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高质量Cu_2ZnSnS_4薄膜的两步法制备及表征
被引量：
1
1
作者
周珊珊
谭瑞琴
+3 位作者
姜欣
沈祥
许炜
宋伟杰
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期396-402,共7页
采用直流磁控溅射方法,以Cu-Zn-Sn合金为靶材,结合后续硫化工艺成功制备出高质量Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、场发射扫描电子显微镜和能量色散谱对Cu-Zn-Sn(CZT)前驱体及CZTS薄膜的结构、形貌和组分进行了表征,...
采用直流磁控溅射方法,以Cu-Zn-Sn合金为靶材,结合后续硫化工艺成功制备出高质量Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、场发射扫描电子显微镜和能量色散谱对Cu-Zn-Sn(CZT)前驱体及CZTS薄膜的结构、形貌和组分进行了表征,并使用紫外-可见分光光度计测量了CZTS薄膜的吸收光谱。研究结果表明:直流溅射的溅射功率和工作气压会影响CZTS薄膜的质量。采用30 W功率,在1 Pa气压条件下直流溅射制备的CZT前驱体薄膜形貌均匀致密,经硫化后可得到接近化学计量比、高质量、单一锌黄锡矿结构的CZTS薄膜,其光学禁带宽度约为1.49 eV,适合作为薄膜太阳能电池的吸收层材料。
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关键词
直流磁控溅射
CZTS薄膜
cu—zn-sn合金靶
两步法
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职称材料
Cu_2ZnSnS_4薄膜的制备及其表征
被引量：
2
2
作者
张坤
赵联波
+6 位作者
陈志伟
秦勤
蒋良兴
刘芳洋
赖延清
李劼
刘业翔
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期3740-3745,共6页
采用Cu-Zn-Sn三元合金靶,以直流反应磁控溅射原位生长的技术制备Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜材料。采用X线能量色散谱仪、扫描电镜、X线衍射仪、拉曼光谱、紫外可见分光光度计和霍尔效应测试系统对薄膜进行表征。研究结果表明:原位生长的CZTS...
采用Cu-Zn-Sn三元合金靶,以直流反应磁控溅射原位生长的技术制备Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜材料。采用X线能量色散谱仪、扫描电镜、X线衍射仪、拉曼光谱、紫外可见分光光度计和霍尔效应测试系统对薄膜进行表征。研究结果表明:原位生长的CZTS薄膜的成分呈富铜贫锌,具有均质、致密和平整的形貌,且由贯穿整个薄膜厚度的柱状颗粒组成;薄膜在(112)面呈现出明显的择优取向,均为P型材料且具有器件级载流子浓度;随着溅射功率的升高,薄膜的形貌、结晶性能、电学性质均得到一定程度改善。
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关键词
cu
2ZnSnS4
反应磁控溅射
合金
靶
光吸收层
太阳电池
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职称材料
题名
高质量Cu_2ZnSnS_4薄膜的两步法制备及表征
被引量：
1
1
作者
周珊珊
谭瑞琴
姜欣
沈祥
许炜
宋伟杰
机构
宁波大学信息科学与工程学院
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期396-402,共7页
基金
国家自然科学基金项目(21377063)
宁波市自然科学基金项目(2012A610120)
+1 种基金
宁波大学王宽诚幸福基金项目
浙江省"信息与通信工程"重中之重学科开放基金项目
文摘
采用直流磁控溅射方法,以Cu-Zn-Sn合金为靶材,结合后续硫化工艺成功制备出高质量Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、场发射扫描电子显微镜和能量色散谱对Cu-Zn-Sn(CZT)前驱体及CZTS薄膜的结构、形貌和组分进行了表征,并使用紫外-可见分光光度计测量了CZTS薄膜的吸收光谱。研究结果表明:直流溅射的溅射功率和工作气压会影响CZTS薄膜的质量。采用30 W功率,在1 Pa气压条件下直流溅射制备的CZT前驱体薄膜形貌均匀致密,经硫化后可得到接近化学计量比、高质量、单一锌黄锡矿结构的CZTS薄膜,其光学禁带宽度约为1.49 eV,适合作为薄膜太阳能电池的吸收层材料。
关键词
直流磁控溅射
CZTS薄膜
cu—zn-sn合金靶
两步法
Keywords
DC magnetron sputtering process, CZTS thin films,
cu
-
zn-sn
alloy target, Two-step process
分类号
O742 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
Cu_2ZnSnS_4薄膜的制备及其表征
被引量：
2
2
作者
张坤
赵联波
陈志伟
秦勤
蒋良兴
刘芳洋
赖延清
李劼
刘业翔
机构
中南大学冶金与环境学院
新南威尔士大学光伏与可再生能源工程学院
出处
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期3740-3745,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51205214)
中央高校基本科研业务费青年助推基金资助项目(2012QNZT022)
中南大学中央高校基本科研业务费专项资金资助资助(2013zzts027)~~
文摘
采用Cu-Zn-Sn三元合金靶,以直流反应磁控溅射原位生长的技术制备Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜材料。采用X线能量色散谱仪、扫描电镜、X线衍射仪、拉曼光谱、紫外可见分光光度计和霍尔效应测试系统对薄膜进行表征。研究结果表明:原位生长的CZTS薄膜的成分呈富铜贫锌,具有均质、致密和平整的形貌,且由贯穿整个薄膜厚度的柱状颗粒组成;薄膜在(112)面呈现出明显的择优取向,均为P型材料且具有器件级载流子浓度;随着溅射功率的升高,薄膜的形貌、结晶性能、电学性质均得到一定程度改善。
关键词
cu
2ZnSnS4
反应磁控溅射
合金
靶
光吸收层
太阳电池
Keywords
cu
2ZnSnS4
reactive magnetron
alloy target
absorbing layer
solar cell
分类号
O472 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高质量Cu_2ZnSnS_4薄膜的两步法制备及表征
周珊珊
谭瑞琴
姜欣
沈祥
许炜
宋伟杰
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
Cu_2ZnSnS_4薄膜的制备及其表征
张坤
赵联波
陈志伟
秦勤
蒋良兴
刘芳洋
赖延清
李劼
刘业翔
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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职称材料
已选择
0
条
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