-
题名电子回旋共振等离子体用于聚四氟乙烯材料表面改性
- 1
-
-
作者
温晓辉
詹如娟
-
机构
中国科学院结构分析开放实验室
-
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期372-375,共4页
-
基金
国家自然科学基金资助项目 (No .1983 5 0 3 0 19875 0 5 3 )
-
文摘
在电子回旋共振 (ECR)等离子体装置中 ,使用Ar气 ,N2 气 ,H2 气和普通空气放电 ,对聚四氟乙烯 (PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能。详细研究了在不同的放电气压 ,微波功率 ,处理时间 ,气体种类的情况下 ,样品表面的接触角的变化。同时也讨论了样品导电性能和外观等的变化。使用红外吸收谱对样品结构处理前后的变化进行了测量 ,对等离子体处理的机理进行了初步的讨论。使用Langmuir探针测量了Ar气和N2 气等离子体中的离子密度 ,用能量分析器测量了离子的能量。发现在对样品的处理中 ,ECR等离子体的离子密度是影响表面性能的主要因素 。
-
关键词
电子回旋共振等离子体
表面改性
聚四氟乙烯
离子密度
离子能量
工程塑料
-
Keywords
ecr plasma,surface modification,ptfe,ion density,ion energy
-
分类号
TQ325.4
[化学工程—合成树脂塑料工业]
TQ316.6
[化学工程—高聚物工业]
-
