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基于EFBG的海水入侵地下水盐度监测模拟试验研究
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作者 方锦辉 郭君仪 +3 位作者 姜洪涛 施斌 孙梦雅 魏广庆 《工程地质学报》 北大核心 2025年第3期1206-1215,共10页
海水入侵是沿海地区不可忽视的重大灾害,将导致水质恶化、土壤盐渍化等问题,因此,地下水盐度的原位及实时监测具有重要意义。本文提出了一种基于FBG(Fiber Bragg Grating)滤波特性的盐度传感器。采用化学腐蚀法腐蚀光纤包层,使FBG对外... 海水入侵是沿海地区不可忽视的重大灾害,将导致水质恶化、土壤盐渍化等问题,因此,地下水盐度的原位及实时监测具有重要意义。本文提出了一种基于FBG(Fiber Bragg Grating)滤波特性的盐度传感器。采用化学腐蚀法腐蚀光纤包层,使FBG对外界折射率敏感,从而实现盐度传感。通过MATLAB软件模拟了不同腐蚀程度的FBG的中心波长与盐度的关系,验证了该方法在理论上的可行性。同时对EFBG(Etched Fiber Bragg Grating)分别进行温度和盐度灵敏度的测试,并引入一根未腐蚀的FBG进行温度补偿,实现盐度和温度的同时测量。试验结果表明:不同腐蚀程度的EFBG的波长漂移量与盐度均成线性关系,在一定范围内腐蚀程度越高,盐度灵敏度系数越大,最大可达29.432 pm/%,证明了EFBG对海水盐度测量具有一定可行性。最后提出了一种适用于地下水盐度原位监测的封装方法,为沿海地区海水入侵的研究提供了一种新的测量手段。 展开更多
关键词 efbg(etched fiber Bragg grating) 海水盐度 模拟试验 可行性
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785 nm semiconductor laser with shallow etched gratings
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作者 YUE Yu-xin ZOU Yong-gang +5 位作者 FAN Jie FU Xi-yao ZHANG Nai-yu SONG Ying-min HUANG Zhuo-er MA Xiao-hui 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第4期931-946,共16页
A new type of 785 nm semiconductor laser device has been proposed.The thin cladding and mode expansion layer structure incorporated into the epitaxy on the p-side significantly impacts the regulation of grating etchin... A new type of 785 nm semiconductor laser device has been proposed.The thin cladding and mode expansion layer structure incorporated into the epitaxy on the p-side significantly impacts the regulation of grating etching depth.Thinning of the p-side waveguide layer makes the light field bias to the n-side cladding layer.By coordinating the confinement effect of the cladding layer,the light confinement factor on the p-side is regulated.On the other hand,the introduction of a mode expansion layer facilitates the expansion of the mode profile on the p side cladding layer.Both these factors contribute positively to reducing the grating etching depth.Compared to the reported epitaxial structures of symmetric waveguides,the new structure significantly reduces the etching depth of the grating while ensuring adequate reflection intensity and maintaining resonance.Moreover,to