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利用多层表面微结构提高DOE宽波段衍射效率 被引量:8
1
作者 马韬 沈亦兵 杨国光 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第1期119-123,共5页
针对单层衍射光学元件的不足,介绍了一种新型的多层衍射光学元件,通过层叠多个具有不同材料色散特性与相位高度的单层表面微结构,增加元件相位分布函数中的可变因子,实现波段内各波长光波的等效相位调制等于或接近2-的整数倍,双层衍射... 针对单层衍射光学元件的不足,介绍了一种新型的多层衍射光学元件,通过层叠多个具有不同材料色散特性与相位高度的单层表面微结构,增加元件相位分布函数中的可变因子,实现波段内各波长光波的等效相位调制等于或接近2-的整数倍,双层衍射光学元件在0.4~0.8μm可见光波段的理论衍射效率可以达到96%以上。利用双层衍射光学元件替代萤石透镜校正混合光学系统的二级光谱,设计并制作了一套长焦距物镜,并利用系统调制传递函数评价了多层衍射光学元件衍射效率,测试结果表明衍射效率在整个设计波段内以较高的数值平均分布。 展开更多
关键词 多层衍射光学元件 衍射效率 衍射光学 混合光学系统
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激光束整形为正方框形光束的DOE的设计及实验 被引量:7
2
作者 董梅峰 宋新祥 李慎 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期169-171,182,共4页
以几何理论为基础来设计将激光束整形为正方框形光束的衍射光学元件(DOE),推导出了衍射光学元件表面上的相位表达式;以高斯光束整形为例,将其整形为所需要的光强分布;进行了计算机模拟,得到了比较好的结果;同时也进行了实验验证,实验结... 以几何理论为基础来设计将激光束整形为正方框形光束的衍射光学元件(DOE),推导出了衍射光学元件表面上的相位表达式;以高斯光束整形为例,将其整形为所需要的光强分布;进行了计算机模拟,得到了比较好的结果;同时也进行了实验验证,实验结果证明了设计方法、理论推导以及程序设计的正确性。 展开更多
关键词 衍射光学元件(doe) 几何理论 衍射效率 均方差
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任意点阵衍射图形的DOE优化设计 被引量:7
3
作者 杨李茗 虞淑环 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第8期739-743,共5页
本文利用模拟退火算法对任意点阵衍射图形的纯相位衍射元件进行了优化设计,针对收敛性和收敛速率对算法进行了适当修正。
关键词 衍射光学元件 模拟退火算法 doe 优化设计
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斜入射高衍射效率双层衍射光学元件优化方法
4
作者 刘子龙 付跃刚 +2 位作者 胡源 周新雨 关禹聪 《电光与控制》 北大核心 2025年第1期80-85,共6页
针对双层衍射光学元件传统优化方法斜入射时衍射效率偏低的问题,基于双层衍射光学元件衍射效率与入射角度及波长的理论关系模型,提出了角度优化设计方法。通过分析设计过程中不同入射角和微结构高度对衍射效率的影响,优化选取微结构高度... 针对双层衍射光学元件传统优化方法斜入射时衍射效率偏低的问题,基于双层衍射光学元件衍射效率与入射角度及波长的理论关系模型,提出了角度优化设计方法。通过分析设计过程中不同入射角和微结构高度对衍射效率的影响,优化选取微结构高度,显著提高了大视场下的衍射效率。为了验证上述理论,采用长短波衍射效率相等法、带宽积分平均衍射效率最大法以及提出的角度优化设计方法,分别对可见光波段和红外波段的双层衍射光学元件进行设计。结果表明,角度优化设计方法能够有效提高双层衍射光学元件的角度带宽积分平均衍射效率,进而提高光学系统的成像质量。最后,基于角度优化设计方法设计了长焦折衍混合系统,实现了高衍射效率下的高像质折衍混合系统。 展开更多
关键词 双层衍射光学元件 衍射效率 入射角度 折衍混合光学系统
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离子束刻蚀工艺误差对DOE器件的影响 被引量:4
5
作者 刘强 张晓波 +2 位作者 邬融 田杨超 李永平 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期50-54,60,共6页
