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高温高压下C_(3)H_(8)/C_(2)H_(4)在空气中的爆炸上限
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作者 陈昇 宁也 +4 位作者 何萌 祁畅 王亚磊 闫兴清 喻健良 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期187-196,共10页
为了防控高温高压工艺流程中可燃混合气体潜在的爆炸风险,利用自行搭建的20 L球形爆炸特性实验装置,测试了初始温度20~200℃、初始压力0.1~1.5 MPa下C_(3)H_(8)/C_(2)H_(4)混合气体在空气中的爆炸上限,分析了温度、压力和C_(2)H_(4)体... 为了防控高温高压工艺流程中可燃混合气体潜在的爆炸风险,利用自行搭建的20 L球形爆炸特性实验装置,测试了初始温度20~200℃、初始压力0.1~1.5 MPa下C_(3)H_(8)/C_(2)H_(4)混合气体在空气中的爆炸上限,分析了温度、压力和C_(2)H_(4)体积分数对混合气体爆炸上限的影响。结果表明,随着温度和压力的升高,C_(3)H_(8)/C_(2)H_(4)混合气体爆炸上限升高。当初始压力高于0.3 MPa时,随着C_(2)H_(4)体积分数的增加,爆炸上限的上升速率明显降低。随着C_(2)H_(4)体积分数的增加,高温和高压下爆炸上限的提升幅度和速率比常温常压下更高。温度和压力的协同作用对爆炸上限的影响远大于二者单独作用的影响之和,即高温和高压协同作用下,C_(3)H_(8)/C_(2)H_(4)混合气体具有更高的爆炸风险,且随着C_(2)H_(4)体积分数的增加,爆炸风险会进一步提升。分别拟合得到了爆炸上限与温度参数、爆炸上限与压力参数以及爆炸上限与温度和压力双参数下的函数关系。 展开更多
关键词 高温 高压 爆炸上限 C_(3)H_(8)/C_(2)H_(4)混合气体
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用于GaN基HEMT栅极金属TiN的ICP刻蚀工艺
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作者 高阳 周燕萍 +3 位作者 王鹤鸣 左超 上村隆一郎 杨秉君 《微纳电子技术》 CAS 2024年第3期136-143,共8页
GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)在射频(RF)通信及新能源汽车领域有着巨大的应用潜力。TiN材料因其良好的热稳定性、化学稳定性及工艺兼容性,可用作GaN基HEMT的栅极材料。采用ULVAC公司生产的NE-550型电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备对Ti... GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)在射频(RF)通信及新能源汽车领域有着巨大的应用潜力。TiN材料因其良好的热稳定性、化学稳定性及工艺兼容性,可用作GaN基HEMT的栅极材料。采用ULVAC公司生产的NE-550型电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备对TiN材料进行了干法刻蚀工艺的研究。采用光刻胶作为刻蚀掩膜,Cl_(2)和BCl_(3)混合气体作为工艺气体,通过调整工艺参数,研究了ICP源功率、射频(RF)偏压功率、腔体压力、气体体积流量以及载台温度对TiN刻蚀速率和侧壁角度的影响。最后通过优化工艺参数,得到了TiN刻蚀速率为333 nm/min,底部平整且侧壁角度为81°的栅极结构。 展开更多
关键词 氮化镓(GaN) 高电子迁移率晶体管(HEMT) 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 TIN cl2和bcl3混合气体 栅极结构 新能源汽车
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InGaAs探测器制备的ICP刻蚀方法研究
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作者 宁锦华 唐恒敬 +4 位作者 张可锋 李淘 李永富 李雪 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期411-414,共4页
采用Cl2/BCl3/Ar感应耦合等离子体对InP/In0.55Ga0.45As/InP进行了刻蚀。讨论了不同的气体组分、ICP功率、直流自偏压下对刻蚀速率、表面粗糙度的影响。初步得到了一种稳定、刻蚀表面清洁光滑、图形轮廓良好、均匀性好和刻蚀速率较高的... 采用Cl2/BCl3/Ar感应耦合等离子体对InP/In0.55Ga0.45As/InP进行了刻蚀。讨论了不同的气体组分、ICP功率、直流自偏压下对刻蚀速率、表面粗糙度的影响。初步得到了一种稳定、刻蚀表面清洁光滑、图形轮廓良好、均匀性好和刻蚀速率较高的工艺。利用此工艺制作的8元InP/In0.55Ga0.45As/InP(PIN)探测器,峰值探测率为1.04×1012cmHz1/2W-1。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 cl2/bcl3/Ar INGAAS PIN 探测器
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乙烯的红外多光子离解
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作者 章吉祥 胡照林 +2 位作者 米琪 张允武 马兴孝 《四川激光》 1980年第4期24-28,共5页
利用聚焦脉冲TEA-CO_2激光束(自然振荡谱线)辐照乙烯及乙烯与各种添加物(O_2·Cl_2·H_2O·HCl等)的混合气体,研究了激光激励乙烯分子ν_ι振动时乙烯分子的离解和各种添加物对乙烯离解的影响。
关键词 乙烯 离解 多光子 红外 混合气体 激光激励 添加物 Hcl H2O cl2
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化学电源典例解析
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作者 瞿峰 付振玲 《数理化解题研究(高中版)》 2009年第7期45-46,共2页
例1 熔融盐燃料电池具有高的发电效率,因而受到重视,可用Li2CO3和Na2CO3的熔融盐混合物作电解质,CO为阳极燃气。空气与CO2的混合气体为阴极助燃气,制得在650℃下工作的燃料电池,完成有关的电池反应式:
关键词 化学电源 NA2CO3 解析 燃料电池 发电效率 混合气体 电解质 混合
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高一化学计算题巧解集粹
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作者 李国友 《数理化解题研究(高中版)》 2006年第5期55-57,共3页
例1 在密闭容器中盛有H2、O2、Cl2的混合气体,用电火花使三种气体恰好完全反应,冷至室温得液态产物,溶质的质量分数为25.3%,则容器内原有H2、O2、Cl2的体积比为( )
关键词 化学计算题 集粹 高一 密闭容器 混合气体 完全反应 质量分数 cl2 体积比 H2
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计算型选择题的快速解题方法分析估算法
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作者 李紫秋 张松昌 《数理化解题研究(高中版)》 2002年第9期62-62,共1页
例1 在标准状况下,NO2、NH3、N2三种气体组成混合气体体积为10L,气体通过稀H2SO4后.溶液的质量增加12.5g,气体体积缩小为3.28L,混合气体各成分的体积依次是(单位:L) ( )
关键词 计算型选择题 估算法 解题方法 气体体积 混合气体 速解 溶液 NO2 缩小 NH3
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浅谈守恒法巧解有关硝酸的典型计算
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作者 唐美清 《数理化解题研究(高中版)》 2002年第8期51-52,共2页
关于硝酸的计算常见类型有NO、NO2、O2混合气体与H2O反应、HNO3与各种金属反应,考查4NO+3O2+2H2O=4HNO3和4NO2+O2+2H2O=4HNO3及浓稀硝酸与金属反应放出NO、NO2等知识的灵活运用.
关键词 守恒法 巧解 考查 常见类型 灵活运用 稀硝酸 HNO3 NO2 反应 混合气体
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