improve the output performance of the device,the new epitaxial structure has been optimized.Based on the traditional epitaxial structure,an energy release layer and an electron blocking layer are added to improve the electronic recombination efficiency.This improved structure has an output performance comparable to that of a symmetric waveguide,despite being able to have a smaller gain area. 展开更多
关键词 surface grating etching depth epitaxial structure recombination efficiency gain area
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g-C_(3)N_(4)的刻蚀介质、酸碱环境对降解性能的影响及降解选择性和机理探究
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作者 郭桂全 邢翠娟 +3 位作者 张淑娇 王彦娜 郭焕焕 武诺豪 《化学研究与应用》 北大核心 2025年第4期814-820,共7页
使用热聚法制备了石墨相氮化碳(g-C_(3)N_(4)),然后用二甲亚砜、NaOH溶液和H_(2)SO_(4)溶液分别对g-C_(3)N_(4)进行刻蚀。并且使用XRD和SEM对g-C_(3)N_(4)以及刻蚀后的g-C_(3)N_(4)进行表征。结果表明,刻蚀后的材料依旧是g-C_(3)N_(4)... 使用热聚法制备了石墨相氮化碳(g-C_(3)N_(4)),然后用二甲亚砜、NaOH溶液和H_(2)SO_(4)溶液分别对g-C_(3)N_(4)进行刻蚀。并且使用XRD和SEM对g-C_(3)N_(4)以及刻蚀后的g-C_(3)N_(4)进行表征。结果表明,刻蚀后的材料依旧是g-C_(3)N_(4)。通过在可见光照射下使用UV-Vis光谱对罗丹明B的降解效果评价材料的性能,发现H_(2)SO_(4)溶液刻蚀得到的材料降解性能较好。同时探索了g-C_(3)N_(4)在酸性、碱性环境中的光催化降解效果。结果表明,在酸性环境(pH=1)下,降解率较高。接着在酸性条件下,使用经H_(2)SO_(4)溶液刻蚀得到的材料对罗丹明B进行降解,结果表明降解性能进一步提升,且降解时间更短。最后在酸性环境下比较了降解罗丹明B、亚甲基蓝和甲基橙的效果,发现对亚甲基蓝的降解效果好于罗丹明B,甲基橙最差,说明g-C_(3)N_(4)对污染物的降解有选择性。机理研究结果表明超氧自由基在光催化过程中起主导作用,空穴和羟基自由基未起作用。 展开更多
关键词 g-C_(3)N_(4)光催化剂 制备 刻蚀 降解 机理
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6英寸低缺陷掺硫磷化铟晶体制备与性质研究
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作者 李晓岚 高渊 +4 位作者 闫小兵 徐成彦 史艳磊 王书杰 孙聂枫 《半导体技术》 北大核心 2025年第7期684-690,共7页
低缺陷掺硫磷化铟晶片是光电器件的主要衬底材料,制备6英寸(1英寸=2.54 cm)大直径单晶是降低器件成本的重要手段之一。通过分析6英寸低缺陷掺硫磷化铟单晶生长过程的杂质效应机理、热应力和热场温度分布,并对掺硫磷化铟晶体头、中、尾... 低缺陷掺硫磷化铟晶片是光电器件的主要衬底材料,制备6英寸(1英寸=2.54 cm)大直径单晶是降低器件成本的重要手段之一。通过分析6英寸低缺陷掺硫磷化铟单晶生长过程的杂质效应机理、热应力和热场温度分布,并对掺硫磷化铟晶体头、中、尾切片进行电学性能、位错密度及应力测试,得到载流子浓度与掺杂量、迁移率及位错(腐蚀坑)密度之间的关系,以及掺硫磷化铟晶体易开裂的原因。优化了适合生长6英寸低缺陷掺硫磷化铟单晶的半封闭可调热场系统,通过增加热屏罩,提高了炉体上部空间的气氛温度,降低了晶体内部的温度梯度,从而有效降低了晶体内的残余应力。确定了InP中In2S3的掺杂质量分数最大限度(≤300×10^(-6)),得到了低位错密度(<3000 cm^(-2))的磷化铟晶体,并有效地降低了晶体开裂的概率,实现了6英寸低缺陷掺硫磷化铟单晶的重复生长。 展开更多
关键词 掺硫磷化铟 晶体生长 杂质效应 位错(腐蚀坑)密度 晶体开裂
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电解辅助微电铸法制备微混合器镍金属模具
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作者 杜立群 王忠民 +2 位作者 郭柄江 刘柄男 尚柄泽 《精密成形工程》 北大核心 2025年第8期169-179,共11页
