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EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究
被引量：
2
1
作者
张可佳
张碧丰
+7 位作者
熊利民
周桃庚
张俊超
孟海凤
蔡川
赫英威
李晓辉
王常世
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第2期246-250,共5页
基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置。分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程。提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无...
基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置。分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程。提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作。基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好。
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关键词
计量学
el红外缺陷测试仪
空间频率响应
分辨率
校准
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职称材料
题名
EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究
被引量：
2
1
作者
张可佳
张碧丰
熊利民
周桃庚
张俊超
孟海凤
蔡川
赫英威
李晓辉
王常世
机构
北京理工大学光电学院光学测量实验室
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018年第2期246-250,共5页
基金
国家863计划(2015AA050303)
国家国际科技合作专项(2015DFA60390)
中国计量科学研究院自筹基本科研业务费(23-AKY1712)
文摘
基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置。分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程。提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作。基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好。
关键词
计量学
el红外缺陷测试仪
空间频率响应
分辨率
校准
Keywords
metrology
el
infrared defect tester
SFR
resolution
calibration
分类号
TB96 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究
张可佳
张碧丰
熊利民
周桃庚
张俊超
孟海凤
蔡川
赫英威
李晓辉
王常世
《计量学报》
CSCD
北大核心
2018
2
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