针对衍射光学元件(DOE)的离子束刻蚀工艺,结合掩模套刻过程实例,本文提出了刻蚀误差面形分布的概念。在标量衍射的夫琅和费原理上,进行了误差数值模拟分析及讨论。模拟分析和实验数据结果表明,误差的面形分布在DOE器件的衍射焦斑中心会... 针对衍射光学元件(DOE)的离子束刻蚀工艺,结合掩模套刻过程实例,本文提出了刻蚀误差面形分布的概念。在标量衍射的夫琅和费原理上,进行了误差数值模拟分析及讨论。模拟分析和实验数据结果表明,误差的面形分布在DOE器件的衍射焦斑中心会产生一个明显的光强畸变毛刺亮点,严重破坏了靶场照明的均匀性。 展开更多
关键词 衍射光学元件 误差面形 掩模套刻 离子束刻蚀
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可见光波段计算单层衍射光学元件设计
6
作者 邹慧田 朴明旭 +4 位作者 张贤 童英然 王浩然 娄一辰 蒋红梅 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第8期320-331,共12页
在光学成像领域,为了优化系统结构并提升成像质量,单元件成像系统与计算成像技术的结合已成为一种关键的技术趋势。提出了一种计算单层衍射光学元件(Computational Single-layer Diffractive Optical Element,CSDOE)的设计方法,基于赛... 在光学成像领域,为了优化系统结构并提升成像质量,单元件成像系统与计算成像技术的结合已成为一种关键的技术趋势。提出了一种计算单层衍射光学元件(Computational Single-layer Diffractive Optical Element,CSDOE)的设计方法,基于赛德尔像差理论,推导了CSDOE的色差表达式,并通过分析不同颜色通道之间的关系,建立了考虑衍射效率的色差校正模型。设计并加工了焦距为50 mm、全视场为3°、波段范围为405~690 nm的CSDOE,利用考虑衍射效率的色差校正模型结合优化迭代算法处理图像,消除了色差与衍射效率对成像的影响。理论模拟和实际测试结果表明,对比度、灰度值梯度和标准差分别提高了17%、22.2%、21.7%和17.6%、41.1%、10.3%。该方法不仅实现了光学系统的小型化和轻量化,还为光学系统的设计与发展提供了新的思路。 展开更多
关键词 光学设计 计算成像 衍射元件 点扩散函数 消色差 衍射效率
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基于非信号区域散斑反馈的GS改进算法
7
作者 项涛 王博伟 +2 位作者 殷睿涛 向奇 张航 《光子学报》 北大核心 2025年第5期188-198,共11页
针对Gerchberg-Saxton(GS)算法对初始相位敏感、光斑内部均匀性差,以及混合区域振幅自由度(MRAF)算法的低衍射效率和非信号区域散斑严重等问题,提出了一种改进的GS算法。首先,采用泽尼克多项式作为初始相位的基础形态,引入权重系数Z值,... 针对Gerchberg-Saxton(GS)算法对初始相位敏感、光斑内部均匀性差,以及混合区域振幅自由度(MRAF)算法的低衍射效率和非信号区域散斑严重等问题,提出了一种改进的GS算法。首先,采用泽尼克多项式作为初始相位的基础形态,引入权重系数Z值,并通过迭代寻优算法获取最佳Z值,以生成初始相位。其次,在改进算法的前半部分使用GS算法优化初始相位,以确保其与目标光斑的适配性并维持高衍射效率,随后使用MRAF算法提升光斑内部的均匀性并降低误差。最后,基于输出面实际光强分布的反馈构建了一种优化机制,以获得最佳的DOE相位分布。针对三角形、方形和圆形光斑进行了优化设计,并开展了模拟仿真和光路实验,结果表明改进算法实现了超过98.30%的衍射效率和低于1.10%的均方根误差,并有效抑制了非信号区域的散斑,展现出强大的图形泛化能力。 展开更多
关键词 衍射光学元件 光束整形 GS算法 泽尼克多项式 散斑抑制
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激光束整形为矩形光束的DOE的设计及实验
8
作者 董梅峰 宋新祥 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期23-24,共2页
