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ELID磨削──硬脆材料精密和超精密加工的新技术 被引量:22
1
作者 张飞虎 朱波 +1 位作者 栾殿荣 袁哲俊 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期51-55,共5页
金属基超硬磨料砂轮在线电解修整(ElectrolyticInprocesDresing,简称ELID)磨削技术是国外近年发展起来的一种硬脆材料精密和超精密加工新技术。本文介绍了ELID磨削技术的基本原理、工艺特点和... 金属基超硬磨料砂轮在线电解修整(ElectrolyticInprocesDresing,简称ELID)磨削技术是国外近年发展起来的一种硬脆材料精密和超精密加工新技术。本文介绍了ELID磨削技术的基本原理、工艺特点和国内外研究应用情况。应用ELID磨削技术。 展开更多
关键词 精密 超精神加工 磨削 砂轮 修整 elid
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ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密加工中的应用 被引量:9
2
作者 关佳亮 范晋伟 马春敏 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期486-488,共3页
介绍了ELID磨削技术的基本原理,分析了ELID技术磨削硬脆材料的加工机理,并应用该技术对硬质合金、工程陶瓷和光学玻璃等典型硬脆材料实现了超精密镜面加工.磨后工件达到Ra为0.003~0.018的镜面.
关键词 elid磨削 硬脆材料 加工机理 精密镜面加工 磨削原理 精密精密加工
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应用ELID技术进行微晶玻璃超精密磨削 被引量:7
3
作者 仇中军 张飞虎 谢大纲 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2002年第1期37-39,36,共4页
由于微晶玻璃具有优良的物理、机械性能 ,在光学等领域得到了越来越多的应用。ELID磨削利用在线电解的方法修整超细粒度的金刚石砂轮 ,可以有效地实现硬脆材料的超精密加工。本文将ELID磨削技术应用于微晶玻璃的超精密加工 ,通过改进ELI... 由于微晶玻璃具有优良的物理、机械性能 ,在光学等领域得到了越来越多的应用。ELID磨削利用在线电解的方法修整超细粒度的金刚石砂轮 ,可以有效地实现硬脆材料的超精密加工。本文将ELID磨削技术应用于微晶玻璃的超精密加工 ,通过改进ELID磨削的关键技术 ,包括砂轮电火花整形、电解修整电源和ELID磨削液的改进 ,实现了微晶玻璃的超精密磨削加工 ,同时通过采用原子力显微镜对不同磨削参数下的工件表面进行分析 ,以保证在塑性状态下对微晶玻璃进行磨削。因此提高了ELID磨削的质量。获得了Ra 2 .30 8nm的较好表面质量。 展开更多
关键词 微晶玻璃 精密磨削 elid磨削 砂轮修整 磨削
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ELID精密镜面磨削技术的应用
4
作者 关佳亮 范晋伟 马春敏 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期420-421,429,共3页
采用自行开发ELID的磨削装置对硬质合金、工程陶瓷、高速钢等难加工材料进行精密镜面磨削,得到表面粗糙度为Ra0.003~0.025μm的加工表面.实现了ELID磨削技术在平面、内圆和外圆精密镜面磨削中的应用.
关键词 elid磨削 平面 内圆 精密镜面磨削 难加工材料 表面粗糙度 在线电解修锐磨削
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金刚石复合片ELID精密磨削工艺及机理研究 被引量:1
5
作者 关佳亮 赵显辉 +2 位作者 任勇 孙晓楠 陈玲 《工具技术》 北大核心 2016年第11期34-37,共4页
针对金刚石复合片的超精密加工难题,基于正交试验法优化金刚石复合片ELID精密磨削参数组合,采用极差分析得到了各因素对加工质量的影响程度大小,并以此为基础进行了工艺实验。根据金刚石复合片磨削加工后的SEM电镜扫描图,对其表面磨削... 针对金刚石复合片的超精密加工难题,基于正交试验法优化金刚石复合片ELID精密磨削参数组合,采用极差分析得到了各因素对加工质量的影响程度大小,并以此为基础进行了工艺实验。根据金刚石复合片磨削加工后的SEM电镜扫描图,对其表面磨削机理及加工表面典型缺陷进行了分析。研究表明,金刚石复合片的ELID精密磨削最优参数为磨削深度为0.3μm、主轴转速1500r/min、占空比40%、工件移动速度为0.25mm/s、电解电压25V、电极间隙1mm。采用优化后的参数组合进行磨削加工,获得了粗糙度为0.019μm的加工表面。 展开更多
关键词 金刚石复合片 elid精密磨削技术 工艺参数 正交试验
