 李宇乾 +4 位作者 蒋才超 潘军军 刘波 陈世勇 谢远来 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期155-160,共6页

随着磁约束聚变实验装置对中性束注入器的输出束流强度与脉冲时间的要求越来越高,开展高功率大面积射频离子源的研究迫在眉睫。为了实现大面积、高密度均匀等离子体放电,基于多驱动射频离子源的设计是当前的发展趋势,而阻抗匹配网络是... 随着磁约束聚变实验装置对中性束注入器的输出束流强度与脉冲时间的要求越来越高,开展高功率大面积射频离子源的研究迫在眉睫。为了实现大面积、高密度均匀等离子体放电,基于多驱动射频离子源的设计是当前的发展趋势,而阻抗匹配网络是射频功率源将最大功率输送至线圈并耦合至等离子体的关键,故对其结构设计和调谐特性的研究是不可或缺的。基于前期在单驱动射频离子源的研究基础上,结合双驱动射频离子源的放电需求,开展了双驱动阻抗匹配网络优化结构的设计与分析,通过实验中对匹配网络的调谐,成功实现了140 kW高功率和25 kW/1 000 s长脉冲的稳定运行。随后在等离子体稳定放电的基础上研究了两个驱动器之间的功率分配均匀性问题,实验结果表明了该匹配网络的优化设计合理可行,上下驱动器的射频功率分配基本均匀。 展开更多

关键词 中性束注入系统 双驱动射频离子源 阻抗匹配 射频功率传输系统 等离子体

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一种改进的观测系统双聚焦成像分析方法及应用

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作者 侯海龙 禹金营 +2 位作者 崔庆辉 倪良健 林文龙 《石油物探》 CSCD 北大核心 2023年第4期605-613,共9页

基于偏移成像分辨率对观测系统进行量化评价,可在地震采集设计阶段为获得最佳成像效果提供保证。目前基于偏移成像分辨率的观测系统评价方法以双聚焦分析为主,其实现过程包含了波场延拓,因而导致双聚焦计算效率低。针对常规双聚焦分析... 基于偏移成像分辨率对观测系统进行量化评价,可在地震采集设计阶段为获得最佳成像效果提供保证。目前基于偏移成像分辨率的观测系统评价方法以双聚焦分析为主,其实现过程包含了波场延拓,因而导致双聚焦计算效率低。针对常规双聚焦分析方法效率低的缺点,对其进行如下改进:首先利用基于有限频斯奈尔定律和粘弹介质模型的高斯束正演得到目标点的CFP道集,再根据计算得到的旅行时,将CFP道集在目标点平面内进行检波点和炮点双聚焦,最后以聚焦主能量的宽度作为偏移成像分辨率对观测系统进行评价。改进后的双聚焦分析方法在射线追踪时考虑了菲涅尔带的影响,同时在动力学追踪时考虑了品质因子的影响以及子波主频的变化,因此计算结果更为真实可靠。该方法原理与叠前深度偏移一致,模型应用结果表明,该方法能够高效、可靠地针对地下某一目标点或目标层进行观测系统偏移成像分辨率量化评价,对于复杂地质目标的三维观测系统设计具有较高的应用价值。 展开更多

关键词 观测系统 双聚焦 高斯束 有限频斯奈尔定律 品质因子

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高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制 被引量：1

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作者 付秀华 唐昊龙 +2 位作者 刘国军 刘凤娥 张静 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第12期3380-3385,共6页

为了同时实现高双折射高非线性并得到低损耗，设计一种在光纤纤芯附近引入椭圆形空气孔和圆形空气孔组成的新型优化的八边形光子晶体光纤。采用全矢量有限元法结合各向异性完美匹配层，对该光纤的有效面积、非线性、双折射和损耗特性进... 为了同时实现高双折射高非线性并得到低损耗，设计一种在光纤纤芯附近引入椭圆形空气孔和圆形空气孔组成的新型优化的八边形光子晶体光纤。采用全矢量有限元法结合各向异性完美匹配层，对该光纤的有效面积、非线性、双折射和损耗特性进行了模拟分析。数值模拟结果表明，通过选择适当的结构参数，在波长1.55μm处，该光纤具有高双折射高达B=1.68×10-2，比普通光纤高两个数量级，高非线性系数为γ=60 W-1km-1和低损为0.6 dB/km。这种具有高双折射高非线性系数的光纤可用于光通信、偏振敏感的各种设备和产生超连续普等领域。 展开更多