目的采用微电铸技术在不锈钢基底上进行微混合器镍金属模具的制备,以满足对高载荷下长期高精度的使用要求。方法为获得与镍铸层具有较高界面结合强度的金属基底,采用Materials Studio软件模拟了3种不锈钢基底(304、316和S136)与镍铸层... 目的采用微电铸技术在不锈钢基底上进行微混合器镍金属模具的制备,以满足对高载荷下长期高精度的使用要求。方法为获得与镍铸层具有较高界面结合强度的金属基底,采用Materials Studio软件模拟了3种不锈钢基底(304、316和S136)与镍铸层的分离功。此外,采用电解刻蚀方法提高了镍铸层与S136不锈钢的界面结合强度,并通过实验对电解刻蚀参数进行了优选。通过垂直拉伸法验证了分子动力学求解分离功的可靠性,并测量了较优刻蚀参数下和未刻蚀时镍铸层与S136不锈钢间的界面结合强度。结果S136不锈钢与镍铸层的分离功最大,界面结合强度最高,更适合作为微混合器镍金属模具的基底。通过分子动力学得到的3种不锈钢基底与镍铸层的分离功与实际的界面结合强度变化趋势相同。在刻蚀时间为60 s、刻蚀电压为10 V条件下,能获得合适的刻蚀深度、单边侧蚀量以及较大的表面粗糙度,该参数是提高界面结合强度的较优参数。刻蚀后镍铸层与S136不锈钢的界面结合强度为29.56 MPa,相较于未刻蚀时提高了218%。结论基于以上仿真和实验结果,制备了满足要求的微混合器镍金属模具,其模芯高度为59.3~61.4μm,最小线宽为60.2~61.5μm。 展开更多
关键词 界面结合强度 微电铸 电解刻蚀 微混合器 分子动力学
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多功能埃洛石纳米管防腐蚀超疏水自修复涂层
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作者 包继华 张浩然 +4 位作者 王志豪 武鹏 宋立英 蒋全通 麻福斌 《表面技术》 北大核心 2025年第8期74-83,135,共11页
目的延缓金属腐蚀,提高涂层使用寿命。方法通过对碱刻蚀埃洛石纳米管(HNTs)负载缓蚀剂苯并三氮唑(BTA),并采用十八烷基三甲氧基硅烷(OTMS)对HNTs外表面进行改性,将改性后的HNTs作为纳米填料,制备了一种具有超疏水能力的自修复防腐涂层... 目的延缓金属腐蚀,提高涂层使用寿命。方法通过对碱刻蚀埃洛石纳米管(HNTs)负载缓蚀剂苯并三氮唑(BTA),并采用十八烷基三甲氧基硅烷(OTMS)对HNTs外表面进行改性,将改性后的HNTs作为纳米填料,制备了一种具有超疏水能力的自修复防腐涂层。结果通过傅里叶变换红外光谱(FTIR)证实HNTs成功负载了缓蚀剂BTA、外表面成功添加了OTMS;通过热重分析(TGA),证明了BTA的负载以及OTMS的包覆;通过光学接触角测量仪测得涂层的水接触角为153°,证明涂层具有超疏水性能;使用电化学阻抗(EIS)分析涂层的自修复能力,当涂层被划伤后,划痕处HNTs破损,缓蚀剂BTA被释放并通过强电化学吸附与铜基体结合,形成一层保护膜,通过分析自修复涂层的阻抗模值得出在第6天涂层的自修复能力达到最大,使用ZSimpWin对实验的阻抗数据进行拟合,证实了涂层具有自修复能力;通过SEM、EDS测试,得出自修复涂层划痕处铜元素含量大幅降低,利用扫描Kelvin探针(SKP)测试发现划痕处电势谷消失,表明划痕已被缓蚀剂所修复。结论制备的OTMS-HNTs-BTA自修复超疏水涂层能够有效防止液体的附着并且具有自修复能力,可有效延长涂层的使用寿命。 展开更多
关键词 碱刻蚀埃洛石纳米管 苯并三氮唑 十八烷基三甲氧基硅烷 超疏水 自修复涂层
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嵌入式薄膜应变传感器的铣削力测量刀具系统结构设计与优化
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作者 闫旭辉 宋相弢 武文革 《工具技术》 北大核心 2025年第6期140-148,共9页
为提高铣削过程中测力系统的灵敏度,提出一种具有弹性梁结构的铣削力测量刀具系统。建立弹性梁的简化力学模型,研究3种铣削力分量作用下弹性梁的应变与力的关系,为后续铣削力测量刀具系统标定试验提供指导。铣削力测量刀具系统由基底、... 为提高铣削过程中测力系统的灵敏度,提出一种具有弹性梁结构的铣削力测量刀具系统。建立弹性梁的简化力学模型,研究3种铣削力分量作用下弹性梁的应变与力的关系,为后续铣削力测量刀具系统标定试验提供指导。铣削力测量刀具系统由基底、过渡层、绝缘层和电阻栅等构成,薄膜应变传感器在该系统中处于中心位置,电阻栅对薄膜应变传感器的性能影响尤为显著。为进一步提高薄膜应变传感器的灵敏度,对基底、过渡层、绝缘层和电阻栅的形状进行优化研究。设计一种新型薄膜应变传感器,该传感器由绝缘层和两端支承在过渡层上的电阻栅构成。针对薄膜应变传感器湿蚀刻过程的流程展开研究,并获得样品。用超景深显微镜、共聚焦显微镜和原子力显微镜观察传感器样品的表面微观形貌。可以看出,电阻栅图边界整齐且尺寸精度高,基本达到设计的预期效果。在搭建的实验平台上对样品的电学性能进行测试,结果表明,与普通薄膜应变传感器相比,样品的应变系数GF提高约60.2%,满足设计要求。 展开更多