本文以几何理论为基础来设计把激光束整形为矩形光束的衍射光学元件 (DOE) ,推导出了衍射光学元件的相位表达式 ;并以高斯光束整形为例 ,把其整形为所需要的光强分布 ;进而进行了计算机模拟 ,得到了令人满意的结果 ;同时也进行了实验验... 本文以几何理论为基础来设计把激光束整形为矩形光束的衍射光学元件 (DOE) ,推导出了衍射光学元件的相位表达式 ;并以高斯光束整形为例 ,把其整形为所需要的光强分布 ;进而进行了计算机模拟 ,得到了令人满意的结果 ;同时也进行了实验验证 ,实验结果证明了设计方法。 展开更多
关键词 衍射光学元件 几何理论 衍射效率 均方差
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基于衍射透镜接收的激光雷达特性分析及测试 被引量:4
9
作者 王玲 刘博 +2 位作者 吴城 罗兰 杨玉强 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期143-151,共9页
在激光雷达系统设计中,光学系统的优化与设计是一个重要的研究方向,本文利用衍射光学元件(DOE)的设计自由度高和色散大等优势,将DOE用于激光雷达接收端,同时实现聚焦和滤光作用,降低了光学系统复杂度。本文基于DOE的原理,仿真分析了DOE... 在激光雷达系统设计中,光学系统的优化与设计是一个重要的研究方向,本文利用衍射光学元件(DOE)的设计自由度高和色散大等优势,将DOE用于激光雷达接收端,同时实现聚焦和滤光作用,降低了光学系统复杂度。本文基于DOE的原理,仿真分析了DOE的光学特性,并且以DOE作为激光雷达的光学接收端,完成了激光雷达测距实验,证明了DOE同时具有聚焦作用和窄带滤光作用,实验结果与仿真基本一致。本文利用DOE在激光雷达中的优势,实现激光雷达的轻量化、集成化和高效化。 展开更多
关键词 激光雷达 衍射光学元件 轻量化 滤光
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广角衍射光学元件的优化设计
10
作者 杨亮亮 刘成林 +3 位作者 赵勇兵 沈法华 赵琪 刘建利 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期256-260,共5页
为进一步研究入射角度的增大对衍射光学元件(diffractive optical element,DOE)衍射效率及微结构高度等参数的影响,分析了入射角度和周期宽度对带宽积分平均衍射效率的影响。基于扩展标量衍射理论,建立了DOE的微结构高度与入射角度和周... 为进一步研究入射角度的增大对衍射光学元件(diffractive optical element,DOE)衍射效率及微结构高度等参数的影响,分析了入射角度和周期宽度对带宽积分平均衍射效率的影响。基于扩展标量衍射理论,建立了DOE的微结构高度与入射角度和周期宽度的数学模型,提出了工作在一定入射角度范围内,基于复合带宽积分平均衍射效率(comprehensive polychromatic integral diffraction efficiency,CPIDE)最大化实现设计波长和微结构高度等结构参数的优化设计方法。以工作在红外波段的DOE为例进行分析。结果表明:当相对周期宽度为20,入射角度范围为0°~40°时,该DOE的CPIDE为94.15%,微结构高度为1.3396mm。该设计方法可以实现广角DOE的优化设计。 展开更多
关键词 衍射光学元件 衍射效率 微结构高度 入射角度
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宽温度范围内折衍混合中波红外消热差光学系统设计 被引量:2
11
作者 彭远 魏鸿达 +3 位作者 刘洋 张建文 邓伟杰 付强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第10期193-203,共11页
在军事领域应用的红外光学系统,有时需在近200℃的宽温度范围内工作。这一温度范围内,红外光学材料可选的种类进一步减少,系统的热离焦现象也会更为严重,进而导致光学系统难以完成良好的无热化设计。为应对这一挑战,该研究将具有独特消... 在军事领域应用的红外光学系统,有时需在近200℃的宽温度范围内工作。这一温度范围内,红外光学材料可选的种类进一步减少,系统的热离焦现象也会更为严重,进而导致光学系统难以完成良好的无热化设计。为应对这一挑战,该研究将具有独特消热差和消色差特性的衍射元件加入光学系统设计中,并提出了一种针对二次成像系统的材料选择方法。此方法以理想光学系统为基础,利用等效透镜理论将光学系统中的物镜组和中继镜组均等效成由两个单透镜组成的镜组,进而利用T-C图完成对这两个镜组的材料优选。经过深入的分析与评价,最终确定物镜组采用IRG24和ZnS材料组合为最优方案,而中继镜组的最佳材料组合为IRG22和IRG24。依据此种材料组合和理想光学系统的光焦度分配,该研究设计完成了一套中波红外光学系统。该系统的工作波长为3.7~4.8μm,视场角为10°×8°,F数为2,焦距为55 mm,系统总长约为115 mm,冷阑效率达到100%。在20~220℃范围内,全视场的调制传递函数(MTF)均接近衍射极限,维持了良好的成像性能。 展开更多
