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采用DDSOG工艺加工Z轴微机械陀螺仪实验
被引量：
3
1
作者
何晓磊
苏岩
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期545-548,共4页
从理论上分析了Z轴微机械陀螺仪结构的工作机理,比较了体硅薄片融解工艺和DDSOG工艺的优缺点.介绍了采用DDSOG工艺加工的Z轴微机械振动陀螺的特点,并与采用体硅薄片融解工艺加工的相同Z轴微机械振动陀螺进行了残余应力、品质因数及灵敏...
从理论上分析了Z轴微机械陀螺仪结构的工作机理,比较了体硅薄片融解工艺和DDSOG工艺的优缺点.介绍了采用DDSOG工艺加工的Z轴微机械振动陀螺的特点,并与采用体硅薄片融解工艺加工的相同Z轴微机械振动陀螺进行了残余应力、品质因数及灵敏度等性能参数的比较,采用DDSOG工艺后陀螺的驱动品质因数是原来体硅薄片融解工艺的1.45倍,而检测品质因数是原来的0.11倍.最后,比较了采用2种不同工艺加工后Z轴微机械陀螺的实验结果,结果表明采用DDSOG工艺加工后陀螺的灵敏度比原来采用体硅薄片融解工艺加工的陀螺的灵敏度提高了近10倍.
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关键词
体硅薄片融解工艺
ddsog
灵敏度
微机械陀螺仪
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职称材料
推挽式MEMS谐振加速度计的实现与测试
2
作者
都捷豪
石云波
+3 位作者
李飞
石亦琨
曹慧亮
赵锐
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022年第9期929-935,共7页
针对推挽式微电子机械系统(MEMS)谐振加速度计的结构分析了其工作原理,进行了工艺上的加工,并对加工中可能出现的问题进行了优化。依据推挽式MEMS谐振加速度计的结构尺寸以及测量精度需求,设计了符合要求的测控电路系统,包括了基于自激...
针对推挽式微电子机械系统(MEMS)谐振加速度计的结构分析了其工作原理,进行了工艺上的加工,并对加工中可能出现的问题进行了优化。依据推挽式MEMS谐振加速度计的结构尺寸以及测量精度需求,设计了符合要求的测控电路系统,包括了基于自激振荡的闭环驱动电路和等精度测频的频率检测电路。最后完成样机整表测试,结果表明:推挽式MEMS谐振加速度计的两个谐振器谐振频率分别为21.443和21.455 kHz,品质因数分别为3 063和3 065。在±1g的范围内,标度因数和标度因数重复性分别为204.42 Hz/g和3.11×10^(-5),零加速度样机频差为-12.91 Hz/g,零偏和零偏稳定性为0.06g和0.008 01g。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
加速度计
谐振器
推挽式
深硅-玻璃干法刻蚀(
ddsog
)
自激振荡
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职称材料
题名
采用DDSOG工艺加工Z轴微机械陀螺仪实验
被引量：
3
1
作者
何晓磊
苏岩
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期545-548,共4页
文摘
从理论上分析了Z轴微机械陀螺仪结构的工作机理,比较了体硅薄片融解工艺和DDSOG工艺的优缺点.介绍了采用DDSOG工艺加工的Z轴微机械振动陀螺的特点,并与采用体硅薄片融解工艺加工的相同Z轴微机械振动陀螺进行了残余应力、品质因数及灵敏度等性能参数的比较,采用DDSOG工艺后陀螺的驱动品质因数是原来体硅薄片融解工艺的1.45倍,而检测品质因数是原来的0.11倍.最后,比较了采用2种不同工艺加工后Z轴微机械陀螺的实验结果,结果表明采用DDSOG工艺加工后陀螺的灵敏度比原来采用体硅薄片融解工艺加工的陀螺的灵敏度提高了近10倍.
关键词
体硅薄片融解工艺
ddsog
灵敏度
微机械陀螺仪
Keywords
bulk silicon dissolved wafer process
ddsog
sensitivity
micromachined gyroscope
分类号
U666.12 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
推挽式MEMS谐振加速度计的实现与测试
2
作者
都捷豪
石云波
李飞
石亦琨
曹慧亮
赵锐
机构
中北大学仪器与电子学院电子测试技术重点实验室
上海卫星装备研究所
北京星途探索科技有限公司
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022年第9期929-935,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(52175524)
山西省重点研发计划项目(202003D111004)。
文摘
针对推挽式微电子机械系统(MEMS)谐振加速度计的结构分析了其工作原理,进行了工艺上的加工,并对加工中可能出现的问题进行了优化。依据推挽式MEMS谐振加速度计的结构尺寸以及测量精度需求,设计了符合要求的测控电路系统,包括了基于自激振荡的闭环驱动电路和等精度测频的频率检测电路。最后完成样机整表测试,结果表明:推挽式MEMS谐振加速度计的两个谐振器谐振频率分别为21.443和21.455 kHz,品质因数分别为3 063和3 065。在±1g的范围内,标度因数和标度因数重复性分别为204.42 Hz/g和3.11×10^(-5),零加速度样机频差为-12.91 Hz/g,零偏和零偏稳定性为0.06g和0.008 01g。
关键词
微电子机械系统(MEMS)
加速度计
谐振器
推挽式
深硅-玻璃干法刻蚀(
ddsog
)
自激振荡
Keywords
micro-electromechanical system(MEMS)
accelerometer
resonator
push-pull type
deeply dissolved silicon on glass(
ddsog
)
self-excited oscillation
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用DDSOG工艺加工Z轴微机械陀螺仪实验
何晓磊
苏岩
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
推挽式MEMS谐振加速度计的实现与测试
都捷豪
石云波
李飞
石亦琨
曹慧亮
赵锐
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022
0
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