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二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响被引量：8: 1; 作者殷可为黄智强 +1 位作者林妩媚邢廷文《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期46-49,54,共5页; 横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明... 展开更多; 关键词衍射光学元件二元光学元件横向误差衍射效率标量衍射理论 MATLAB; 在线阅读下载PDF 职称材料

光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件被引量：5: 2; 作者陈继民何超 +1 位作者周伟平申雪飞《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期31-37,共7页; 为了降低激光直接辐照透明介电材料的表面加工粗糙度和激光能量密度刻蚀阈值,提高微光学元件的产出率,介绍了一种用固体介质作吸收层,激光直接作用在透明光学材料上进行微纳加工的激光诱导背面干法刻蚀工艺。首先,选用95氧化铝陶瓷作固... 展开更多; 关键词激光刻蚀微纳加工二元衍射光学元件能量密度阈值; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于迭代傅里叶变换算法的光束整形元件位相编码的优化设计被引量：5: 3; 作者徐兵陈林森魏国军《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期73-75,共3页; 基于迭代傅里叶变换算法 ,提供了对具有 2个台阶二元光束整形元件进行位相编码的优化设计方法 ,详细研究了初始位相选取以及引入强度自由度、位相自由度在迭代傅里叶变换算法中对再现像品质的影响。; 关键词光束整形迭代傅里叶变换算法二元光学元件衍射光学元件; 在线阅读下载PDF 职称材料

衍射光学元件制作技术及未来展望被引量：5: 4; 作者任延同付永启《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第2期7-11,共5页; 回顾了衍射光学元件（ＤＯＥ）制作技术的发展过程，介绍了未来制作技术的发展以及元件演变的未来趋势。; 关键词衍射光学元件二元光学元件制造工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响被引量：8: 1; 作者殷可为黄智强林妩媚邢廷文; 机构中国科学院光电技术研究所中国科学院研究生院; 出处《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期46-49,54,共5页; 文摘横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明,控制8阶二元光学元件对准误差,可抑制衍射效率的迅速下降,适当调整线宽能够减小对准误差造成的影响。这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值。该方法简便且适用性强,可对二元光学元件的加工误差进行准确分析。; 关键词衍射光学元件二元光学元件横向误差衍射效率标量衍射理论 MATLAB; Keywords diffraction optical elements（does） binary optical elements（boes） lateral fabrication errors diffraction efficiency scalar diffraction theory MATLAB; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件被引量：5: 2; 作者陈继民何超周伟平申雪飞; 机构北京工业大学激光工程研究院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期31-37,共7页; 基金北京市教委重点项目(No.KZ20091005006); 文摘为了降低激光直接辐照透明介电材料的表面加工粗糙度和激光能量密度刻蚀阈值,提高微光学元件的产出率,介绍了一种用固体介质作吸收层,激光直接作用在透明光学材料上进行微纳加工的激光诱导背面干法刻蚀工艺。首先,选用95氧化铝陶瓷作固体材料辅助吸收层,应用中心波长为1 064nm的掺镱光纤激光器,在3.2mm厚的熔融石英玻璃表面刻蚀了亚微米尺度的二维周期性光栅结构。然后,对刻蚀参数进行拟合并探讨了激光能量密度对刻蚀参数的影响。最后,观察该二元光学元件的衍射花样图形并讨论其衍射特性。实验制备了槽深为4.2μm,槽底均方根粗糙度小于40nm,光栅常数为25μm的二维微透射光栅,其刻蚀阈值低于7.66J/cm2。结果表明,应用该工艺制备二维透射光栅,降低了激光刻蚀透明材料的密度阈值及加工结构的表面粗糙度。; 关键词激光刻蚀微纳加工二元衍射光学元件能量密度阈值; Keywords laser etching micro/nano fabrication binary diffractive optical Element （doe） energy threshold fluence; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于迭代傅里叶变换算法的光束整形元件位相编码的优化设计被引量：5: 3; 作者徐兵陈林森魏国军; 机构苏州大学信息光学工程研究所; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期73-75,共3页; 文摘基于迭代傅里叶变换算法 ,提供了对具有 2个台阶二元光束整形元件进行位相编码的优化设计方法 ,详细研究了初始位相选取以及引入强度自由度、位相自由度在迭代傅里叶变换算法中对再现像品质的影响。; 关键词光束整形迭代傅里叶变换算法二元光学元件衍射光学元件; Keywords laser beam shaping Iterative Fourier Transform Algorithm(IFTA) binary optical elements(boe) diffractive optical elements(doe); 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名衍射光学元件制作技术及未来展望被引量：5: 4; 作者任延同付永启; 机构中国科学院长春光学精密机械研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第2期7-11,共5页; 文摘回顾了衍射光学元件（ＤＯＥ）制作技术的发展过程，介绍了未来制作技术的发展以及元件演变的未来趋势。; 关键词衍射光学元件二元光学元件制造工艺; Keywords diffractive optical elements(doe),binary optical elements(boe),fabrication technology; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响	殷可为黄智强林妩媚邢廷文	《光电工程》 CAS CSCD 北大核心	2011	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件	陈继民何超周伟平申雪飞	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于迭代傅里叶变换算法的光束整形元件位相编码的优化设计	徐兵陈林森魏国军	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2004	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	衍射光学元件制作技术及未来展望	任延同付永启	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	1997	5	在线阅读下载PDF 职称材料