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纳米结构陶瓷涂层精密磨削的材料去除机理及磨削加工技术 被引量:10
6
作者 邓朝晖 刘建 +1 位作者 曹德芳 孙宗禹 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2003年第6期5-11,共7页
随着纳米结构陶瓷涂层的开发和应用,其后续精密加工技术已受到人们的关注。纳米结构陶瓷涂层的高硬度和高耐磨性使其成为难加工材料,采用金刚石磨料磨削加工有可能成为其最主要的加工方法。本文首先讨论了纳米结构陶瓷涂层精密磨削的非... 随着纳米结构陶瓷涂层的开发和应用,其后续精密加工技术已受到人们的关注。纳米结构陶瓷涂层的高硬度和高耐磨性使其成为难加工材料,采用金刚石磨料磨削加工有可能成为其最主要的加工方法。本文首先讨论了纳米结构陶瓷涂层精密磨削的非弹性变形和脆性去除的材料去除机理,然后对可用来加工纳米结构陶瓷涂层的超精密金刚石砂轮磨削、ELID磨削、延性域磨削、超高速磨削、精细磨削等磨削加工技术进行了分析,分析了它们的材料去除机理和技术特点。在此基础上,本文指出了相关的有待进一步研究的课题。 展开更多
关键词 精密磨削 纳米结构陶瓷涂层 非弹性变形 脆性去除 elid磨削 延性域磨削 超高速磨削
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ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密加工中的应用分析
7
作者 周霞瑜 洪文仪 《河北农机》 2014年第4期51-52,共2页
硬脆材料带有偏大的加工难度。这样的材料,涵盖了硬质合金、特有规格的光学玻璃、陶瓷及特有的半导体。在加工这些原料时,磨削技术被接纳和运用。然而,惯用的磨削工艺,带有偏低的实效,且砂轮很易损毁,或者被阻塞掉。这样的状态,破坏掉... 硬脆材料带有偏大的加工难度。这样的材料,涵盖了硬质合金、特有规格的光学玻璃、陶瓷及特有的半导体。在加工这些原料时,磨削技术被接纳和运用。然而,惯用的磨削工艺,带有偏低的实效,且砂轮很易损毁,或者被阻塞掉。这样的状态,破坏掉了脆性的表层。ELID这样的磨削办法,带有在线电解的特性,在磨削流程以内,维护了微粒应有的锋利状况。因此,有必要摸索ELID涵盖着的原理,在精密加工这一领域,运用如上的技术。 展开更多
关键词 elid磨削技术 硬脆材料 精密精密加工 具体应用
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陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究 被引量:8
8
作者 周曙光 关佳亮 徐中耀 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2000年第6期23-24,27,共3页
在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精... 在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精度高、表面质量好 。 展开更多
关键词 精密镜面磨削 超硬磨料砂轮 陶瓷喷涂层 elid
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氧化铝陶瓷ELID高效磨削技术的研究 被引量:4
9
作者 康桂文 栾殿荣 张飞虎 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2004年第1期70-72,共3页
陶瓷材料具有优异的机械性能,其应用越来越广泛。然而由于陶瓷的高硬度及其易碎性使其难于加工。在线电解修整磨削技术已经被应用于硬脆材料的超精密加工,由于可以实现砂轮的在线修整,尤其被广泛应用于细粒度砂轮的磨削中。本文在平面... 陶瓷材料具有优异的机械性能,其应用越来越广泛。然而由于陶瓷的高硬度及其易碎性使其难于加工。在线电解修整磨削技术已经被应用于硬脆材料的超精密加工,由于可以实现砂轮的在线修整,尤其被广泛应用于细粒度砂轮的磨削中。本文在平面磨床上应用铸铁结合剂金刚石砂轮与ELID磨削技术进行高教磨削研究。实验结果表明,在同样的磨削条件下,采用ELID磨削时的磨削力约为使用树脂结合剂砂轮磨削力的2/5~3/5。实验结果说明采用ELID磨削技术加工效率可以得到极大提高。而且,在线电解修整作用可以保持砂轮的锋锐性,有利于保持硬脆材料高效磨削的连续性。 展开更多
关键词 磨削 elid磨削 硬脆材料 氧化铝陶瓷 精密加工
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ELID镜面磨削技术——应用 被引量:2
10
作者 周曙光 关佳亮 +1 位作者 郭东明 袁哲俊 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2001年第6期37-39,共3页
应用ELID磨削技术 ,分别在平面、内圆和外圆磨床上对多种典型硬脆材料实现了精密镜面磨削。结果表明 ,该技术精度高、成本低、工艺简单可靠 ,具有广阔的应用前景。
关键词 elid磨削 硬脆材料 精密镜面磨削