关键词 光学设计 中波红外 T-C图 衍射元件
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基于扩展标量衍射理论的多层衍射元件基底材料选择方法
12
作者 梁宗林 张博 +4 位作者 赵渊明 朴明旭 董奕洋 张悦玲 佟首峰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第10期235-243,共9页
基于扩展标量衍射理论(Extended Scalar Diffraction Theory,ESDT),建立了衍射光学元件(Diffractive Optical Element,DOE)的有效微结构高度、有效周期宽度、入射角度、基底材料与衍射效率之间的理论关系模型。提出了斜入射时,利用基于E... 基于扩展标量衍射理论(Extended Scalar Diffraction Theory,ESDT),建立了衍射光学元件(Diffractive Optical Element,DOE)的有效微结构高度、有效周期宽度、入射角度、基底材料与衍射效率之间的理论关系模型。提出了斜入射时,利用基于ESDT的DOE基底材料选择方法。以工作在MWIR-LWIR双波段的多层衍射光学元件(Multilayer Diffractive Optical Element,MLDOE)为例进行分析。结果表明:积分衍射效率(Polychromatic Integral Diffraction Efficiency,PIDE)不仅与MLDOE的微结构高度相关,同时受周期宽度、入射角及基底材料等因素的影响。对于基底材料组合AMTIR1-ZNS,在所有周期宽度下均能获得最小的衍射效率差值,而对于基底材料组合GE-ZNS,在所有周期宽度下均能获得最大的衍射效率差值。对比分析MWIR-LWIR双波段下ZNSE-ZNS和AMTIR1-ZNS两组基底材料组合PIDE>90%的角度范围,当周期宽度为500μm时,ZNSE-ZNS的入射角度范围为4.5°,而AMTIR1-ZNS的入射角度范围为5.4°,然而,随着周期宽度的增加,ZNSEZNS的入射角度范围反超了AMTIR1-ZNS。该设计方法和结论可以用于指导双波段红外光学系统中MLDOE的设计。 展开更多
关键词 衍射光学元件 标量衍射理论 矢量衍射理论 扩展标量衍射理论 基底材料选择
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双程色散声光可调谐滤波器设计
13
作者 庞亚军 姚美菱 +1 位作者 张锴 白振旭 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第2期13-17,共5页
声光可调谐滤波器(Acousto-Optic Tunable Filter,AOTF)是一种基于声光效应的色散器件,通过改变超声频率的大小,可以使光的衍射方向发生变化,从而进行波长选择。本研究设计了一种新的双程色散AOTF结构,并利用有限元分析软件对其滤波特... 声光可调谐滤波器(Acousto-Optic Tunable Filter,AOTF)是一种基于声光效应的色散器件,通过改变超声频率的大小,可以使光的衍射方向发生变化,从而进行波长选择。本研究设计了一种新的双程色散AOTF结构,并利用有限元分析软件对其滤波特性展开研究。研究结果表明,这种双程色散AOTF的设计可以有效地压缩光谱线宽,当中心波长为1064 nm时,在超声工作频率为84 MHz的情况下,线宽压缩效率达到了28.6%,明显提高了光谱分辨率;同时,这种结构还具有较强的抑制旁瓣效果,可以将中心波长为1064 nm的衍射光的旁瓣从-27.0 dB压缩至-44.8 dB,提高了光谱纯净度。 展开更多
关键词 声光衍射 声光效应 双程色散 有限元分析 光谱分辨率
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二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响 被引量:8
14
