期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
用于光刻机物镜像差补偿的透射式变形镜设计
1
作者
邹有云
布一帆
+2 位作者
杜文杰
邓杰
马剑强
《压电与声光》
北大核心
2024年第6期995-1000,共6页
针对深紫外光刻机物镜工作一段时间后存在的低阶像差问题,提出了一种大口径、小变形量、高精度的透射式变形镜结构。通过有限元对变形镜的校正性能进行仿真,确定了致动器数目、玻璃厚度、内外环的宽度。仿真结果表明,重构Z3-Z9项Zernik...
针对深紫外光刻机物镜工作一段时间后存在的低阶像差问题,提出了一种大口径、小变形量、高精度的透射式变形镜结构。通过有限元对变形镜的校正性能进行仿真,确定了致动器数目、玻璃厚度、内外环的宽度。仿真结果表明,重构Z3-Z9项Zernike像差,归一化残余误差小于0.2%,整体满足193 nm DUV光刻机物镜像差的校正。研究了重力场及热吸收对透镜像差的影响,两者均为离焦像差最大但数值较小,可被变形镜校正。
展开更多
关键词
duv光刻机物镜
变形镜
像差校正
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
用于光刻机物镜像差补偿的透射式变形镜设计
1
作者
邹有云
布一帆
杜文杰
邓杰
马剑强
机构
宁波大学机械工程与力学学院
出处
《压电与声光》
北大核心
2024年第6期995-1000,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(52475109)。
文摘
针对深紫外光刻机物镜工作一段时间后存在的低阶像差问题,提出了一种大口径、小变形量、高精度的透射式变形镜结构。通过有限元对变形镜的校正性能进行仿真,确定了致动器数目、玻璃厚度、内外环的宽度。仿真结果表明,重构Z3-Z9项Zernike像差,归一化残余误差小于0.2%,整体满足193 nm DUV光刻机物镜像差的校正。研究了重力场及热吸收对透镜像差的影响,两者均为离焦像差最大但数值较小,可被变形镜校正。
关键词
duv光刻机物镜
变形镜
像差校正
Keywords
duv
lithography object lens
deformable lens
aberration correction
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN256 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于光刻机物镜像差补偿的透射式变形镜设计
邹有云
布一帆
杜文杰
邓杰
马剑强
《压电与声光》
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