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用SACP技术研究ELID磨削后的单晶硅片表面变质层 被引量:2
11
作者 刘世民 于栋利 +3 位作者 田永君 何巨龙 李东春 陈世镇 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期537-537,共1页
用SACP技术研究ELID磨削后的单晶硅片表面变质层*刘世民1,2于栋利2田永君2何巨龙2李东春2陈世镇2(1.秦皇岛玻璃研究设计院,秦皇岛066004)(2.燕山大学,秦皇岛066004)单晶硅片的表面质量是制约制... 用SACP技术研究ELID磨削后的单晶硅片表面变质层*刘世民1,2于栋利2田永君2何巨龙2李东春2陈世镇2(1.秦皇岛玻璃研究设计院,秦皇岛066004)(2.燕山大学,秦皇岛066004)单晶硅片的表面质量是制约制造超大规模集成电路成品率的主要因素... 展开更多
关键词 单晶硅片 表面变质层 SACP技术 elid 磨削
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ELID磨削技术在回转曲面加工中的应用 被引量:1
12
作者 戴珏 周旭光 +1 位作者 阎秋生 孔令叶 《工具技术》 北大核心 2008年第2期35-38,共4页
ELID(Electrolytic In-Process Dressing)磨削和轨迹包络磨削加工法(AEGM)是近年来发展的高效、精密磨削加工方法。本文在介绍这两种加工方法的基础上提出了应用ELID磨削技术采用轨迹包络磨削法加工回转曲面的加工工艺,在充分发挥ELID... ELID(Electrolytic In-Process Dressing)磨削和轨迹包络磨削加工法(AEGM)是近年来发展的高效、精密磨削加工方法。本文在介绍这两种加工方法的基础上提出了应用ELID磨削技术采用轨迹包络磨削法加工回转曲面的加工工艺,在充分发挥ELID磨削技术和轨迹包络磨削加工法优点的基础上,可以实现回转曲面的高效、精密磨削。 展开更多
关键词 elid AEGM 精密磨削 回转曲面
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在线电解修整(ELID)超精密磨削中的金刚石磨具特性研究 被引量:2
13
作者 金卫东 任成祖 王太勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第6期56-58,共3页
ELID(E lectrolytic In-process D ressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理基础上发展起来的一项磨削新技术,主要用于硬脆材料超精密磨削过程中金属基结合剂超硬微细磨粒砂轮的在线修整。本文以金刚石微粉砂轮在线电解修整(ELID... ELID(E lectrolytic In-process D ressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理基础上发展起来的一项磨削新技术,主要用于硬脆材料超精密磨削过程中金属基结合剂超硬微细磨粒砂轮的在线修整。本文以金刚石微粉砂轮在线电解修整(ELID)磨削氮化硅陶瓷为例,着重研究了磨具特性对硬脆材料超精密磨削过程的影响。研究表明,磨具组织沿砂轮圆周的不均匀性将会导致砂轮表面钝化膜状态的不一致,这将直接影响砂轮局部参与切削的磨粒数量,影响单个磨料的实际磨削厚度。这首先将对工件表面的磨削质量,特别是对表面粗糙度产生直接影响,同时也非常不利于实现材料的高效去除。 展开更多
关键词 在线电解修整(elid) 精密磨削 氮化硅 磨具特性
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ELID精密镜面磨削系统电源的使用分析 被引量:1
14
作者 关佳亮 赵增强 +1 位作者 仇忠臣 舒行军 《现代制造工程》 CSCD 2008年第6期12-14,共3页
分析了在线电解磨削(ELID)精密镜面磨削系统的不同电源,通过实验,详细阐述直流电源和直流脉冲电源的电解特点。通过参数对比,得出两种不同电源各自的使用范围,对ELID精密镜面加工电源的选择有较好的指导作用。
关键词 elid精密镜面磨削 直流电源 直流脉冲电源
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在线电解修整砂轮的超精密镜面磨削新技术的发展与应用 被引量:7
15
作者 王平 张春河 +2 位作者 李伟 张飞虎 袁哲俊 《磨料磨具与磨削》 1994年第4期13-15,共3页
在线电解修整砂轮超精密镜面磨削新技术(ELID磨削技术)可以广泛地用于磨削非金属硬脆材料和黑色金属材料,粗糙度低(R_a0.005μm)且磨削力小、效率高。本文还介绍了ELID縻削技术的原理和应用情况。
关键词 elid技术 超镜面磨削 发展 应用
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工程陶瓷材料精密磨削加工技术的新发展 被引量:6
16
作者 铁瑛 赵波 +1 位作者 张波 樊全堂 《焦作工学院学报》 2003年第3期217-220,共4页