关键词 薄膜应变传感器 铣削力 湿蚀刻工艺 性能表征
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X70钢在交直流混合干扰下的腐蚀特性研究
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作者 贺三 余锐 +2 位作者 张剑雄 李彬 徐慧兰 《西南石油大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期164-174,共11页
针对部分地区油气管道和高压输电线路、电气化铁路交叉或平行敷设的情况,导致埋地管道面临交直流混合干扰腐蚀的风险。采用电化学测试,结合偏光显微镜、三维光学显微镜、XRD等检测手段,开展了X70钢在交直流混合干扰下的腐蚀特性研究。... 针对部分地区油气管道和高压输电线路、电气化铁路交叉或平行敷设的情况,导致埋地管道面临交直流混合干扰腐蚀的风险。采用电化学测试,结合偏光显微镜、三维光学显微镜、XRD等检测手段,开展了X70钢在交直流混合干扰下的腐蚀特性研究。结果表明:1)交直流混合干扰下临界电流密度为120 A/m^(2);2)交直流混合干扰下容抗弧的半径与电流密度不存在正相关关系;3)交直流混合干扰阳极区既延续了直流干扰的腐蚀强度也发挥了交流电的振荡和点蚀作用,导致腐蚀坑内发生二次局部破坏,产生大量点蚀和缝隙,逐渐呈现为刻蚀现象,使部分未完全腐蚀的X70钢(部分覆盖有腐蚀产物膜)失去支撑后脱落在溶液中;4)在180 A/m^(2)的电流密度下,交直流混合干扰试样腐蚀深度达264μm。 展开更多
关键词 杂散电流腐蚀 交直流混合干扰 X70钢 刻蚀 协同作用
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多孔石墨烯薄膜结构优化及其电容性能研究
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作者 钟厉 廖声朝 +1 位作者 康俊 韩西 《表面技术》 北大核心 2025年第4期221-232,共12页
目的解决多孔石墨烯薄膜作为电极时离子传输受阻碍的问题。方法提出一种先将石墨烯前驱体预碳化处理,随后利用多步激光刻蚀方法来优化所制备的多孔石墨烯薄膜结构的方法,对石墨烯薄膜的表面形貌、晶体质量、湿润性和电化学性能进行表征... 目的解决多孔石墨烯薄膜作为电极时离子传输受阻碍的问题。方法提出一种先将石墨烯前驱体预碳化处理,随后利用多步激光刻蚀方法来优化所制备的多孔石墨烯薄膜结构的方法,对石墨烯薄膜的表面形貌、晶体质量、湿润性和电化学性能进行表征,并探索其在电化学储能器件中的应用。结果将石墨烯前驱体在300℃的温度下预碳化处理2 h后,可以使其在后续的激光刻蚀处理中形成具有稳定结构的石墨烯薄膜材料,这与预碳化导致前驱体中的有机小分子分解,使内部交联程度更高有关,从而在CO_(2)激光的重复作用下保持良好的基底稳定性。拉曼光谱的分析结果表明,预碳化处理后的样品在激光重复刻蚀的过程中可以对石墨烯结构优化过程进行直接观测,且在温度300℃下处理后具有更宽的演化范围。SEM扫描电子显微镜的表征结果显示,300℃预碳化后前驱体衍生的石墨烯薄膜具有典型的三维网络多孔结构,形成天然的离子传输通道。此外,电阻行为分析结果表明石墨烯薄膜具有一定程度的晶体缺陷能获得更优异的离子传输能力,促进电化学反应的发生,在1 mol/L的H2SO4电解质中面积比电容为124.6 mF/cm^(2),将其组装成微型电化学储能器件后也保持了优异的储电能力和循环稳定性。结论通过优化多孔石墨烯薄膜的结构来解决离子传输问题,进而获得显著提高的电化学性能,为制备兼具高储电能力和优异稳定性的电极材料提供了设计思路。 展开更多
关键词 多孔石墨烯薄膜 结构优化 预碳化处理 多步激光刻蚀 电容性能
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室内装饰用6063铝合金的表面改性与防腐性能研究
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作者 曲泓颖 赵婉彤 李明超 《电镀与精饰》 北大核心 2025年第1期98-104,共7页