作者 殷可为 黄智强 +1 位作者 林妩媚 邢廷文 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期46-49,54,共5页
横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明... 横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明,控制8阶二元光学元件对准误差,可抑制衍射效率的迅速下降,适当调整线宽能够减小对准误差造成的影响。这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值。该方法简便且适用性强,可对二元光学元件的加工误差进行准确分析。 展开更多
关键词 衍射光学元件 二元光学元件 横向误差 衍射效率 标量衍射理论 MATLAB
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微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件 被引量:11
15
作者 李军琪 张云龙 +4 位作者 苏军 汪志斌 郭小岗 宗文俊 张磊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第11期3053-3058,共6页
锗单晶衍射光学元件具有特有的色散和温度特性,在红外光学领域,具有广阔的应用前景。衍射元件必须同时满足光学镜面及相位转变点的要求,采用微圆弧金刚石单点车削是解决这一途径的主要方法之一,但采用微圆弧刀具加工时,要求同时满足粗... 锗单晶衍射光学元件具有特有的色散和温度特性,在红外光学领域,具有广阔的应用前景。衍射元件必须同时满足光学镜面及相位转变点的要求,采用微圆弧金刚石单点车削是解决这一途径的主要方法之一,但采用微圆弧刀具加工时,要求同时满足粗糙度和相位突变点是加工衍射元件的难点,因此,研究微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件具有重大意义。基于DEFORM 3D切削仿真软件,对金刚石刀具车削锗单晶材料进行了仿真分析,分析了切削参数、刀具参数对锗单晶材料粗糙度的影响,并依据仿真试验结果优选切削参数以及刀具参数进行试验,R0.1mm微圆弧刀具车削单晶材料粗糙度达到4 nm。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 切削仿真 衍射光学元件 表面粗糙度
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一体式紧凑型折反光学系统设计 被引量:9
16
作者 虞林瑶 魏群 +2 位作者 张鑫 张天翼 贾宏光 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期561-566,共6页
提出了一种一体式双反射结构以解决导引头前视红外系统中R-C双反射系统装调困难以及在导弹飞行过程中次镜支架的稳定性问题。该结构将主次镜集成在一个透镜前后表面,通过对透镜前后表面进行加工并涂敷内反射膜来实现双反射镜一体化。如... 提出了一种一体式双反射结构以解决导引头前视红外系统中R-C双反射系统装调困难以及在导弹飞行过程中次镜支架的稳定性问题。该结构将主次镜集成在一个透镜前后表面,通过对透镜前后表面进行加工并涂敷内反射膜来实现双反射镜一体化。如此配置使系统装调只需针对整个透镜,从而降低了装调难度,提高了结构的稳定性。设计了适用于中波红外的紧凑型二次成像光学系统,该系统像质优良,各视场光学传递函数均大于0.6,接近衍射极限,并可利用二元衍射光学元件在-40~60℃实现光学被动消热差。最后进行了公差分析,并针对该光学系统列举了一些抑制杂散辐射的方法,实验显示系统满足实际加工和应用需求。 展开更多
关键词 R—C系统 红外折反系统 二次成像 衍射光学元件
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用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件 被引量:18
17
作者 张健 栗孟娟 +4 位作者 阴刚华 焦建超 刘正坤 徐向东 付绍军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1289-1296,共8页