随着材料科学技术的进步,有关硬脆材料以及各种增韧、增强新型复合材料的精密、超精密磨削加工技术和材料表面成形技术成为当今世界各国研究的热点.文章介绍了陶瓷材料的结构和力学特性,陶瓷材料磨削机理和当前各种先进的精密磨削加工... 随着材料科学技术的进步,有关硬脆材料以及各种增韧、增强新型复合材料的精密、超精密磨削加工技术和材料表面成形技术成为当今世界各国研究的热点.文章介绍了陶瓷材料的结构和力学特性,陶瓷材料磨削机理和当前各种先进的精密磨削加工方法和超声磨削方法,为陶瓷材料加工的进一步发展提供了依据. 展开更多
关键词 工程陶瓷材料 精密磨削加工技术 硬脆材料 复合材料 材料表面成形技术 磨削机理 超声磨削方法
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精密曲线磨削过程中图像在线检测的去噪技术研究
17
作者 胡德金 王怀 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第18期2180-2181,2208,共3页
通过将景深技术、光源和滤镜技术相结合,辅以正确的投射方式,从源头上消除了精密曲线磨削过程中的噪声影响,保证了图像采集的质量。实验表明,经该方法处理后工件边缘曲线的提取精度可以达到1μm以内,能够保证磨削点的精确提取和砂轮磨... 通过将景深技术、光源和滤镜技术相结合,辅以正确的投射方式,从源头上消除了精密曲线磨削过程中的噪声影响,保证了图像采集的质量。实验表明,经该方法处理后工件边缘曲线的提取精度可以达到1μm以内,能够保证磨削点的精确提取和砂轮磨损的动态补偿,该精度是用纯粹的图像去噪算法很难达到的,且去噪精度不随环境因素的改变而改变。 展开更多
关键词 精密曲线磨削 图像去噪 景深技术 滤镜技术
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航天用SiCp/Al复合材料卫星输出轴精密磨削工艺研究 被引量:4
18
作者 关佳亮 赵显辉 +2 位作者 任勇 孙晓楠 陈玲 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2017年第2期146-149,共4页
针对48%体积比SiCp/Al复合材料卫星专用输出轴的超精密加工难题,采用ELID精密磨削技术对其进行了工艺实验研究。首先,通过建立切入磨粒磨削模型,得到了48%体积比SiCp/Al复合材料的磨削机理及影响因素。然后探究了不同电火花参数对砂轮... 针对48%体积比SiCp/Al复合材料卫星专用输出轴的超精密加工难题,采用ELID精密磨削技术对其进行了工艺实验研究。首先,通过建立切入磨粒磨削模型,得到了48%体积比SiCp/Al复合材料的磨削机理及影响因素。然后探究了不同电火花参数对砂轮修整形貌的影响,并采用极差分析探究了各因素对工件磨削质量影响程度的大小。研究表明,当砂轮转速为1500r/min,进给量0.25μm,进给速度0.9m/min,电解电流10A,占空比60%时,磨削质量最好,得到了表面粗糙度Ra0.096μm,圆柱度0.85μm的48%体积比SiCp/Al复合材料输出轴精密磨削表面。 展开更多
关键词 SICP/AL复合材料 elid精密磨削技术 工艺参数 正交试验
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SiCp/Al复合材料ELID高效磨削表面成型机理研究 被引量:3
19
作者 关佳亮 朱磊 +2 位作者 陈玲 马新强 张孝辉 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第6期129-132,共4页
采用在线电解修整(ELID)磨削技术,对体积分数为40%的SiCp/Al复合材料进行精密磨削实验,获得表面粗糙Ra0.030μm的加工表面。对已加工表面成型机理进行研究,分析了几种典型磨削表面缺陷,总结出SiC p/Al复合材料的磨削特征和去除机理。
关键词 SICP/AL复合材料 elid精密磨削技术 磨削特征 去除机理
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聚焦共性关键技术 推进行业技术进步--走进机械工业精密磨削技术重点实验室 被引量:1
20
作者 逸飞 《航空制造技术》 2020年第8期68-69,共2页
机械工业精密磨削技术重点实验室由上海理工大学与上海机床厂有限公司共建,自2010年挂牌以来,面向高端装备制造产业,聚焦精密制造核心关键技术领域,通过打造国际合作的技术交流平台与国内龙头企业合作的技术应用平台,建设具有国际水平... 机械工业精密磨削技术重点实验室由上海理工大学与上海机床厂有限公司共建,自2010年挂牌以来,面向高端装备制造产业,聚焦精密制造核心关键技术领域,通过打造国际合作的技术交流平台与国内龙头企业合作的技术应用平台,建设具有国际水平的精密制造应用技术研究创新基地,推动我国数控装备行业的创新发展。 展开更多
关键词 机械工业 精密制造 重点实验室 上海理工大学 共性关键技术 精密磨削 数控装备 应用平台
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