关键词 薄膜 高截止度滤光膜 双离子束溅射 波导测试系统

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大功率激光光纤透镜耦合系统设计 被引量：2

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作者 邓元龙 姚建铨 +1 位作者 阮双琛 孙秀泉 《光电技术应用》 2005年第3期7-10,共4页

在不考虑像差的情况下,采用傍轴光线传输ABCD定律,结合混合模系数M(或M2)的定义,研究了大功率LD尾纤输出的混合模类高斯光束经透镜之后束腰及束腰位置和发散角的变化,并在此基础上,利用MATLAB软件中的优化设计工具,提出一种设计大功率... 在不考虑像差的情况下,采用傍轴光线传输ABCD定律,结合混合模系数M(或M2)的定义,研究了大功率LD尾纤输出的混合模类高斯光束经透镜之后束腰及束腰位置和发散角的变化,并在此基础上,利用MATLAB软件中的优化设计工具,提出一种设计大功率激光光纤准直———聚焦双透镜耦合系统的简单方法,最后给出了一个光子晶体光纤激光器透镜耦合系统设计实例. 展开更多

关键词 系统设计 激光光纤 光子晶体光纤激光器 MATLAB软件 ABCD定律 耦合系统 混合模系数 大功率激光 光线传输 束腰位置 高斯光束 设计工具 简单方法 光纤准直 设计实例 发散角 双透镜 尾纤 LD 聚焦

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欧洲雷达成像卫星系统最新发展

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作者 徐冰 《国际太空》 2017年第6期49-53,共5页

欧洲在发展雷达成像卫星方面以德国、意大利、西班牙以及欧洲航天局为代表。在雷达成像卫星发展方面各具特色,德国倾向于军、民用系统分立发展;意大利侧重于发展军民共用系统;西班牙起步较晚,主要借助德国民商共用系统的发展策略（公私... 欧洲在发展雷达成像卫星方面以德国、意大利、西班牙以及欧洲航天局为代表。在雷达成像卫星发展方面各具特色,德国倾向于军、民用系统分立发展;意大利侧重于发展军民共用系统;西班牙起步较晚,主要借助德国民商共用系统的发展策略（公私合营）和成熟技术;欧洲航天局则在＂哥白尼＂计划下发展哨兵-1（Sentinel-1）系列雷达成像卫星。欧洲现役雷达成像卫星能力较为先进,成像模式多样化,最高分辨率达到0.25m。 展开更多

关键词 雷达成像 欧洲航天局 卫星系统 合成孔径雷达 成像模式 双极化 聚束 航天公司 交叉极化 全极化

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基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品 被引量：8

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作者 王磊 曲迪 +1 位作者 姬静远 白国人 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期50-54,共5页

针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更... 针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更深入地研究尖晶石材料的结构和性能奠定了基础。 展开更多

关键词 聚焦离子束扫描电镜双束系统 微米颗粒 球差校正透射电镜样品

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海底电缆地震采集方案优化及关键处理技术——以北部湾盆地WS区为例 被引量：5

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作者 袁全社 李列 +3 位作者 张兴岩 柴继堂 李林 王大为 《中国海上油气》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期54-60,共7页

北部湾盆地WS区中深层流沙港组具有很大的勘探潜力,但利用现有地震资料进行精细构造解释和油藏描述非常困难,无法满足勘探和开发研究的要求。海底电缆地震采集和处理技术在改善中深层复杂构造成像方面优势明显,适用于复杂浅水区采集环... 北部湾盆地WS区中深层流沙港组具有很大的勘探潜力,但利用现有地震资料进行精细构造解释和油藏描述非常困难,无法满足勘探和开发研究的要求。海底电缆地震采集和处理技术在改善中深层复杂构造成像方面优势明显,适用于复杂浅水区采集环境。针对WS区中深层勘探面临的复杂构造成像问题,提出了高密度宽方位海底电缆地震勘探技术应用思路,重新确定面元尺寸并优化观测系统,重点开展Z分量高保真噪声衰减、P-Z分量双检合并和宽方位控制射线束叠前深度偏移成像等3项关键处理技术研究。应用效果表明,WS区地震资料品质得到了明显改善,有效提高了地震解释研究的可靠性,促进了该区后续勘探研究。 展开更多

关键词 海底电缆地震勘探技术 面元尺寸 观测系统 Z分量高保真噪音衰减 P-Z分量双检合并 宽方位控制射线束偏移 北部湾盆地

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