为了提升室内装饰用6063铝合金的表面性能,采用化学刻蚀、阳极氧化和表面修饰相结合的方法对6063铝合金基体进行了表面改性处理。对比分析了化学刻蚀时间(0、1、3和5 min)对表面改性膜层显微形貌、润湿性能和耐腐蚀性能的影响。结果表明... 为了提升室内装饰用6063铝合金的表面性能,采用化学刻蚀、阳极氧化和表面修饰相结合的方法对6063铝合金基体进行了表面改性处理。对比分析了化学刻蚀时间(0、1、3和5 min)对表面改性膜层显微形貌、润湿性能和耐腐蚀性能的影响。结果表明,化学刻蚀处理后会在6063铝合金基体表面形成形状不规则、尺寸不等的腐蚀坑,化学刻蚀处理后6063铝合金试样的表面粗糙度和与水滴的接触角都有所增加,且化学刻蚀时间越长、表面粗糙度越大,化学刻蚀3 min后试样与水滴的接触角达到151°。6063铝合金在化学刻蚀、阳极氧化和修饰处理后,十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷已成功自组装到阳极氧化膜表面形成硅烷膜。极化曲线和电化学阻抗谱的测试结果保持一致,即相较于未经化学刻蚀的试样,经过化学刻蚀处理后再进行阳极氧化和表面修饰处理的试样的耐蚀性能都会有所提高,且经过3 min化学刻蚀试样的耐蚀性能最好,适宜在室内装饰用6063铝合金的表面改性中应用。 展开更多
关键词 室内装饰 6063铝合金 化学刻蚀 阳极氧化 耐蚀性能
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碱刻蚀埃洛石微米管负载2-巯基苯并噻唑并包覆壳聚糖防腐蚀自修复涂层
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作者 石浩 王志豪 +7 位作者 褚贵文 张培琦 刘润远 王艺翔 孙雷 宋立英 蒋全通 麻福斌 《中国表面工程》 北大核心 2025年第1期127-140,共14页
目前大多数无机微纳米载体在有机涂层中存在团聚问题,对自修复涂层的防腐蚀性能和使用寿命有一定影响。对碱刻蚀埃洛石微米管(HMTs)负载缓蚀剂2-巯基苯并噻唑(MBT),并通过外包覆壳聚糖(CS)作为微米填料,制备填料在涂层良好分散性和缓蚀... 目前大多数无机微纳米载体在有机涂层中存在团聚问题,对自修复涂层的防腐蚀性能和使用寿命有一定影响。对碱刻蚀埃洛石微米管(HMTs)负载缓蚀剂2-巯基苯并噻唑(MBT),并通过外包覆壳聚糖(CS)作为微米填料,制备填料在涂层良好分散性和缓蚀剂高负载量的自修复涂层。通过傅里叶变换红外光谱(FTIR)证实HMTs成功负载MBT,且缓蚀剂的防腐功能没有失效。使用扫描电镜图(SEM)和透射电镜图(TEM),观察HMTs、HMTs负载MBT(HMTs-MBT)和包覆CS的HMTs-MBT(CS-HMTs-MBT)的外貌结构。通过热重分析(TGA),测得HMTs对MBT的质量负载约为13wt.%,HMTs外包覆CS的质量分数约为61 wt.%。通过测试各样品在聚二甲基硅氧烷(PDMS)涂层中分散状况,证明包覆CS可以提高微纳米容器在涂层中的分散性。使用电化学阻抗谱(EIS)来评估涂层的自修复能力,通过分析|Z|_(=0.01Hz)值确定在第4 d自修复涂层的自修复能力达到峰值,使用ZSimpWin对获得的阻抗数据进行拟合,验证自修复涂层对金属的防腐蚀能力。在4 d浸泡试验结束后,通过SEM、电镜能谱(EDS)测试和X射线光电子能谱(XPS),得出自修复涂层划痕处铜元素含量大幅降低,利用扫描Kelvin探针(SKP)测试发现划痕处电势谷消失,表明涂层划痕处已被缓蚀剂修复。利用CS在有机涂层中良好分散特性,增强CS-HMTs-MBT在PDMS涂层中的分散性。当涂层有划伤时,缓蚀剂MBT被释放并吸附在金属表面形成紧密薄膜隔绝腐蚀性物质,实现涂层对破损处自主修复。具有高分散性的CS-HMTs-MBT复合自修复涂层为金属设备的防腐蚀涂层提供了新的解决方案,有望在海洋工程和其他相关领域得到广泛应用,从而减少损失并延长设备的寿命。 展开更多
关键词 碱刻蚀埃洛石微米管 2-巯基苯并噻唑 壳聚糖 分散性 自修复涂层
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锥形光纤布拉格光栅制备工艺及传感特性研究
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作者 刘明尧 兰永清 李聪 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第8期50-53,58,共5页
通过对电弧放电法和氢氟酸(HF)腐蚀法两种制备锥形光纤布拉格光栅(TFBG)的工艺进行对比,证明HF腐蚀制备的TFBG带宽应变灵敏度更高。区别于以往对裸露TFBG反射谱带宽研究,采用353ND环氧树脂保护封装的方法,将HF腐蚀制备的TFBG和光纤布拉... 通过对电弧放电法和氢氟酸(HF)腐蚀法两种制备锥形光纤布拉格光栅(TFBG)的工艺进行对比,证明HF腐蚀制备的TFBG带宽应变灵敏度更高。区别于以往对裸露TFBG反射谱带宽研究,采用353ND环氧树脂保护封装的方法,将HF腐蚀制备的TFBG和光纤布拉格光栅(FBG)粘贴在等悬臂铝梁上,通过应变加载实验表明:TFBG与FBG应变灵敏度理论值仅相差0.7%;通过温度加载实验表明TFBG与FBG粘贴在铝基板上温度灵敏度理论值仅相差2.8%,应变灵敏度仅相差2.4%,TFBG带宽在25~100℃表现出对温度不敏感,证明了腐蚀后FBG与腐蚀前FBG中心波长应变灵敏度和温度灵敏没有发生改变,以及HF腐蚀制备的TFBG使用环氧树脂封装解决温度-应变交叉敏感在工程应用上的可行性。 展开更多
关键词 锥形光纤布拉格光栅 电弧放电法 化学腐蚀法 温度-应变交叉敏感