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射... 为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射型薄膜元件。结合有限元法探究了薄膜复制过程中热应力的变化规律及降低热应力的方法,分析了影响薄膜衍射效率的因素及薄膜制作误差、温度变化对薄膜成像的影响,最终实现了大面积薄膜与基底的分离,并通过局部氧气等离子体轰击提高了薄膜衍射效率的均匀性。经测试,薄膜菲涅尔衍射元件的厚度约为20μm,在波长633nm处的实际衍射效率平均值为33.14%,达到了理论效率的81.83%,衍射效率的均方根值RMS=0.01。实验结果表明,通过紫外光刻、离子束刻蚀和薄膜复制的方法可以得到大口径、高衍射效率的薄膜菲涅尔衍射元件。 展开更多
关键词 衍射光学 大口径衍射元件 PI薄膜 衍射效率 空间望远镜
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多层衍射光学元件的特性分析 被引量:15
18
作者 白剑 马韬 +1 位作者 沈亦兵 侯西云 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期44-47,共4页
对采用不同材料多层衍射光学元件的衍射效率进行了分析。通过建立双层衍射光学元件的位相分布函数,实现了宽光谱范围内高衍射效率的多层结构设计.可见光波段设计结果表明多层衍射光学元件可在整个光谱范围内获得大于96%的衍射效率,克服... 对采用不同材料多层衍射光学元件的衍射效率进行了分析。通过建立双层衍射光学元件的位相分布函数,实现了宽光谱范围内高衍射效率的多层结构设计.可见光波段设计结果表明多层衍射光学元件可在整个光谱范围内获得大于96%的衍射效率,克服了传统单层衍射元件衍射效韭低的缺点,使衍射元件在混合光学系统中,特别是在可见光波段,充分发挥其校正色差、热差及提供非球面度的优势,从而实现体积小、重量轻、像质优越的光学系统. 展开更多
关键词 多层衍射元件 混合光学 衍射光学
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衍射光学元件检测及数据处理 被引量:5
19
作者 张云龙 汪志斌 +2 位作者 张峰 郭小岗 李军琪 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期355-358,共4页
衍射光学元件以其优异的光学性能,能够调制出理想的波面,较球面、非球面光学系统在校正色差方面具有较大优势。衍射光学元件的加工难点在于其加工精度不仅要求非球面基底的面形满足精度要求,还需要衍射结构的相位突变点及高度满足要求... 衍射光学元件以其优异的光学性能,能够调制出理想的波面,较球面、非球面光学系统在校正色差方面具有较大优势。衍射光学元件的加工难点在于其加工精度不仅要求非球面基底的面形满足精度要求,还需要衍射结构的相位突变点及高度满足要求。由于其面形非连续性,存在相位突变点,传统的检测方式难于满足要求。对轮廓仪检测误差来源进行分析,结合检测数据分析加工误差数据,在此基础上进行数据处理,并将该方法获得的误差数据应用于零件加工,实现口径120mm衍射面加工面形误差为0.539μm。 展开更多
关键词 衍射光学元件 数据处理 误差分析 面形检测
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大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀 被引量:7
20
作者 邱克强 周小为 +5 位作者 刘颖 徐向东 刘正坤 盛斌 洪义麟 付绍军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1676-1683,共8页
总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达±1%。建立了针... 总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达±1%。建立了针对多层介质膜光栅的衍射强度一维空间分布在线检测系统以及用于透射衍射光学元件离子束刻蚀深度的等厚干涉在线检测系统,实现了对大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀终点的定量、科学控制,提高了元件离子束刻蚀工艺的成功率。利用上述技术,成功研制出一系列尺寸的多层介质膜光栅、光束采样光栅、色分离光栅以及同步辐射光栅等多种衍射光学元件。 展开更多
关键词 衍射光学元件 离子束刻蚀 刻蚀深度 在线检测 多层介质膜光栅
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