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脉冲激光沉积法制备Ca_3Co_4O_9热电薄膜的研究
1
作者
吴东
李智东
+3 位作者
赵昆渝
张辉
葛振华
张鹏翔
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第2期297-300,共4页
分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca3Co4O9热电陶瓷靶材,对Ca3Co4O9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al2O3衬底上生长了单相的Ca3Co4O9薄膜。...
分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca3Co4O9热电陶瓷靶材,对Ca3Co4O9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al2O3衬底上生长了单相的Ca3Co4O9薄膜。通过X-射线衍射(XRD)仪、金相显微镜及扫描电镜(SEM)等表征手段,研究了靶材与薄膜的制备工艺对热电薄膜的物相、显微结构及形貌的影响。用直流四探针法测定了靶材和薄膜电阻率与温度的关系,结果表明,薄膜具有明显的半导体特性。
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关键词
CA3
co4
O9
热电陶瓷
热电薄膜
脉冲激光沉积(PLD)
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职称材料
题名
脉冲激光沉积法制备Ca_3Co_4O_9热电薄膜的研究
1
作者
吴东
李智东
赵昆渝
张辉
葛振华
张鹏翔
机构
昆明理工大学材料与冶金工程学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第2期297-300,共4页
文摘
分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca3Co4O9热电陶瓷靶材,对Ca3Co4O9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al2O3衬底上生长了单相的Ca3Co4O9薄膜。通过X-射线衍射(XRD)仪、金相显微镜及扫描电镜(SEM)等表征手段,研究了靶材与薄膜的制备工艺对热电薄膜的物相、显微结构及形貌的影响。用直流四探针法测定了靶材和薄膜电阻率与温度的关系,结果表明,薄膜具有明显的半导体特性。
关键词
CA3
co4
O9
热电陶瓷
热电薄膜
脉冲激光沉积(PLD)
Keywords
caa co4 09
thermoelectric ceramic
thermoelectric thin film
pulsed-laser deposition
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
脉冲激光沉积法制备Ca_3Co_4O_9热电薄膜的研究
吴东
李智东
赵昆渝
张辉
葛振华
张鹏翔
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010
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