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题名MEMS F-P干涉型压力传感器
被引量：15
- 1
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作者
江小峰
林春
谢海鹤
黄元庆
颜黄苹
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机构
厦门大学物理机电学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第7期2257-2262,共6页
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基金
福建省自然科学基金(2013J01251)
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文摘
为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求，提出了基于微机电系统（MEMS，Micro electromechanical System）技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗（F-P）压力传感器，该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS技术制作全玻璃结构式压力传感器工艺，结合溅射、光刻、腐蚀等工艺在7740 wafer基底上制作出F-P腔体，利用低压化学气相沉积（LPCVD）的方法在基底上沉积一层40 nm的非晶硅作为中间层。通过阳极键合技术在温度400℃下完成玻璃与玻璃的键合，并搭建了该传感器的压力测量平台。实验结果表明：在压力线性范围0-400 kPa内传感器具有很高的重复性，达到0.3%。灵敏度达到1.764 nm/kPa；在传感器使用范围0-80℃内，热敏感系数为0.15 nm/℃。该传感器的研究对设计制作改善了该类传感器的热膨胀失配问题，对低温漂型压力传感器的研究有一定参考价值。
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关键词
光纤传感器
MEMS
全玻璃材料
f—p腔制作
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Keywords
optical sensor
MEMS
all-glass material
fabrication of f-p cavity
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分类号
TP394.1
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名光纤光栅解调系统的寻峰算法研究
被引量：14
- 2
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作者
张天地
贺锋涛
周强
贾琼瑶
李雪峰
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机构
西安邮电大学电子工程学院光电子技术系
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期36-39,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60878060)
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文摘
为了提高光纤光栅波长解调系统的反射谱寻优精度,利用遗传算法的未成熟收敛性进行了研究。阐明了遗传算法提高解调精度的原理,以可调谐F-P腔的光纤光栅解调系统为基础,验证了算法的可行性和可靠性。使用MAT-LAB对F-P腔滤波光纤光栅解调系统的反射光谱进行寻峰,得到传感光纤光栅的中心波长。分析了算法中初始种群数量、遗传代数、变异率对的寻优结果影响,并得到一组最佳遗传算法参量。算法精度达到3pm数量级,50次重复计算数据标准差小于0.5pm。结果表明,该算法稳定高效、实用性强,可以显著减小噪声对光纤光栅传感系统的影响,提高解调精度。
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关键词
传感器技术
光纤布喇格光栅解调
f—p腔滤波器
遗传算法
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Keywords
sensor technique
fiber Bragg grating demodulation
f-p wavelength filter
genetic algorithm
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分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
TP212.14
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名MOCVD生长的InGaN合金的发光特性
被引量：5
- 3
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作者
竹有章
陈光德
谢伦军
唐远河
邱复生
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机构
西安交通大学理学院应用物理系
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出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期602-606,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10474078)
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文摘
研究了用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石基底上生长的InGaN样品的发光特性。样品XRD谱中存在InGaN、In、InN相,表明样品中存在相分离;透射谱能看到由于F-P腔调制引起的震荡;相对氙灯激发发光谱,激光激发的发光谱其发光峰位置发生蓝移。由于样品上下表面形成F-P腔,对发光谱产生强烈的调制,在较高强度激发下,在室温下带边峰分成三个峰,其中波长较短的两个发光峰表现出相同的特征,其发光机制可能为以In量子点为局域中心的局域化激子复合发光,而波长较长的发光峰,是一个超线性受激发光峰,其发光机制可能是电子-空穴等离子的散射。不同温度的PL谱表明两个主要的发光峰表现出不同的温度特征,利用F-P干涉理论分析可知,当温度高于120 K后样品折射率随着温度的升高而增大。
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关键词
INGAN
光致发光
f—p腔
受激辐射
折射率
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Keywords
InGaN
pL spectra
f-p cavity
refract index
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分类号
O472.3
[理学—半导体物理]
O482.31
[理学—固体物理]
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题名相位调制光外差稳频信号检测技术
被引量：4
- 4
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作者
胡姝玲
耿伟彪
苑丹丹
刘宏海
马静
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机构