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压力传感器湿法腐蚀敏感膜的工艺研究
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作者 闫施锦 王丙寅 +5 位作者 王志强 雷程 冀鹏飞 邱海兵 谭秋林 梁庭 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期63-68,共6页
随着压力传感器的小型化和高频化发展,降低成本并提升制造工艺成为当前研究的关键。该文通过优化硅片湿法腐蚀工艺来降低压力传感器的制造成本,并使其性能更贴近设计要求。首先,深入研究了不同浓度TMAH(四甲基氢氧化铵)对硅片腐蚀效果... 随着压力传感器的小型化和高频化发展,降低成本并提升制造工艺成为当前研究的关键。该文通过优化硅片湿法腐蚀工艺来降低压力传感器的制造成本,并使其性能更贴近设计要求。首先,深入研究了不同浓度TMAH(四甲基氢氧化铵)对硅片腐蚀效果的影响,通过优化腐蚀工艺条件,确定了在80℃下使用质量分数为25%的TMAH作为腐蚀液,最终成功获得了表面粗糙度仅为0.121μm的低粗糙度硅片表面。然后利用有限元模拟技术,对比了质量分数为5%TMAH湿法腐蚀条件下的灵敏度(109.162 mV/MPa)与质量分数为25%TMAH湿法腐蚀条件下的灵敏度(103.276 mV/MPa),而后者更接近设计要求的灵敏度值(100 mV/MPa)。成功总结了高效的湿法腐蚀工艺,并基于该工艺设计了压力传感器的制造流程。预期该流程能以低成本生产出性能更贴近设计要求的压力传感器,为压力传感器的小型化和高频化发展提供了有力的技术支持。 展开更多
关键词 压力传感器 湿法腐蚀 敏感膜 腐蚀形貌 粗糙度
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自由基刻蚀多晶硅及氟原子密度检测的研究
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作者 高远 李筝 +3 位作者 曹勇 桑利军 刘博文 刘忠伟 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第7期584-591,共8页
随着集成电路特征尺寸的不断缩小,传统刻蚀技术在选择性和物理损伤控制等方面面临挑战。自由基刻蚀技术具有高精度、低刻蚀损伤等优点,在微纳加工中具有重要应用价值与广阔的应用前景。研究利用自由基刻蚀技术,以CF_(4)/O_(2)/He混合气... 随着集成电路特征尺寸的不断缩小,传统刻蚀技术在选择性和物理损伤控制等方面面临挑战。自由基刻蚀技术具有高精度、低刻蚀损伤等优点,在微纳加工中具有重要应用价值与广阔的应用前景。研究利用自由基刻蚀技术,以CF_(4)/O_(2)/He混合气体为放电气体,系统研究了放电参数,如输入功率与气体流量对多晶硅刻蚀速率和F原子密度的影响。使用Ar作为标定气体定量测定刻蚀过程中的F原子密度。结果表明,F原子密度和刻蚀速率均随功率或CF_(4)流量的增加呈现先上升后趋于平稳的趋势;适当增加He或O_(2)比例可以提高刻蚀速率,但过高的He或O_(2)流量会导致F原子密度减少和刻蚀速率下降。研究揭示了自由基刻蚀过程中的关键参数,为优化刻蚀工艺提供了理论指导。 展开更多
关键词 多晶硅 自由基刻蚀 刻蚀速率 F 原子密度
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基于刻蚀处理的池沸腾传热性能实验研究 被引量:1
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作者 王菊萍 匡纯纯 刘妮 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2025年第3期180-188,共9页
为探究刻蚀处理铜板表面对池沸腾传热性能的改善效果,搭建了可视化实验平台,制备不同刻蚀浓度和刻蚀时间处理的表面,采用去离子水为工质,进行饱和池沸腾实验.结果表明,氨水刻蚀浓度越大,表面的换热性能越强,氨水刻蚀时间越长,表面换热... 为探究刻蚀处理铜板表面对池沸腾传热性能的改善效果,搭建了可视化实验平台,制备不同刻蚀浓度和刻蚀时间处理的表面,采用去离子水为工质,进行饱和池沸腾实验.结果表明,氨水刻蚀浓度越大,表面的换热性能越强,氨水刻蚀时间越长,表面换热性能越强.热流密度为43.2 W/cm^(2)时,0.05 mol/L氨水刻蚀4 h表面、0.05 mol/L氨水刻蚀5 h表面、0.05 mol/L氨水刻蚀8 h表面、0.03 mol/L氨水刻蚀4 h表面、0.05 mol/L氨水刻蚀4 h表面和0.10 mol/L氨水刻蚀4 h表面上的换热系数分别提高了46%、92%、105%、36%、45%、78%.此外,对其表面进行表征,结果说明了其优异的沸腾性能.刻蚀处理增强了表面粗糙度,有效面积,从而促进液体的补充,能够在较小的过热度下达到更高的临界热流密度.可视化研究结果表明,刻蚀表面具有更多的成核位点,更小的气泡离开直径和离开频率.这些结果显示出刻蚀表面强化池沸腾换热的潜力. 展开更多
关键词 池沸腾 刻蚀 传热性能 气泡动力学 微纳结构表面
