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FBAR技术的敏感应用与发展研究
1
作者
何杰
袁小平
+5 位作者
刘荣贵
许昕
李昕
袁媛
毛海燕
马晋毅
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第1期19-26,31,共9页
薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型...
薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型化、智能化、信息化的主流发展趋势。该文对FBAR传感器的研究现状、发展动向等方面进行了总结并对石英晶体微天平(QCM)、声表面波(SAW)和FBAR这几种声波质量传感器进行了比较。最后对FBAR传感器技术作了简要评述并讨论了FBAR传感器未来的发展趋势。
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关键词
薄膜声体波谐振器(
fbar
)
fbar
质量
传感器
fbar物理传感器
声波质量
传感器
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职称材料
题名
FBAR技术的敏感应用与发展研究
1
作者
何杰
袁小平
刘荣贵
许昕
李昕
袁媛
毛海燕
马晋毅
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第1期19-26,31,共9页
文摘
薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型化、智能化、信息化的主流发展趋势。该文对FBAR传感器的研究现状、发展动向等方面进行了总结并对石英晶体微天平(QCM)、声表面波(SAW)和FBAR这几种声波质量传感器进行了比较。最后对FBAR传感器技术作了简要评述并讨论了FBAR传感器未来的发展趋势。
关键词
薄膜声体波谐振器(
fbar
)
fbar
质量
传感器
fbar物理传感器
声波质量
传感器
Keywords
fbar
fbar
mass sensor
fbar
physical sensor
acoustic wave mass sensor
分类号
TM215.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN65 [电子电信—电路与系统]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
FBAR技术的敏感应用与发展研究
何杰
袁小平
刘荣贵
许昕
李昕
袁媛
毛海燕
马晋毅
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014
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