北京航空航天大学惯性技术重点实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第1期233-238,共6页
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基金
国家自然科学基金(61074158)
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文摘
在高功率条件下,由于受到多种因素的影响,单频光纤激光器输出激光的谱线宽度大幅展宽,输出激光的稳定性也不高。相位调制光外差稳频(PDH)技术在高功率条件下可以实现高频率稳定性。为实现对中心波长为1 064 nm的单频光纤激光器的稳频,理论分析了PDH稳频系统的原理并搭建PDH稳频系统。实验发现100 MHz相位调制光外差信号的检测是稳频系统的关键。实验中首先利用自行设计的探测器前置放大电路,基于Si探测器,实现了信号的探测和放大;其次,设计解调电路,通过将光电转换后的信号与参考信号进行混频实现解调,得到鉴频曲线,实现对光外差信号的检测。
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关键词
光外差信号
激光稳频
f—p腔
pDH
技术
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Keywords
optical heterodyne signal
laser frequency stabilization
f-p cavity
pDH technology
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分类号
TN248.1
[电子电信—物理电子学]
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题名基于一维非线性光子晶体的光学二极管优化设计
被引量：2
- 5
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作者
陈宪锋
汪萨克
王光
沈小明
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机构
常州大学数理学院
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期612-616,共5页
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基金
江苏省高校自然科学基础研究项目(07KJD140036)
江苏工业学院科技计划项目(JS200802)资助课题
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文摘
基于F-P腔理论研究了不对称非线性缺陷光子晶体的光学二极管效应。要有效提高光学二极管的正反向透射比,同时又要保证正向透射率不太低,应增大入射光频率的预置量,适当提高缺陷两侧结构的不对称性,并使入射光强在相应变化范围内靠近低值。数值模拟结果支持了该理论的分析。
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关键词
非线性光学
光学二极管
双稳态
f—p腔
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Keywords
nonlinear optics
optical diode
bistability
fabry-perot cavity
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分类号
O437
[机械工程—光学工程]
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题名分子谱线参数测量新方法
被引量：1
- 6
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作者
高晓明
谈图
Hiroyuki Sasada
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机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光谱学实验室和大气光学研究中心
Depatment of Physics
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期135-138,共4页
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基金
国家863计划资源与环境技术领域基金(2006AA06Z237)
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文摘
介绍了一种利用F-P腔透射峰宽度测量分子谱线参数的新方法,论文从多光束干涉叠加原理出发,推导出有样品气体吸收的F-P腔的透过率函数,F-P腔的透过率是样品气体吸收线型的函数,随着样品吸收的增加,F-P腔透射条纹宽度增加。实验测量得到的谱线强度与HITRAN2004数据库数据、谱线宽度与理论计算结果很好地一致.
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关键词
光谱学
f—p腔
分子谱线参数
吸收
多光束干涉
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Keywords
Spectroscopy
f-p cavity
molecule line parameter
absorption
multi-beam interference
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分类号
O433.1
[机械工程—光学工程]
O562.3
[理学—原子与分子物理]
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题名低功率光学双稳态中热对流的研究
- 7
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作者
周海光
陈书潮
吴河浚
林则明
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机构
厦门大学物理系
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
1992年第S1期57-58,共2页
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基金
福建省自然科学基金
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文摘
自1976年首次在充以纳蒸汽的F—P腔内观察到光学双稳态以来,已发表了大量双稳态文章,但所需要的临界入射功率都较高。而要实现低功耗,小体积的双稳态器件就需要降低临界入射光功率,但这几年对低功率本征型光学双稳态的研究仅考虑利用F—P腔反射面直接吸收激光热量后通过热传导传递给腔内夹层的介质,而未涉及到热对流的传递方式,考虑到F—P腔夹层如果为气体,液体或液晶等介质,就不能忽视热对流的作用。如采用低分子量的单体液晶化合物(如5CB)。室温下它们的粘度约为25至60cst。可毫无困难地进行热对流,尤其是在相变点附近。
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关键词
光学双稳态
热对流
低功率
临界入射
液晶化合物
相变点
f—p腔
双稳态器件
本征型
低功耗
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分类号
TN201-55
[电子电信—物理电子学]
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