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两种玷污层去除方法对牙本质表面性能的影响
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作者 朱灵丽 唐琳 +2 位作者 李博文 王梅 刘玉华 《北京大学学报(医学版)》 北大核心 2025年第2期340-346,共7页
目的:探究两种玷污层去除方法对牙本质表面性能的影响。方法:选取60颗健康无龋第三磨牙,制备牙本质玷污层实验试件,随机分为3组:对照组、超声(ultrasonic treatment,UT)组、酸蚀(etched treatment,ET)组。采用扫描电镜观察各组的表面微... 目的:探究两种玷污层去除方法对牙本质表面性能的影响。方法:选取60颗健康无龋第三磨牙,制备牙本质玷污层实验试件,随机分为3组:对照组、超声(ultrasonic treatment,UT)组、酸蚀(etched treatment,ET)组。采用扫描电镜观察各组的表面微观形貌,通过能量色散X射线光谱仪、X射线衍射仪、傅里叶变换红外光谱仪分别对表面元素、矿物相及官能团作分析,并进一步评价牙本质的机械性能、亲水性以及生物相容性。结果:扫描电镜下UT组和ET组可见清晰的牙本质小管结构,对照组牙本质小管结构不清晰,可见大量牙本质碎屑;元素分析结果3组均可见钙磷峰,其中ET组的钙磷元素峰值最弱;矿物相分析表明3组均具有羟基磷灰石特征峰;官能团分析UT组和ET组可见胶原的酰胺Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ带特征峰,而对照组酰胺带特征峰不明显;显微硬度显示ET组低于对照组以及UT组,差异有统计学意义(P<0.05);接触角实验证实ET组的亲水性优于对照组及UT组;荧光染色结果显示3组均具有良好的生物相容性。结论:UT和ET均可有效清除牙本质试件表面的玷污层,暴露出牙本质结构,且不影响其微观形貌和生物相容性,采用UT去除玷污层时对牙本质试件表面矿物质结构、亲水性和机械性能没有明显影响,ET虽能有效改善牙本质亲水性,但却会导致其表面钙磷含量下降,机械性能降低。 展开更多
关键词 玷污层 牙本质 超声 酸蚀
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量子电压芯片制备中的介质层平坦化
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作者 曹樾 徐思思 +4 位作者 钟源 李劲劲 钟青 曹文会 蔡晋辉 《计量学报》 北大核心 2025年第1期106-111,共6页
在制造量子电压芯片时,使用二氧化硅薄膜作为层间介质层(IDL)可以实现约瑟夫森结的电气连接。通常二氧化硅是保形沉积的,后续的铌线层容易在直角台阶附近形成晶界裂纹。考虑到光刻和芯片高低温循环可靠性,需要对IDL进行平坦化处理。相... 在制造量子电压芯片时,使用二氧化硅薄膜作为层间介质层(IDL)可以实现约瑟夫森结的电气连接。通常二氧化硅是保形沉积的,后续的铌线层容易在直角台阶附近形成晶界裂纹。考虑到光刻和芯片高低温循环可靠性,需要对IDL进行平坦化处理。相对其他平坦化方案,牺牲层回刻的方法工艺步骤简单,适用于小批量的研究工作。具体步骤为:在IDL上旋涂覆盖厚光刻胶层填充图形中的沟壑并形成平坦的界面;然后采用反应离子束刻蚀等速去除光刻胶和SiO_(2),整体上完全刻蚀到SiO_(2)层后即可得到平坦的介质层表面,消除绝缘层台阶。其中光刻胶和SiO_(2)的等速刻蚀通过调节氧气流量与射频功率来实现。在回刻过程中使用终点探测系统实时监控平坦化状态,根据反射光强变化曲线来判断刻蚀深度,并决定何时停止这一过程。采用以上方法成功在结区上方形成厚度适宜、表面平坦的介质层。将牺牲层回刻法应用于芯片的制备,得到了没有裂纹的铌线层。芯片具有良好的直流特性曲线,有效提升了芯片的高低温循环可靠性。 展开更多
关键词 电学计量 量子电压芯片 平坦化 回刻 终点探测 约瑟夫森结
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可调谐MEMS-VCSEL微桥梁制备及其应力的影响
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作者 朱鲁江 孙玉润 +2 位作者 张琪 于淑珍 董建荣 《半导体技术》 北大核心 2025年第6期589-594,共6页
