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题名量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用
被引量：5
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作者
梅雪峰
匡尚奇
谢耀
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机构
长春理工大学理学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2016年第4期1-7,共7页
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基金
国家自然科学基金青年基金项目(61405189)
吉林省自然基金项目(20150101019JC)
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文摘
针对EUV多层膜的表征和设计过程中普遍采用的遗传算法（GA）存在的大种群和求解效率低的问题,本文将实数编码量子进化算法（QEA）应用于EUV多层膜的表征和宽光谱EUV多层膜的设计过程中。分别采用实数编码GA和QEA对理论仿真的EUV多层膜的X射线掠入射反射谱进行反演拟合和宽光谱EUV多层膜的反射谱进行设计,进而将QEA在EUV多层膜表征和设计方面的性能进行对比分析。分析结果表明,QEA在多层膜的表征方面具有小种群和反演求解效率高的优点,多层膜的膜厚拟合精度可达±0.1nm;在多层膜设计方面,量子进化算法同样具有小种群的优势,同时求解效率较GA算法接近,设计的多层膜反射率带宽为13～15nm,反射率可达25%。相关工作展现出QEA算法在多层膜研发方面的应用价值,为进一步工作打下基础。
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关键词
euv多层膜
量子进化算法
膜系设计
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Keywords
euv multilayer
quantum evolutionary algorithm
coating design
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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