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基于氧化石墨烯的高灵敏DMMP声表面波传感器
1
作者
张颖
金晶
+4 位作者
杨世林
张嵩
胡文韬
阮林萍
蔡建兵
《压电与声光》
北大核心
2025年第2期246-250,共5页
以沙林的模拟物甲基磷酸二甲酯(DMMP)为检测对象,开发了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)DMMP气体传感器。该传感器利用半导体平面工艺在石英基底上沉积金属铝换能器,形成延迟线结构,并通过滴涂法在声传播路径上沉积GO气敏薄膜。...
以沙林的模拟物甲基磷酸二甲酯(DMMP)为检测对象,开发了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)DMMP气体传感器。该传感器利用半导体平面工艺在石英基底上沉积金属铝换能器,形成延迟线结构,并通过滴涂法在声传播路径上沉积GO气敏薄膜。在室温条件下,该SAW传感器在1 ppm至40 ppm的DMMP浓度范围内展现出高灵敏度(0.6 mV/ppm)和快速响应(T_(90)=45 s)。此外,该传感器具有较好的稳定性,放置两周后其传感性能衰退较小。
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关键词
声表面波
dmmp传感器
氧化石墨烯
高灵敏
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职称材料
题名
基于氧化石墨烯的高灵敏DMMP声表面波传感器
1
作者
张颖
金晶
杨世林
张嵩
胡文韬
阮林萍
蔡建兵
机构
杭州智元研究院有限公司
中国科学院声学研究所
出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第2期246-250,共5页
文摘
以沙林的模拟物甲基磷酸二甲酯(DMMP)为检测对象,开发了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)DMMP气体传感器。该传感器利用半导体平面工艺在石英基底上沉积金属铝换能器,形成延迟线结构,并通过滴涂法在声传播路径上沉积GO气敏薄膜。在室温条件下,该SAW传感器在1 ppm至40 ppm的DMMP浓度范围内展现出高灵敏度(0.6 mV/ppm)和快速响应(T_(90)=45 s)。此外,该传感器具有较好的稳定性,放置两周后其传感性能衰退较小。
关键词
声表面波
dmmp传感器
氧化石墨烯
高灵敏
Keywords
surface acoustic wave
dmmp
sensor
graphene oxide
high sensitivity
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于氧化石墨烯的高灵敏DMMP声表面波传感器
张颖
金晶
杨世林
张嵩
胡文韬
阮林萍
蔡建兵
《压电与声光》
北大核心
2025
0
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