针对微电子机械系统(MEMS)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)中静电驱动微桥梁结构制备工艺开展研究,旨在制备平直的悬空微桥梁结构,并通过工艺优化提高其可靠性。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法刻蚀Ge牺牲层,这种方法既能够防止湿法腐... 针对微电子机械系统(MEMS)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)中静电驱动微桥梁结构制备工艺开展研究,旨在制备平直的悬空微桥梁结构,并通过工艺优化提高其可靠性。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法刻蚀Ge牺牲层,这种方法既能够防止湿法腐蚀横向刻蚀过多,还可以提高Ge和底部电极Ti的刻蚀比。通过XeF_(2)气体干法刻蚀去除剩余的Ge以释放微桥梁结构,避免湿法腐蚀释放造成的微桥梁结构与衬底粘附问题,测试结果表明XeF_(2)横向腐蚀Ge的速率高达150μm/min。此外,选用SiNx介质作为微桥梁结构层,并通过优化等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺条件调控薄膜应力为低张应力,解决了残余应力导致的微桥梁结构弯曲和断裂问题,制备了平直的悬空微桥梁结构。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微桥梁结构 Ge刻蚀 XeF_(2)干法刻蚀 残余应力
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用于星载甲烷成像光谱仪的高衍射效率棱镜光栅(封面文章·特邀)
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作者 刘全 周能华 +4 位作者 王可欣 陈志伟 杨子江 潘俏 陈新华 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期1-7,共7页
棱镜光栅是星载甲烷成像光谱仪的重要分光元件,与传统光栅不同的是,棱镜光栅的槽形是将光栅浸没于高折射率介质中,由于光栅槽形嵌入在高折射率介质中,使得光栅的角色散和分辨率都提高了n倍,其中n是高折射率介质的折射率。相比于传统光栅... 棱镜光栅是星载甲烷成像光谱仪的重要分光元件,与传统光栅不同的是,棱镜光栅的槽形是将光栅浸没于高折射率介质中,由于光栅槽形嵌入在高折射率介质中,使得光栅的角色散和分辨率都提高了n倍,其中n是高折射率介质的折射率。相比于传统光栅,棱镜光栅在同样的光谱分辨率下可以减小光栅的尺寸,实现更加紧凑的光机结构。因此研制棱镜光栅具有重要的意义。针对甲烷的2.3μm波段,分析了棱镜光栅的衍射特性,为了进一步提高系统的结构紧凑性,在石英棱镜光栅中引入高折射率材料TiO_(2)介质膜,对于矩形槽形,占空比在0.3~0.45范围内,TiO_(2)膜层厚度在165~170 nm之间,槽深在800~950 nm之间时,光栅的衍射效率高于70%,TiO_(2)膜层厚度为165 nm,槽深在870~930 nm之间时,衍射效率高于80%。采用全息光刻-离子束刻蚀结合原子层沉积技术,制作了周期为1020 nm、光栅有效面积大于110×275 mm的棱镜光栅。实验测量中,为了消除光源波动的影响,采用了双光路测试法进行衍射效率测量,在2.275~2.325μm波段,一级衍射效率大于70%。 展开更多
关键词 棱镜光栅 全息光刻 离子束刻蚀 衍射效率
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高掺钪AlN压电薄膜HBAR器件及工艺研究 被引量:2
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作者 赵佳 姜文铮 +1 位作者 周琮泉 母志强 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第1期76-79,共4页
本文研究了高掺钪氮化铝(Al_(x) Sc_(1-x) N)压电薄膜高次谐波体声波谐振器(HBAR)的设计仿真与关键制备工艺。仿真研究了钪掺杂对压电材料和HBAR器件性能影响,研究表明:30%钪组分的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜能够提升谐振器近5倍的有效机... 本文研究了高掺钪氮化铝(Al_(x) Sc_(1-x) N)压电薄膜高次谐波体声波谐振器(HBAR)的设计仿真与关键制备工艺。仿真研究了钪掺杂对压电材料和HBAR器件性能影响,研究表明:30%钪组分的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜能够提升谐振器近5倍的有效机电耦合系数(k_(eff)^(2))。研究了电感耦合等离子体刻蚀(ICP)刻蚀工艺对Mo电极斜坡角度的影响,通过调控工艺参数可以实现侧壁倾角10°~90°大范围调节。研发了Cl_(2)/BCl_(3)/Ar混合气体作为反应气体的Al_(0.7) Sc_(0.3) N薄膜ICP刻蚀工艺,刻蚀速率高达100 nm/min并获得垂直的侧壁形貌。在此基础上成功制备出Al_(0.7) Sc_(0.3) N压电薄膜HBAR谐振器,k_(eff)^(2)达到0.24%,与纯氮化铝(AlN)相比具有显著的提升效果。 展开更多
关键词 掺钪氮化铝 高钪掺杂 压电薄膜 电感耦合等离子体刻蚀 高次谐波体声波谐振器
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