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Local segregation in Cu-In precursors and its effects on microstructures of selenized CuInSe_2 thin films
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作者 方玲 张弓 +2 位作者 庄大明 赵明 吴敏生 《Journal of Central South University of Technology》 2005年第1期13-16,共4页
Local segregation in Cu-In precursors and its effects on the element distribution and microstructures of selenized CuInSe2 thin films were investigated. Cu-In precursors with an ideal total mole ratio of Cu to In of 0... Local segregation in Cu-In precursors and its effects on the element distribution and microstructures of selenized CuInSe2 thin films were investigated. Cu-In precursors with an ideal total mole ratio of Cu to In of 0.92 were prepared by middle frequency alternating current magnetron sputtering with Cu-In alloy target, then CuInSe2 absorbers for solar cells were formed by selenization process in selenium atmosphere. Scanning electron microscope and energy dispersive X-ray spectroscope were used respectively to observe the surface morphologies and determine the compositions of both Cu-In precursors and CuInSe2 thin films. Their microstructures were characterized by X-ray diffractometry and Raman spectroscope. The results show that Cu-In precursors are mainly composed of (Cu11In9) phase with In-rich solid solution. Stoichiometric CuInSe2 thin films with a homogeneous element distribution and single chalcopyrite phase can be synthesized from a segregated Cu-In precursor film with an ideal total mole ratio of Cu to In of 0.92. CuInSe2 thin film shows P-type conductivity and its resistivity reaches 1.2×103Ω·cm. 展开更多
关键词 solar cell cu-in precursor CuInSe_2 thin film SELENIZATION magnetron sputtering
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溅射Cu/In叠层预置膜再硒化法制备CuInSe_2薄膜 被引量:4
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作者 李健 朱洁 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期312-318,共7页
采用Cu、In双靶,低功率直流磁控溅射的方法沉积Cu-In双层预置膜,然后采用固态源硒化法生成CuInSe_2 (CIS)薄膜。采用SEM和EDX观察和分析薄膜的表面形貌与成分,用XRD表征薄膜的组织结构。重点分析了不同衬底,不同铜、铟溅射顺序对Cu-In... 采用Cu、In双靶,低功率直流磁控溅射的方法沉积Cu-In双层预置膜,然后采用固态源硒化法生成CuInSe_2 (CIS)薄膜。采用SEM和EDX观察和分析薄膜的表面形貌与成分,用XRD表征薄膜的组织结构。重点分析了不同衬底,不同铜、铟溅射顺序对Cu-In双层预置膜与CuInSe_2半导体薄膜成分、形貌和相结构的影响,分析了不同溅射顺序下薄膜的生长机制。以镀Mo玻璃为衬底生长的薄膜具有更理想的形貌;在Cu-In膜制备过程中采用先溅射Cu后溅射In的沉积顺序,能有效地利用元素In润湿能力强的特点,使Cu、In充分结合形成均匀致密的Cu-In预置膜,经硒化处理得到了具有单一黄铜矿结构的CuInSe_2半导体薄膜。 展开更多
关键词 磁控溅射 cu-in双层膜 溅射顺序 CIS膜
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氮气流量对CuInS2薄膜微结构的影响
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作者 阎有花 刘迎春 +4 位作者 方玲 赵海花 李德仁 卢志超 周少雄 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期412-414,共3页
采用硫化法制备出具有多晶结构的光吸收层CuInS2薄膜,研究了硫源处N2流量对CuInS2薄膜微结构的影响。利用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的结构。结果表明:N2流量增大到600ml/min制得具有黄铜矿结构... 采用硫化法制备出具有多晶结构的光吸收层CuInS2薄膜,研究了硫源处N2流量对CuInS2薄膜微结构的影响。利用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的结构。结果表明:N2流量增大到600ml/min制得具有黄铜矿结构且沿(112)晶向择优生长的CuInS2薄膜,晶粒尺寸为230nm。 展开更多
关键词 cu-in薄膜 CuInS2薄膜 N2流量
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低熔点合金衬底上CVD法生长石墨烯
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作者 孙雷 沈鸿烈 +4 位作者 李金泽 吴天如 丁古巧 朱云 谢晓明 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2589-2594,共6页
以CH4为气态碳源,不同组分的In基合金为衬底,用CVD法进行石墨烯生长的研究结果。用光学显微镜,拉曼光谱,场发射扫描电镜对生长的薄层进行了表征。结果显示在熔融态金属Cu-In合金上成功制备了石墨烯薄膜,"表面催化"型金属Cu的... 以CH4为气态碳源,不同组分的In基合金为衬底,用CVD法进行石墨烯生长的研究结果。用光学显微镜,拉曼光谱,场发射扫描电镜对生长的薄层进行了表征。结果显示在熔融态金属Cu-In合金上成功制备了石墨烯薄膜,"表面催化"型金属Cu的加入In使金属表面形核点增多,合金表面石墨烯的生长速度提高,但石墨烯质量下降;"溶解析出"型金属Ni与低熔点金属In组成的合金催化性能有明显的增强,在极短的时间内堆积成石墨"块";金属Sn不具备明显的催化生长石墨烯的能力,导致了Sn-In合金衬底上石墨烯的生长与纯In类似,Sn的影响作用较弱。 展开更多
关键词 石墨烯 cu-in合金 化学气相沉积
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低功率共溅射再硒化法制备CuInSe_2薄膜
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作者 李健 朱洁 何建平 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期130-134,共5页
采用Cu、In双靶,直流磁控溅射的方法制备Cu-In薄膜,然后采用固态源硒化的方法形成CuInSe_2(CIS)薄膜。采用SEM和EDX观察和分析了样品的表面形貌和成分,用XRD表征了薄膜的组织结构。分析了硒化中的反应过程并研究了热处理对改善薄膜质量... 采用Cu、In双靶,直流磁控溅射的方法制备Cu-In薄膜,然后采用固态源硒化的方法形成CuInSe_2(CIS)薄膜。采用SEM和EDX观察和分析了样品的表面形貌和成分,用XRD表征了薄膜的组织结构。分析了硒化中的反应过程并研究了热处理对改善薄膜质量的影响。结果表明,Cu-In预制膜主要以CuIn相形式存在。由CuIn相为主相的预制膜制成的CIS薄膜具有单一的CuInSe_2相黄铜矿结构,且其成分接近CuInSe_2化学计量比。 展开更多
关键词 共溅射 cu-in合金膜 硒化法 CIS膜
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